專利名稱：自動(dòng)低溫泵安全清洗集成的制作方法
關(guān)于申請本申請是申請于2003年6月27日美國申請?zhí)?0/608,779，申請于2003年6月27日美國申請?zhí)?0/608,851，和申請于2003年6月27日美國申請?zhí)?0/608,770的繼續(xù)申請。
上述申請的全部內(nèi)容作為引證并入本文。
背景技術(shù)：
在離子注入期間，氣體排出物的危險(xiǎn)的和活潑的特性給安全裝置和操作帶來挑戰(zhàn)。每一種工具都以持續(xù)的或是斷斷續(xù)續(xù)的方式放出不同類型和濃度的易揮發(fā)的和危險(xiǎn)的氣體。舉例來說，氫氣，可以是注入的副產(chǎn)品。雖然單獨(dú)的氫氣是沒有危險(xiǎn)的，但是卻有燃燒的潛在的危險(xiǎn)。多種因素可以導(dǎo)致燃燒的發(fā)生。這樣的因素包括氧化劑的存在，壓力和溫度特定的結(jié)合，氫氣和氧氣的某種比例或者是燃燒源。
低溫的真空泵(低溫泵)屬于抽吸泵的類型，它被經(jīng)常的使用以抽空操作室中的氣體，因?yàn)樗鼈冊试S較高的氫氣抽吸速度?；跉錃獾膿]發(fā)性，則在注入應(yīng)用中，在正常使用和低溫泵的維護(hù)期間必須特別注意確保維持安全的狀況。舉例來說，只要抽吸裝置維持在低溫時(shí)，低溫泵的氣體就會(huì)保留在抽吸泵中。當(dāng)?shù)蜏乇脷鉁刈兣瘯r(shí)，這些氣體就會(huì)被釋放。在這個(gè)過程中，在抽吸泵中的氣體的混合物就會(huì)可能燃燒。當(dāng)氫氣從抽吸泵放出時(shí)，它將會(huì)在與低溫抽氣泵相結(jié)合的排氣導(dǎo)管/流形系統(tǒng)中導(dǎo)致潛在的爆炸性的與氧的混合物。
為了控制低溫泵內(nèi)的安全功能的一般的方案涉及分布式的系統(tǒng)。在典型的配置中，低溫泵是網(wǎng)狀的并從網(wǎng)絡(luò)終端控制，這個(gè)網(wǎng)絡(luò)終端提供了與主控制系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)的通信線路。低溫泵的本機(jī)電子設(shè)備的控制被完全的與主控制系統(tǒng)結(jié)合起來。在這種方式下，主控制系統(tǒng)控制低溫泵的安全功能并更新和清洗低溫泵以響應(yīng)危險(xiǎn)狀況。這種特征使抽吸泵進(jìn)入安全的模式以便減少燃燒的風(fēng)險(xiǎn)。清洗抽吸泵可以稀釋存在于抽吸泵中的氫氣，因?yàn)闅錃庠谇逑粗斜会尫挪⑦M(jìn)入排氣系統(tǒng)。

發(fā)明內(nèi)容
上面所描述的方案會(huì)正常的工作直到通信或裝置發(fā)生故障。這樣的故障會(huì)妨礙主系統(tǒng)有效的使用與低溫泵所具有的安全特征。舉例來說，在斷電期間，可能在低溫泵與主系統(tǒng)之間的通信線路中出現(xiàn)問題。在斷電期間無法打開清洗閥可能會(huì)使存在于抽吸泵中的任何氫氣遭受點(diǎn)燃的可能性。通常，這些系統(tǒng)并不對可能出現(xiàn)在抽吸泵中的潛在的危險(xiǎn)狀況提供全面的安全解決方案。
進(jìn)一步，一些低溫泵有常開清洗閥，它在斷電后會(huì)自動(dòng)的打開。通常，清洗閥可能被來自終端的改變低溫泵運(yùn)行模式的用戶指令而關(guān)閉。清洗閥也可以依靠使用復(fù)位或過負(fù)荷控制開關(guān)而被關(guān)閉。因此，這樣的清洗閥可以依靠用戶或主控制器在潛在的危險(xiǎn)或不安全的狀況下(例如，當(dāng)氫氣存在于低溫泵中并且基于它的揮發(fā)性可能導(dǎo)致點(diǎn)燃時(shí))被關(guān)閉。
本發(fā)明的多方面提供了全面的自動(dòng)防故障裝置的特征，以便預(yù)防由于低溫泵中的不安全的狀況而引起的安全風(fēng)險(xiǎn)。不安全的狀況可以是低溫泵中的電源故障，低溫泵中的發(fā)生故障的溫度感應(yīng)二極管，或者低溫泵中的溫度超過了極限溫度值。本發(fā)明能夠在不安全的狀態(tài)期間控制一個(gè)或多個(gè)清洗閥，并且能夠依靠使用與低溫泵一體化的本機(jī)電子設(shè)備而超馳來自諸如主控制器的其它系統(tǒng)的任何控制低溫泵的操作嘗試。
本發(fā)明可能包括用于控制低溫泵的系統(tǒng)和方法。低溫泵中的不安全的狀態(tài)可以被測定并且清洗氣體可以直接進(jìn)入低溫泵。另外，閘閥被保持在關(guān)閉狀態(tài)。低溫泵可以依靠指令一個(gè)或多個(gè)清洗閥(低溫清洗閥或排氣清洗閥)打開以被清洗。舉例來說，低溫泵可以依靠打開清洗閥而被清洗。排氣系統(tǒng)可以依靠打開排氣清洗閥而被清洗。清洗閥和排氣清洗閥可以是常開閥，并且它們可以在釋放時(shí)保持打開的狀態(tài)。清洗閥和排氣清洗閥可以是循環(huán)地打開和關(guān)閉。依靠清洗低溫泵，存在于抽吸泵內(nèi)和排氣導(dǎo)管內(nèi)的任何氫氣可能被沖淡并且燃燒的可能性也降低了。
與低溫泵連接的電子控制器依靠啟動(dòng)安全清洗(在其中一個(gè)或多個(gè)清洗閥被指令打開)可以被使用以響應(yīng)不安全的狀況?？刂破骺梢栽趫?zhí)行安全清洗的時(shí)超馳任何其它的系統(tǒng)。清洗閥可以依靠控制器被自動(dòng)地控制，并且依靠禁止任何用戶或主控制器關(guān)閉清洗閥的互鎖功能從而保持打開狀態(tài)。
在安全清洗期間依靠釋放清洗閥，清洗氣體可以被傳遞到低溫泵和排氣導(dǎo)管中。清洗氣體可以從清洗閥引導(dǎo)至低溫泵的第二個(gè)階段陣列。依靠超過其它系統(tǒng)的任何指令，并禁止安全清洗被異常中斷，本發(fā)明可以確保閥門在足夠的時(shí)段內(nèi)保持打開。本機(jī)電子設(shè)備可以被連接到抽吸泵上以確保清洗閥可以得到控制，即使在低溫泵脫機(jī)時(shí)。在安全清洗結(jié)束后，用戶或是主系統(tǒng)可以測定全部的更新程序是否有必要。然而，當(dāng)?shù)蜏乇玫拈l閥打開時(shí)，更新被禁止。
時(shí)間延遲功能也可能被包含。這個(gè)功能會(huì)在預(yù)先確定的時(shí)間內(nèi)延遲清洗閥的打開。在實(shí)際中，當(dāng)?shù)蜏厍逑撮y保持關(guān)閉時(shí)，排氣清洗閥是打開的。在延遲時(shí)間已經(jīng)過去前如果不安全的狀況還沒有被除去，這時(shí)低溫清洗閥被自動(dòng)地打開，并且低溫泵由清洗氣體清洗。
與低溫泵一體化連接的電子控制器依靠啟動(dòng)響應(yīng)于電源故障的安全清洗被用來響應(yīng)不安全的狀況。使用與低溫泵相連接的本機(jī)電子設(shè)備，清洗閥可以在預(yù)先確定的時(shí)間內(nèi)被維持在關(guān)閉的狀態(tài)。在預(yù)期確定的時(shí)間過去后，清洗閥可以被打開以放出清洗氣體進(jìn)入到低溫泵中。不間斷的供電電源特征也可能被并入控制器中，這樣控制器可以自動(dòng)地保持清洗閥關(guān)閉而在安全時(shí)段已經(jīng)過去后打開清洗閥。依靠使用與泵相連接的本機(jī)電子設(shè)備，一個(gè)或更多的清洗閥可以得到控制即使低溫泵在脫機(jī)時(shí)。舉例來說，控制器可以允許排氣清洗閥打開并且可以保持清洗閥關(guān)閉。
完整的控制器可能獨(dú)立于主系統(tǒng)而啟動(dòng)安全清洗?？刂破骺梢猿Y來自系統(tǒng)的任何輸入直到安全清洗已經(jīng)被完成。清洗閥可以自動(dòng)地被控制器控制并且依靠互鎖保持在打開的狀態(tài)，這個(gè)互鎖是指禁止任何用戶或主系統(tǒng)關(guān)閉清洗閥。
本發(fā)明可以監(jiān)控低溫泵以測定是否它的溫度低于操作設(shè)定點(diǎn)。舉例來說，如果低溫泵冷卻下來使溫度低于操作設(shè)定點(diǎn)，那么諸如指示器一樣的標(biāo)示符將被置位。操作設(shè)定點(diǎn)可能是18k。
當(dāng)標(biāo)示符已經(jīng)被置位并且已經(jīng)測定溫度已經(jīng)升高高于升溫設(shè)定點(diǎn)，這時(shí)一個(gè)或多個(gè)清洗閥將被指令打開。舉例來說，如果標(biāo)示符置位并且低溫泵升溫使溫度超過了升溫設(shè)定點(diǎn)，這時(shí)依靠指令打開清洗閥和/或排氣清洗閥以起動(dòng)安全清洗。升溫設(shè)定點(diǎn)可能是34K。
安全清洗允許抽吸泵在使用最少量的資源，在最可能少的時(shí)間內(nèi)從危險(xiǎn)的狀態(tài)中恢復(fù)。清洗氣體可以被直接地被傳遞進(jìn)入低溫泵的第二階段陣列。清洗閥和排氣清洗閥可以被循環(huán)地打開和關(guān)閉以放出清洗氣體連續(xù)噴發(fā)。安全清洗可以不用進(jìn)入完整的更新程序而被執(zhí)行。
本發(fā)明可能包括響應(yīng)于電源故障的控制器。將被提供至少一個(gè)電容器電池。至少一個(gè)電容器電池所產(chǎn)生的延遲依靠指令清洗閥保持關(guān)閉的狀態(tài)以響應(yīng)電源的故障。電容器電池能存儲(chǔ)許多的能量，這些能量在放電時(shí)間內(nèi)被釋放掉。放電時(shí)間是安全期間，在其中清洗閥必須是打開的。這個(gè)延遲將控制與低溫泵連接的清洗閥并且當(dāng)放電時(shí)間已經(jīng)過時(shí)釋放清洗閥。存儲(chǔ)在電池中的能量將被作為自動(dòng)防故障裝置的定時(shí)機(jī)械裝置來使用。電容器電池可能僅存儲(chǔ)足夠使清洗閥保持關(guān)閉兩分鐘的能量。當(dāng)存儲(chǔ)在電池中的能量被釋放時(shí)，清洗閥將自動(dòng)地打開。電容器電池可能是電解質(zhì)電容器。
為機(jī)械裝置供給能量的系統(tǒng)和方法可能被包括。在至少一個(gè)電容器電池中，許多的能量可能被存儲(chǔ)，并在放電時(shí)間內(nèi)被釋放。這個(gè)放電時(shí)間是安全期間，在其間機(jī)械裝置必須不能被供給能量。利用所存儲(chǔ)的能量，依靠用這些能量為機(jī)械裝置供給能量，系統(tǒng)可以響應(yīng)于電源故障。機(jī)械裝置可以包括第一階段和第二階段。第一階段是不被供給能量的階段，用于潛在危險(xiǎn)情況。第二階段是供給能量階段，用于正常操作。舉例來說，機(jī)械裝置可能是常開閥，在那里第一個(gè)階段是正常的打開(沒有電源)并且第二個(gè)階段關(guān)閉(帶有電源)。
本發(fā)明的另一方面包括用于監(jiān)控溫度傳感器的系統(tǒng)和方法，例如，與低溫泵相連接的溫度感應(yīng)二極管。如果溫度感應(yīng)二極管的一個(gè)或更多不是在合適地運(yùn)行，那么清洗閥可以被打開以適應(yīng)清洗氣體進(jìn)入低溫泵。
本發(fā)明可能包括電源故障恢復(fù)系統(tǒng)和方法。當(dāng)在低溫泵中的電源發(fā)生故障時(shí)，系統(tǒng)可能依靠指令清洗閥打開以做出反應(yīng)。特別地，在每一個(gè)電源發(fā)生故障后，系統(tǒng)依靠測定是否低溫泵已經(jīng)升溫高于恢復(fù)溫度設(shè)定點(diǎn)來響應(yīng)存儲(chǔ)的電能。恢復(fù)溫度設(shè)定點(diǎn)可能是34K。如果低溫泵已經(jīng)升溫高于恢復(fù)溫度設(shè)定點(diǎn)，則安全清洗將被啟動(dòng)。本發(fā)明可以確保安全清洗不被異常中斷。在本發(fā)明的某一實(shí)施例中，電源故障恢復(fù)程序不能被關(guān)閉。
在電源失效時(shí)低溫泵的操作狀態(tài)可以被測定。如果操作狀態(tài)指示當(dāng)電源故障時(shí)低溫泵處于更新進(jìn)程中，則更新被啟動(dòng)。


結(jié)合下面的在附圖中所示的(其中相似的參考特征指向貫穿不同的示圖的相同部分)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的更具體的描述，本發(fā)明前面所述的和其它的客體，特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)很明顯。示圖不是必須依比例決定的，取代其的重點(diǎn)在于示出本發(fā)明的原理。
圖1是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的低溫真空系統(tǒng)圖。
圖2是根據(jù)圖1的低溫泵。
圖3是低溫泵的剖面圖。
圖4A-B是低溫泵控制系統(tǒng)的方框圖。
圖5是電源故障恢復(fù)程序的流程圖。
圖6是測定低溫泵溫度超過極限溫度過程的流程圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的描述如下。
低溫真空系統(tǒng)圖1是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的低溫真空系統(tǒng)100.低溫真空系統(tǒng)100被連接到離子注入加工室102上，用來排泄來自離子注入加工室102的氣體。低溫真空系統(tǒng)100包括至少一個(gè)低溫真空抽吸泵(低溫泵)104和通常至少一個(gè)用于提供進(jìn)入低溫泵104的壓縮氣體的壓氣機(jī)(沒有示出)。低溫真空系統(tǒng)100也可能包括低真空泵122，水泵，渦輪泵，深冷泵，閥112，114，116和量具。這些部件一起操作把低溫冷卻提供給更寬的系統(tǒng)，例如用于半導(dǎo)體加工的工具。
工具可能包括提供工具內(nèi)系統(tǒng)(例如低溫真空系統(tǒng)100)的某種水平的控制的工具主控制系統(tǒng)106。這個(gè)工具可以使用加工室102以便執(zhí)行各種各樣的半導(dǎo)體制作加工，例如，離子注入，薄膜侵蝕，化學(xué)制品或等離子體氣化沉淀，氧化，熱壓和熱處理。這些加工經(jīng)常在分開的室內(nèi)被執(zhí)行，在其中每一個(gè)都包括低溫真空系統(tǒng)100的低溫泵104.
圖2是根據(jù)圖1的低溫泵示圖。低溫泵104包括延著輪緣110裝配到加工室102壁上的低溫泵室108。低溫泵室108與在美國專利號(hào)4,555,907中所描述的相近似。低溫泵104依靠在其里面的低溫冷溫板上產(chǎn)生高真空和凍結(jié)氣體分子，能夠移走來自加工室102的氣體。
低溫泵104可能包括一個(gè)或更多的階段。舉例來說，兩階段抽吸泵包括用低溫制冷器冷卻的第一階段陣列和第二階段陣列。如圖3所示，第一階段陣列122a有從輻射屏蔽138上延伸出來的用于在其上凝結(jié)諸如水汽的高沸點(diǎn)氣體的低溫板。第二階段122b的低溫板用于在其上凝結(jié)低沸點(diǎn)氣體。第二階段陣列的低溫板可能包括諸如木炭的吸收劑，用來吸收像氫氣之類非常低的低沸點(diǎn)氣體。溫度感應(yīng)二極管146a，146b被用來測定低溫泵106的第一階段和第二階段122a，122b的溫度。低溫泵中的二階段置換器被包含在低溫泵104殼內(nèi)的電動(dòng)機(jī)124驅(qū)動(dòng)。
在使用幾天或幾個(gè)星期后，已經(jīng)凝結(jié)在低溫板上的氣體，具體的說是已經(jīng)被吸收的氣體開始浸透低溫泵。只要作為結(jié)果的氣體混合物在低溫板上保持冰凍的狀態(tài)，那么氣體混合物就不會(huì)具有必然的危險(xiǎn)。然而，產(chǎn)生于電源故障，低溫泵104的放氣孔或是真空的意外事故的陣列的升溫，可能會(huì)在低溫泵104或者與低溫泵104相連接的排氣導(dǎo)管118上存在潛在的不安全的狀況。在升溫期間，在低溫泵中104中的任何氫氣被迅速地釋放并且被排放進(jìn)入排氣導(dǎo)管118，如果存在某種氣體混合物和點(diǎn)火源，則存在氫氣迅速燃燒的潛在性。為了沖淡在低溫泵104和排氣導(dǎo)管118中的氣體，低溫泵104被清洗氣體清洗，如圖2所示。
在更新期間，低溫泵104被清洗氣體清洗。清洗氣體加速低溫泵的升溫并且切斷流水和其它的來自低溫泵的水汽。它可以被用來沖淡在低溫泵104中任何被釋放的氫氣。氮是常用的清洗氣體，因?yàn)樗哂邢鄬Φ牟换顫娦圆⑶以跊]有水汽時(shí)也是可用的。依靠指令氮?dú)膺M(jìn)入低溫泵104接近第二階段陣列122b，流進(jìn)低溫泵104的氮?dú)鈱牡谝魂嚵?22a回到第二階段陣列122b的水汽的運(yùn)動(dòng)減少到最小。在低溫泵被清洗后，依靠低真空泵122使低溫泵被大致地抽空以在低溫泵的表面和指形冷凍器的周圍產(chǎn)生真空。這個(gè)過程依靠氣體傳導(dǎo)減少了熱量傳遞并且使低溫泵冷卻到正常的操作溫度。清洗氣體經(jīng)過與低溫泵104相連接的清洗閥112被應(yīng)用到低溫泵室108中。清洗氣體經(jīng)過排氣清洗閥114也被應(yīng)用到排氣導(dǎo)管118中。
清洗氣體源126經(jīng)過導(dǎo)管128，連接器130，導(dǎo)管132，清洗閥112和導(dǎo)管136被連接到低溫泵室108上。當(dāng)清洗閥112打開時(shí)，低溫泵被來自清洗氣體源126的清洗氣體清洗。清洗閥112可能是螺線管閥，它是電操作的并且有兩種狀態(tài)，完全的開和完全的關(guān)。閥112可能使用線卷，它在被電流供給能量時(shí)打開或關(guān)閉閥。如果電流停止，則閥112自動(dòng)恢復(fù)到?jīng)]有被供給能量的狀態(tài)。閥112可能即是常開或常關(guān)螺線管。正如下面所詳細(xì)描述的，在本發(fā)明的某一例子中，常開閥是優(yōu)選。當(dāng)被供給能量時(shí)，閥112將是被關(guān)閉的，但是在監(jiān)測到報(bào)警狀況時(shí)，進(jìn)入里面的電流被與低溫泵104相連接的控制器120切斷，并且常開閥將打開以提供清洗氣體進(jìn)入低溫泵104。舉例來說，閥112在一段時(shí)間內(nèi)保持關(guān)閉以響應(yīng)電源故障，并在這段時(shí)間過后打開。
清洗閥112也可能包括硬件和/或軟件連鎖裝置。硬件連鎖裝置是典型地電子或機(jī)械驅(qū)動(dòng)的，在操作中是自動(dòng)防故障裝置的。軟件連鎖裝置經(jīng)常被用來在運(yùn)行硬件連鎖裝置前中斷進(jìn)程。
清洗氣體供給126也被連接到與低溫泵104相連接的排氣導(dǎo)管118上。排氣導(dǎo)管118經(jīng)過導(dǎo)管134和排氣清洗閥114被連接到清洗氣體供給126上。排氣導(dǎo)管114可能在殼內(nèi)包括經(jīng)過導(dǎo)管142和導(dǎo)管144與低溫泵相連接的排氣閥140。正如美國專利號(hào)5,906,102所描述的，排氣閥140經(jīng)過導(dǎo)管128，連接器130，導(dǎo)管134，排氣清洗閥114和傳送導(dǎo)管148被連接到清洗氣體源126上。通常情況下，排氣閥140放出或排出從低溫泵室108釋放的氣體進(jìn)入排氣導(dǎo)管118.從排氣導(dǎo)管118，氣體被驅(qū)使進(jìn)入排氣多用途的主集合管，在那里它們可能借助被用來處理和移走用不完的氣體的消除系統(tǒng)被處理，這個(gè)消除系統(tǒng)可能包括濕的或干燥的除塵器，干燥泵和過濾器。
排氣清洗閥114可能是螺線管閥，它打開用來傳遞來自清洗氣體源126的氣體進(jìn)入排氣導(dǎo)管118中。在不安全的狀況期間，排氣清洗導(dǎo)管114傳遞清洗氣體進(jìn)入排氣導(dǎo)管118。如果排氣清洗閥114是螺線管閥，那么它與上面關(guān)于低溫清洗閥112的描述相類似。排氣清洗閥114也可能包括連鎖裝置。然而，不同于低溫清洗閥112，優(yōu)選地，它沒有延時(shí)啟動(dòng)來影響排氣清洗閥114的打開以響應(yīng)不安全的狀況。
低溫泵控制系統(tǒng)低溫泵控制系統(tǒng)120在圖4A-4B中示出?？刂葡到y(tǒng)120成網(wǎng)狀的連接到主控制器106上。網(wǎng)狀控制器152可能提供與主控制系統(tǒng)106通信接口。在這種方式下，主控制系統(tǒng)106在正常操作期間控制低溫泵104。然而，在不安全的狀況下，控制系統(tǒng)120依靠超過來自任何系統(tǒng)的任何指令來限制這些系統(tǒng)的控制。另外，控制系統(tǒng)120可以阻止任何用戶手動(dòng)控制清洗閥112，114，和閘閥116。
控制系統(tǒng)120包括處理器154，它驅(qū)動(dòng)低溫泵104的操作。處理器154存儲(chǔ)系統(tǒng)參數(shù)，例如溫度，壓力，更新次數(shù)，閥的位置和低溫泵104的操作狀態(tài)。處理器154測定低溫泵104的狀況是安全的或是不安全的。優(yōu)選地，控制系統(tǒng)120和美國專利號(hào)4,918,930中描述的低溫泵相結(jié)合在此以它的整體參考。
控制器120的體系可能是以部分框架為基礎(chǔ)的，它包括一個(gè)或多個(gè)模塊。在圖4A-4B所示的具體的實(shí)施例中，舉例說明了兩個(gè)模塊，低溫泵控制模塊180和自動(dòng)清洗控制模塊150。盡管控制器120可能僅作為一個(gè)模塊被實(shí)施，但是它卻理想的把控制系統(tǒng)分成能夠與多種不同的應(yīng)用相結(jié)合的部件180和150。依靠使用組成的模塊來設(shè)計(jì)控制系統(tǒng)120，每個(gè)模塊180，150從而不依賴特定的產(chǎn)品，而是可能適用于多種產(chǎn)品。這樣允許每一個(gè)部件能夠單獨(dú)地與任何后來的模塊或其它類型系統(tǒng)的任何控制器相結(jié)合。
控制系統(tǒng)120負(fù)責(zé)在不安全的狀況被監(jiān)測到時(shí)監(jiān)控和控制清洗閥112，114和閘閥116。舉例來說，當(dāng)控制系統(tǒng)120測定在低溫泵中存在不安全的狀況時(shí)，控制系統(tǒng)120將確保清洗閥112，114和閘閥116或是打開或是關(guān)閉。控制系統(tǒng)120適用自動(dòng)清洗控制模塊150來執(zhí)行這個(gè)任務(wù)。閘閥控制與在美國專利號(hào)6,327,863中所描述的相似，其全部內(nèi)容作為引證并入本文。
控制模塊180包括被連接到電壓調(diào)節(jié)器156上的交流電源輸出182。電壓調(diào)節(jié)器156輸出24V交流電進(jìn)入包括有集成自動(dòng)清洗控制模塊150，閥112，114，116和輔助系統(tǒng)部件的低溫泵104中。電壓調(diào)節(jié)器156被連接到電源起動(dòng)控制器184上，用來為集成自動(dòng)清洗控制模塊150提供電能。
自動(dòng)清洗控制模塊150包括被連接到24V電源184上的隔離電壓調(diào)節(jié)器186。電壓調(diào)節(jié)器186把來自電源184的24V電壓轉(zhuǎn)換成12V直流電。12V直流電可以經(jīng)過控制輸出節(jié)點(diǎn)190，194，196被提供為閥112，114，116供以電能。
清洗閥112，114是常開閥，在低溫泵的正常操作期間，繼電器158和168被供給電能以確保清洗閥112，114保持關(guān)閉。清洗閥驅(qū)動(dòng)器(功率放大器)198被經(jīng)常地使用以確保在低溫泵104正常操作期間保持清洗閥112關(guān)閉。
閘閥116是常閉閥。自動(dòng)清洗控制模塊150確保閘閥116關(guān)閉以使低溫泵104與加工室102相隔離。繼電器164被供給電能以控制閘閥116的狀態(tài)。位置傳感器可以安置在閘閥116內(nèi)以監(jiān)測閘閥116的位置是打開的還是關(guān)閉的位置。閘閥116的位置依靠傳動(dòng)裝置206(例如，氣體傳動(dòng)裝置或螺線管)被調(diào)節(jié)。閘閥116位置反饋202，204在輸入節(jié)點(diǎn)208被輸入處理器154。
變暖警報(bào)指示器166被包含在自動(dòng)清洗控制模塊150中。變暖警報(bào)指示器可能是狀態(tài)發(fā)光二極管，它顯示低溫泵升溫是否已經(jīng)超過了極限溫度。變暖警報(bào)繼電器162依靠控制輸出192控制警報(bào)指示器166。
來自電壓調(diào)節(jié)器186的電流流經(jīng)有效功率狀態(tài)指示器188，有效功率狀態(tài)指示器是狀態(tài)發(fā)光二極管，它可以顯示是否正在提供來自電壓調(diào)節(jié)器186的功率。在電源故障期間，狀態(tài)指示器188經(jīng)常顯示沒有提供來自電壓調(diào)節(jié)器186的功率。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，在電源故障期間，使用電解質(zhì)電容器170的備份電源為自動(dòng)清洗控制模塊150提供電能。充電電路172被用來在電源可用時(shí)為電解質(zhì)電容器170充電。充電電路172依靠將一連串的電流脈沖應(yīng)用于電容器170來為電容器170充電的。
低溫清洗遲延在電源故障期間，常開排氣清洗閥114打開以清洗泵，而低溫清洗閥112在一段安全時(shí)段內(nèi)保持關(guān)閉。較理想的是延遲打開低溫清洗閥112，因?yàn)榘l(fā)動(dòng)低溫泵104的安全清洗而沒有一個(gè)遲延能夠?qū)е掠袃r(jià)值的時(shí)間和資源的不必要的浪費(fèi)。清洗低溫泵104破壞了低溫泵的真空并導(dǎo)致氣體的釋放，這時(shí)可能需要更新，而這時(shí)有可能避免的。在一段期間內(nèi)的清洗閥的打開遲延，為依靠控制器120使功率的保持的可能性和恢復(fù)的可能性提供了條件，而沒有因清洗中斷了低溫泵的操作。
電容器170依靠給繼電器158和清洗閥驅(qū)動(dòng)器198供給電能被用來在安全時(shí)段為清洗閥112關(guān)閉提供功率。時(shí)間延遲控制電路168被用來確定電源故障后什么時(shí)候安全期間已經(jīng)過去了。在這個(gè)例子中，時(shí)間延遲電路168以5V電壓操作，并且因此，它被連接到接收來自隔離12V直流電壓調(diào)節(jié)器186的功率的5V直流電壓調(diào)節(jié)器200上。電壓調(diào)節(jié)器200可能是穩(wěn)壓二極管。
自動(dòng)清洗控制模塊150在安全時(shí)段內(nèi)延遲低溫泵104的清洗。如果在這個(gè)安全時(shí)段過后電源沒有恢復(fù)原狀，則清洗閥112被允許打開。然而，如果不安全的狀況在安全時(shí)段內(nèi)及時(shí)轉(zhuǎn)變成安全狀況，則控制模塊120開始電源故障恢復(fù)程序并恢復(fù)到正常操作，就像什么沒有發(fā)生一樣。舉例來說，當(dāng)電源被恢復(fù)到系統(tǒng)時(shí)，安全狀況被測定，或是如果測定諸如主控制器106的另一個(gè)系統(tǒng)適當(dāng)?shù)仨憫?yīng)不安全的狀況。依靠使用清洗閥112延遲和在不安全的狀況被糾正時(shí)依靠中斷對不安全狀況的響應(yīng)，自動(dòng)清洗控制模塊150能夠阻止清洗和恢復(fù)時(shí)間和資源的不必要的浪費(fèi)。如果安全時(shí)段中止并且不安全的狀況仍然存在，這時(shí)安全清洗被起動(dòng)，清洗閥112被允許打開并且清洗氣體立即進(jìn)入抽吸泵104中。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，即使在安全清洗期間電源被恢復(fù)，那么清洗仍將持續(xù)像5分鐘的清洗時(shí)間，而不顧來自用戶或者主控制處理器任何相反的輸入。
現(xiàn)在的系統(tǒng)已經(jīng)能夠依靠起動(dòng)更新程序響應(yīng)電源故障。然而，當(dāng)電源被恢復(fù)時(shí)，清洗可能已經(jīng)停止。這樣一來，危險(xiǎn)的氣體可能已經(jīng)被釋放，很可能以易燃的狀態(tài)置于抽吸泵中。正如上面所討論的，本系統(tǒng)即使在電源被恢復(fù)時(shí)也持續(xù)安全清洗，因此，減少燃燒的可能性。
自動(dòng)防故障裝置的閥釋放和時(shí)間控制機(jī)械裝置根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，自動(dòng)防故障裝置的閥釋放與時(shí)間控制機(jī)械裝置被結(jié)合在一起?？刂葡到y(tǒng)120結(jié)合備用時(shí)間控制機(jī)械裝置作為保險(xiǎn)裝置，它確保在預(yù)先確定的時(shí)間已經(jīng)過去時(shí)清洗閥112是打開的。舉例來說，如果定時(shí)電路168不允許清洗閥112在預(yù)先確定的時(shí)間過后打開，則諸如電解質(zhì)電容器170的備用能源被用來提供自動(dòng)防故障清洗閥釋放機(jī)械裝置。
存儲(chǔ)在電解質(zhì)電容器170內(nèi)的能量在電源故障時(shí)以可預(yù)計(jì)的速率(RC時(shí)間常數(shù))被耗盡。有限的能量被存儲(chǔ)在電容器170內(nèi)以在安全時(shí)段內(nèi)保持清洗閥112關(guān)閉。舉例來說，如果清洗閥112是常開閥，這時(shí)存儲(chǔ)在電容器170的能量可以起動(dòng)清洗閥電子驅(qū)動(dòng)器198并且為繼電器158供給能量以保持清洗閥112在電源故障時(shí)關(guān)閉。當(dāng)存儲(chǔ)在電容器170內(nèi)的能量被耗盡時(shí)，驅(qū)動(dòng)器198失效并且閥112自動(dòng)地打開。因此，依靠這個(gè)技術(shù)，即使定時(shí)電路168發(fā)生故障時(shí)，低溫泵能夠被清洗并且不安全情形的后果能夠被減輕。依靠例子，時(shí)間延遲電路168可能允許在兩分鐘后打開清洗閥，來自電解質(zhì)電容器170的能量可能不足以在三分鐘之后保持清洗閥打開。
附加的自動(dòng)防故障裝置的技術(shù)能夠與這個(gè)技術(shù)相一致被實(shí)施。舉例來說，定時(shí)器168也能夠包含迅速耗盡來自電容器170的能量的電路。這樣的電路能夠幫助確保電容器170不能為清洗閥112供給能量超于安全時(shí)段，比如說三分鐘。
狀態(tài)光亮指示器174可被包含在自動(dòng)清洗控制模塊150中。狀態(tài)光亮指示器174可能是狀態(tài)發(fā)光二極管，它指示電解質(zhì)電容器170的能量和再充電狀態(tài)。
電容器的可控制充電充電電路172被用來在電源可用的時(shí)候?yàn)殡娊赓|(zhì)電容器170充電。在某個(gè)環(huán)境下，它可以用來故意地阻止充電電路172迅速為電容器170充電，即使電容器170有能力在大約幾秒的時(shí)間內(nèi)被充滿。舉例來說，如果電容器170被允許正常的充電并且存在電源故障和恢復(fù)的迅速的和間歇的循環(huán)，則很可能發(fā)生即使在低溫泵被升溫到了不安全的狀況時(shí)清洗閥也不會(huì)被允許打開。明確地，每一次電源被恢復(fù)，電容器170都將會(huì)允許被完全的充滿。為了避免這種情況，充電電路172依靠為電容器170應(yīng)用一系列可控制的電流脈沖能夠非常緩慢地為電容器170充電。
電源故障恢復(fù)現(xiàn)有的電源恢復(fù)方案能夠被用戶或主系統(tǒng)切斷，并且它們經(jīng)常需要大量的資源和停機(jī)時(shí)間用于抽吸泵。當(dāng)功率被存儲(chǔ)在真空系統(tǒng)中，用戶能夠選擇中斷電源故障恢復(fù)程序。然而，如果存在點(diǎn)火源，切斷電源故障恢復(fù)程序能夠在抽吸泵容器和排氣系統(tǒng)中導(dǎo)致潛在的危險(xiǎn)狀態(tài)。
恢復(fù)典型地包括三個(gè)不同的可能的系統(tǒng)以響應(yīng)存儲(chǔ)的能量。這樣的現(xiàn)有的電源故障恢復(fù)系統(tǒng)在美國專利號(hào)6,510,697中被描述。這個(gè)現(xiàn)有的系統(tǒng)包括電源故障恢復(fù)程序，它是可選擇的并且能夠因此在任何時(shí)候被切斷。這三個(gè)中的第一個(gè)響應(yīng)是沒有響應(yīng)。因?yàn)殡娫垂收匣謴?fù)程序是可選擇的，用戶能夠完全地切斷電源故障恢復(fù)，并且系統(tǒng)將簡單地不響應(yīng)于存儲(chǔ)的能量。如果正處于電源故障恢復(fù)模式并且抽吸泵的溫度低于某一極限值，則第二個(gè)響應(yīng)包括起動(dòng)抽吸泵的冷卻。如果抽吸泵低于被設(shè)定的極限值(比如35K)時(shí)，這個(gè)典型發(fā)生。在冷卻過程中，致冷器被打開并且抽吸泵被自動(dòng)地冷卻下來。如果抽吸泵沒有在30分鐘內(nèi)被冷卻低于20K，則警報(bào)或信號(hào)發(fā)生器被置位。第三個(gè)可能的響應(yīng)典型包括如果抽吸泵太熱(例如，如果溫度升高高于35K)時(shí)進(jìn)入完整的更新循環(huán)。
這樣的更新循環(huán)包括幾個(gè)階段，例如清洗，加熱和初步抽空。通常，諸如清洗，壓力和空測試的幾個(gè)測試也會(huì)被執(zhí)行。這些測試幫助測定系統(tǒng)是否必須重復(fù)更新循環(huán)的上述階段。依賴低溫板上的被凝結(jié)的或被吸收的氣體的數(shù)量，在抽吸泵被確定為安全或更新前，系統(tǒng)典型地能夠重復(fù)一個(gè)階段或者甚至整個(gè)循環(huán)一到六次。
因?yàn)榘雽?dǎo)體-制造工藝被典型地執(zhí)行在分開的室內(nèi)(它們中的每一個(gè)可能包括低溫真空系統(tǒng)的低溫泵)，在這些抽吸泵的一個(gè)或更多必須經(jīng)歷一個(gè)或更多的更新循環(huán)期間的中斷時(shí)間可以導(dǎo)致長的，復(fù)雜的和昂貴的步驟。在當(dāng)今的動(dòng)力學(xué)全球環(huán)境里，對于半導(dǎo)體工業(yè)的精確度和速度的臨界本質(zhì)可以意味著對于一項(xiàng)新的產(chǎn)品甚至是一家企業(yè)的成功與失敗的不同。對于許多半導(dǎo)體制造商，在制造階段之前哪里是典型的最多的產(chǎn)品成本是要被確定下來的，這個(gè)中斷時(shí)間所導(dǎo)致的產(chǎn)品生產(chǎn)時(shí)間上的浪費(fèi)可以另企業(yè)高價(jià)的花費(fèi)。
本系統(tǒng)的電源故障恢復(fù)程序能夠在最可能少的的時(shí)間內(nèi)同時(shí)使用最少的資源減少安全危險(xiǎn)的風(fēng)險(xiǎn)。任何不安全的狀態(tài)都可以依靠起動(dòng)安全清洗被訪問，因此禁止在電源故障，更新或低溫泵出錯(cuò)后能夠?qū)е碌母g的或危險(xiǎn)的氣體或流體的積聚。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，本發(fā)明的電源故障恢復(fù)程序的安全清洗使用最少量的資源和置抽吸泵104在最可能短的時(shí)間內(nèi)于正常操作外，用來阻止氣體的易燃混合物在抽吸泵104和排氣系統(tǒng)118中產(chǎn)生。為了達(dá)到這個(gè)目的，清洗閥112，114僅在一個(gè)時(shí)段被給予脈沖，例如5分鐘，以便確保抽吸泵104和排氣系統(tǒng)118是安全的。在另一個(gè)實(shí)施例中，清洗氣體被直接應(yīng)用到第二階段的低溫板上，進(jìn)入到第二階段陣列和排氣導(dǎo)管的氣體的進(jìn)發(fā)能夠被循環(huán)。在安全清洗被完成后，電源故障恢復(fù)程序不是必須跟隨在完整的更新程序之后。這部分被留給主系統(tǒng)或用戶來決定。安全清洗將抽吸泵104置于安全操作狀態(tài)并允許抽吸泵回轉(zhuǎn)到正常操作以減少中斷時(shí)間。正如下面更詳細(xì)的描述，為了安全的原因，本發(fā)明電源故障恢復(fù)程序的安全清洗不能被異常中斷也不能被切斷。安全清洗可以作為固有的，自動(dòng)防故障裝置的系統(tǒng)120的響應(yīng)被實(shí)施。
圖5是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面描述電源故障恢復(fù)程序500的流程圖。當(dāng)電源被恢復(fù)時(shí)，低溫泵控制系統(tǒng)依靠檢測來自低溫泵104的溫度感應(yīng)二極管的溫度測定低溫泵104的溫度(步驟510)。如果溫度二極管的一個(gè)或多個(gè)不是在合適的操作(步驟520)，這時(shí)系統(tǒng)120起動(dòng)安全清洗(步驟600)。
如果二極管正在操作，這時(shí)系統(tǒng)120測定低溫泵104的溫度是否低于預(yù)先確定的極限值(步驟530)，諸如35K。如果抽吸泵的溫度沒有低于這個(gè)限制，這時(shí)安全清洗被起動(dòng)(步驟600)。在安全清洗完成后，主系統(tǒng)或用戶被允許控制低溫泵104(步驟580)。
如果低溫泵104的溫度低于35K，這時(shí)系統(tǒng)120測定在電源失效時(shí)低溫泵104的操作狀態(tài)。舉例來說，在步驟540，系統(tǒng)120測定是否低溫泵104處在電源故障的時(shí)候。如果抽吸泵104沒有處在電源故障時(shí)，這時(shí)在步驟580，主控制系統(tǒng)106或用戶被允許控制低溫泵104。
如果低溫泵104處在電源故障時(shí)，這時(shí)在步驟550的進(jìn)程測定在電源故障的時(shí)候泵是否處在更新的過程中。如果電源故障防礙了在低溫泵104中的更新進(jìn)程，這時(shí)在步驟590，系統(tǒng)120測定是否在低溫泵104停止的場合完成更新進(jìn)程。在步驟580，主系統(tǒng)或用戶被允許控制低溫泵104。如果低溫泵104沒有在更新中，這時(shí)在步驟560，系統(tǒng)120檢查以測定是否低溫泵104的溫度低于25K。如果溫度高于25K，在步驟600安全清洗被起動(dòng)。在安全清洗完成后，在步驟580，主系統(tǒng)或用戶被允許控制低溫泵104。
如果低溫泵104的溫度低于25K并且抽吸泵104能夠使溫度冷卻下來低于18K(步驟570)，這時(shí)抽吸泵104有足夠的低溫以打開。在步驟580，主系統(tǒng)或用戶被允許控制低溫泵104。
如果抽吸泵104不能夠冷卻下來使溫度低于18K，這時(shí)它沒有足夠的低溫以打開。在步驟580，主系統(tǒng)或用戶被允許控制低溫泵104在步驟440。系統(tǒng)104可能置位，它指示泵需要被檢驗(yàn)并且這個(gè)信息能夠被發(fā)送到主系統(tǒng)106上。
不安全的狀況根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，不安全的狀況是能夠造成低溫泵104潛在危險(xiǎn)的任何情況。舉例來說，當(dāng)在低溫真空系統(tǒng)100中存在電源故障時(shí)，當(dāng)?shù)蜏乇玫臏囟瘸^極限溫度值時(shí)，或者低溫泵中的溫度二極管發(fā)生故障時(shí)，不安全的狀況被確定。通常，當(dāng)不安全的狀況被系統(tǒng)120確定時(shí)，閘閥116被關(guān)閉并且低溫泵104和排氣導(dǎo)管118在某一時(shí)段被清洗，諸如5分鐘。在這期間，清洗閥112，114能夠被循環(huán)地打開和關(guān)閉。同樣，閥112，114，114不能被主控制器106控制。在安全清洗被完成并且不安全狀況被糾正后，主控制器106能夠控制低溫泵104。
超過極限溫度圖6是描述了測定低溫泵的溫度超過極限溫度的過程的流程圖。根據(jù)本發(fā)明的這一方面，系統(tǒng)120測定(在步驟630)低溫泵溫度低于操作的設(shè)定點(diǎn)，如18K。在步驟640，系統(tǒng)120置位，它指示低溫泵已經(jīng)低于操作的設(shè)定點(diǎn)。在步驟640，系統(tǒng)120測定低溫泵的溫度已經(jīng)升高至升溫設(shè)定點(diǎn)，如35K。如果低溫泵104升溫達(dá)到的值高于這個(gè)參量，則清洗閥112，114被允許打開(680)，并且閘閥114被關(guān)閉，正如在步驟660所描述的。在這個(gè)期間，在步驟670，主控制器106不能控制閥112，114，116。這個(gè)安全清洗持續(xù)某一時(shí)段，諸如5分鐘，在步驟680。5分鐘過后，在步驟690，主控制器106重新得以控制112，114，116。
故障溫度二極管正如圖3所示，低溫泵104包括一個(gè)或更多溫度感應(yīng)二極管146a，146b。如果溫度感應(yīng)二極管146a，146b中的一個(gè)發(fā)生故障，那么就存在低溫泵104操作在不是可發(fā)覺的不安全的溫度下的潛在可能，因此，事故可能會(huì)發(fā)生。本發(fā)明系統(tǒng)使用本機(jī)電子設(shè)備120以測定二極管是否正在合適地運(yùn)行。
現(xiàn)有的解決方案集中于主系統(tǒng)是否已經(jīng)收到關(guān)于低溫泵的溫度的信息。當(dāng)主控制器不能夠測定泵的溫度時(shí)，主控制器典型地起動(dòng)完全的更新循環(huán)。然而，基于起動(dòng)低溫泵完全的更新循環(huán)的這個(gè)方法能夠?qū)е掠袃r(jià)值的時(shí)間和資源的不必要的浪費(fèi)，因?yàn)椴荒苁盏綔囟鹊淖x數(shù)可能是由于許多其它的故障導(dǎo)致的，比如說與故障二極管不相關(guān)的通信錯(cuò)誤或儀器故障。通常，主系統(tǒng)沒有用于檢測溫度感應(yīng)二極管的操作狀態(tài)的技術(shù)。取代的是，主系統(tǒng)簡單地起動(dòng)完全的低溫泵的更新以響應(yīng)無法接收關(guān)于低溫泵的溫度信息的故障。
根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，不安全的狀況存在于當(dāng)溫度感應(yīng)二極管146a，146b中的一個(gè)沒有合適的操作時(shí)。本發(fā)明使用本機(jī)電子設(shè)備120檢測二極管的操作狀態(tài)，并且本機(jī)電子設(shè)備120能夠相應(yīng)地響應(yīng)。在這種方式下，脫機(jī)的解決方案能夠被實(shí)施，其特定地實(shí)施能夠測定故障溫度感應(yīng)二極管。能夠測定當(dāng)溫度感應(yīng)二極管不是在合適地操作時(shí)的能力可以導(dǎo)致穩(wěn)定性的增強(qiáng)，并且避免了不必要的更新，時(shí)間的浪費(fèi)和資源的損失。
自動(dòng)的低溫泵安全清洗與排氣導(dǎo)管安全清洗的一體化所包含的方法體現(xiàn)在包含計(jì)算機(jī)可用媒體的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品中，這對于那些在本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員來說是很顯然的。舉例來說，這樣的計(jì)算機(jī)可用媒體可以包含存儲(chǔ)在其上面帶有計(jì)算機(jī)可讀的程序編碼段的驅(qū)動(dòng)器。計(jì)算機(jī)可讀媒體也包含通信和傳輸媒體，比如母線或通信線路，光導(dǎo)的，使用金屬線的，帶有在其上作為數(shù)字或模擬數(shù)字信號(hào)實(shí)施的程序編碼段。
對于在本領(lǐng)域內(nèi)具有普通技能的人進(jìn)一步明顯的是如在其中使用的，低溫泵可以被廣泛的理解成任何低溫捕獲抽吸泵，或者在其上直接的或間接的以公知的或以后發(fā)展出來的方式連接到離子注入系統(tǒng)的部件。
盡管本發(fā)明結(jié)合某些實(shí)例被具體的展示和描述，對于在本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員將會(huì)理解，在本發(fā)明所附權(quán)利要求所要求保護(hù)的范圍內(nèi)，可以在本發(fā)明的形式和細(xì)節(jié)上作出多種變化。
權(quán)利要求
1.一種控制低溫泵的方法，方法包括測定低溫泵中不安全的狀況；以及，響應(yīng)不安全的狀況，依靠打開清洗閥使清洗氣體進(jìn)入低溫泵，并且阻止任何主控制器控制清洗閥，直到不安全狀況轉(zhuǎn)變成安全狀況。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中打開清洗閥包括釋放常開清洗閥。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中使清洗氣體進(jìn)入低溫泵進(jìn)一步包括在打開與關(guān)閉清洗閥之間的循環(huán)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中響應(yīng)不安全的狀況進(jìn)一步包括依靠打開與排氣系統(tǒng)相連接的排氣清洗閥使清洗氣體進(jìn)入與低溫泵相連接的排氣系統(tǒng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的方法，進(jìn)一步包括阻止任何主控制器控制排氣清洗閥，直到不安全的狀況轉(zhuǎn)變成安全的狀況。
6.根據(jù)權(quán)利要求4的方法，其中打開排氣清洗閥包括釋放常開排氣清洗閥。
7.根據(jù)權(quán)利要求4的方法，其中指令清洗氣體進(jìn)入排氣系統(tǒng)包括在打開和關(guān)閉排氣清洗閥之間的循環(huán)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中不安全的狀況存在于下面任何一種情況低溫泵的電源故障；或者低溫泵的溫度高于或等于預(yù)先確定的極限溫度；或者不能夠測定低溫泵的溫度。
9.根據(jù)權(quán)利要求8的方法，進(jìn)一步包括響應(yīng)電源故障依靠在電源故障發(fā)生前測定低溫泵的操作狀態(tài)；以及如果操作狀態(tài)指示在電源故障時(shí)低溫泵處于更新的進(jìn)程中，則測定起動(dòng)更新程序是否合適。
10.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中在清洗氣體已經(jīng)被引導(dǎo)進(jìn)入低溫泵并持續(xù)預(yù)先確定的時(shí)間后，不安全的狀況轉(zhuǎn)變成安全的狀況。
11.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，進(jìn)一步包括的步驟響應(yīng)于轉(zhuǎn)變成安全狀況的不安全狀況，測定低溫泵的更新是否必要。
12.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，進(jìn)一步包括的步驟；在低溫泵的閘閥打開的時(shí)候禁止低溫泵的更新。
13.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中對不安全的狀況的響應(yīng)進(jìn)一步包括在預(yù)先確定的時(shí)間內(nèi)，延遲使清洗氣體進(jìn)入低溫泵和延遲對任何主控制器控制清洗閥的禁止，；以及如果當(dāng)預(yù)先確定的時(shí)間過去后不安全的狀況仍然存在，則起動(dòng)打開清洗閥并且禁止任何主控制器控制清洗閥。
14.用于控制低溫泵的電子控制器，控制器被指令編程，用于測定低溫泵中的不安全的狀況；依靠使清洗閥打開允許清洗氣體進(jìn)入低溫泵；以及優(yōu)選于任何其它控制器的嘗試以控制清洗閥，直到不安全的狀況轉(zhuǎn)變成安全的狀況。
15.根據(jù)權(quán)利要求14的電子控制器，其中依靠釋放常開清洗閥，清洗閥被打開。
16.根據(jù)權(quán)利要求14的電子控制器，其中允許清洗氣體進(jìn)入低溫泵進(jìn)一步包括循環(huán)地打開和關(guān)閉清洗閥。
17.根據(jù)權(quán)利要求14的電子控制器，其中用于響應(yīng)不安全狀況的指令進(jìn)一步包括指令用于使與排氣導(dǎo)管相連接的排氣清洗閥打開以使清洗氣體進(jìn)入與低溫泵相連接的排氣導(dǎo)管，直到不安全的狀況轉(zhuǎn)變成安全的狀況。
18.根據(jù)權(quán)利要求17的電子控制器，進(jìn)一步包括優(yōu)先于其它任何控制器的嘗試以控制排氣清洗閥，直到不安全的狀況轉(zhuǎn)變成安全的狀況。
19.根據(jù)權(quán)利要求17的電子控制器，其中指令排氣打開包括釋放常開清洗閥。
20.根據(jù)權(quán)利要求17的電子控制器，進(jìn)一步包括循環(huán)地打開和關(guān)閉排氣清洗閥。
21.根據(jù)權(quán)利要求14的電子控制器，其中不安全的狀況包括任何情況低溫泵的電源故障；或者低溫泵的溫度高于或等于預(yù)先確定的極限溫度；或者不能夠測定低溫泵的溫度。
22.根據(jù)權(quán)利要求21的電子控制器，其中用于響應(yīng)電源故障的不安全狀況的指令進(jìn)一步包括用于以下目的的指令在電源發(fā)生故障前測定低溫泵的操作狀態(tài)；以及如果操作狀態(tài)指示低溫泵在電源故障時(shí)處于更新的冷卻階段，則起動(dòng)更新循環(huán)。
23.根據(jù)權(quán)利要求14的電子控制器，其中不安全狀況在清洗氣體已經(jīng)被允許進(jìn)入低溫泵持續(xù)預(yù)先確定的時(shí)間后轉(zhuǎn)變成安全狀況。
24.根據(jù)權(quán)利要求14的電子控制器，進(jìn)一步包括指令用于依靠測定低溫泵的更新是否必要以響應(yīng)轉(zhuǎn)變成安全狀況的不安全狀況。
25.根據(jù)權(quán)利要求14的電子控制器，進(jìn)一步包括指令用于低溫泵的閘閥打開的時(shí)候禁止低溫泵的更新。
26.根據(jù)專利要求14的電子控制器，其中用于響應(yīng)不安全狀況的指令進(jìn)一步包括用于以下目的指令在預(yù)先確定的時(shí)間，延遲使清洗氣體進(jìn)入低溫泵的指令和延遲優(yōu)先于其它任何控制器的任何嘗試控制清洗閥；以及如果在預(yù)先確定的時(shí)間過去后不安全的狀況仍然存在，則起動(dòng)用于使清洗氣體進(jìn)入低溫泵的指令和優(yōu)先于其它任何控制器的嘗試控制清洗閥。
27.低溫泵包括帶有抽吸接口的低溫泵室；與低溫泵相連接的清洗閥；以及控制低溫泵的電子控制器，控制器能夠測定低溫泵是操作在安全或是不安全的狀況下，清洗閥被控制器自動(dòng)地控制以響應(yīng)不安全的狀況，控制器超過任何其它系統(tǒng)。
28.根據(jù)權(quán)利要求27的低溫泵，其中響應(yīng)不安全的狀況，控制器依靠釋放常開清洗閥使清洗閥打開。
29.根據(jù)權(quán)利要求28的低溫泵，其中控制器依靠引起清洗閥在打開和關(guān)閉狀態(tài)之間循環(huán)進(jìn)一步響應(yīng)不安全的狀況。
30.根據(jù)權(quán)利要求28的低溫泵，其中控制器進(jìn)一步響應(yīng)不安全的狀況依靠等待引起清洗閥打開直到預(yù)先確定的時(shí)段已經(jīng)過去；以及如果預(yù)先確定的時(shí)間已經(jīng)過去并且不安全的狀況仍存在，則使清洗閥打開。
31.根據(jù)權(quán)利要求27的低溫泵，其中控制器在不安全狀況期間超馳任何其它系統(tǒng)。
32.根據(jù)權(quán)利要求27的低溫泵，進(jìn)一步包括與低溫泵相連接的排氣導(dǎo)管；以及與排氣導(dǎo)管相連接的排氣清洗閥，其中控制器進(jìn)一步響應(yīng)不安全的狀況依靠自動(dòng)地控制排氣清洗閥；以及依靠釋放常開閥使排氣清洗閥打開。
33.根據(jù)權(quán)利要求31的低溫泵，其中控制器依靠使排氣清洗閥在打開和關(guān)閉狀態(tài)之間的循環(huán)進(jìn)一步響應(yīng)不安全的狀況。
34.根據(jù)權(quán)利要求27的低溫泵，其中不安全的狀況包括任何情況電源故障；或者抽吸接口的溫度高于或等于預(yù)先確定的極限溫度；或者不能夠測定抽吸接口的溫度。
35.根據(jù)權(quán)利要求27的低溫泵，其中控制器進(jìn)一步響應(yīng)不安全的狀況依靠在電源故障前測定低溫泵的操作狀態(tài)；以及如果操作狀態(tài)指示在電源故障時(shí)低溫泵處于更新的進(jìn)程中，則確定起動(dòng)更新程序是否有必要。
36.根據(jù)權(quán)利要求27的低溫泵，其中在預(yù)先確定的時(shí)間已經(jīng)過去之后不安全的狀況轉(zhuǎn)變成安全的狀況。
37.根據(jù)權(quán)利要求27的低溫泵，其中依靠測定低溫泵的更新是否有必要，控制器響應(yīng)不安全的狀況轉(zhuǎn)變成安全的狀況。
38.根據(jù)權(quán)利要求27的低溫泵，其中控制器被程序化用來在低溫泵的閘閥打開的時(shí)候禁止低溫泵的更新。
39.一種控制低溫泵的方法，方法包括測定溫度傳感器是否正常的運(yùn)行；以及響應(yīng)于傳感器的非正常運(yùn)行的溫度，使清洗閥打開。
40.根據(jù)權(quán)利要求39的方法，其中清洗閥是與低溫泵相連接的低溫清洗閥或是與低溫泵的排氣導(dǎo)管相連接的排氣清洗閥。
41.根據(jù)權(quán)利要求39的方法，其中清洗閥被維持打開一段時(shí)間。
42.根據(jù)權(quán)利要求41的方法，其中維持清洗閥打開一段時(shí)間進(jìn)一步包括禁止任何其它系統(tǒng)關(guān)閉清洗閥。
43.根據(jù)權(quán)利要求41的方法，其中使清洗閥打開進(jìn)一步包括不依靠完全的更新程序傳遞清洗氣體進(jìn)入低溫泵。
44.根據(jù)權(quán)利要求39的方法，指令清洗閥打開進(jìn)一步包括在打開和關(guān)閉清洗閥之間的循環(huán)。
45.根據(jù)權(quán)利要求39的方法，使清洗閥打開進(jìn)一步包括釋放常開清洗閥。
46.監(jiān)控一個(gè)或更多與低溫泵相連接的溫度傳感器的電子控制器，控制器利用指令編程用于測定與低溫泵相連接的一個(gè)或更多溫度傳感器的操作狀態(tài)；以及如果溫度傳感器中的一個(gè)沒有顯示正在操作，則起動(dòng)安全清洗。
47.根據(jù)權(quán)利要求46的電子控制器，其中安全清洗包括維持清洗閥在限制的時(shí)段內(nèi)打開。
48.根據(jù)權(quán)利要求47的電子控制器，其中清洗閥包括與低溫泵相連接的低溫清洗閥，或與低溫泵的排氣導(dǎo)管相連接的排氣清洗閥的至少一個(gè)。
49.根據(jù)權(quán)利要求46的電子控制器，其中控制器確保安全清洗不能被異常中斷。
50.根據(jù)權(quán)利要求46的電子控制器，其中安全清洗進(jìn)一步包括不依靠起動(dòng)完全的更新程序而傳遞清洗氣體進(jìn)入低溫泵。
51.根據(jù)權(quán)利要求46的電子控制器，其中安全清洗進(jìn)一步包括在打開和關(guān)閉清洗閥之間的循環(huán)。
52.根據(jù)權(quán)利要求46的電子控制器，其中安全清洗進(jìn)一步包括釋放常開清洗閥。
53.低溫泵包括與低溫泵相連接的清洗閥；與低溫泵相連接的一個(gè)或多個(gè)溫度傳感器；以及與低溫泵相連接的電子控制器，控制器被配置用來測定任何溫度傳感器是否發(fā)生故障，控制器在溫度傳感器中的一個(gè)已經(jīng)發(fā)生故障時(shí)起動(dòng)安全清洗。
54.根據(jù)權(quán)利要求54的低溫泵，其中安全清洗包括保持清洗閥在一個(gè)時(shí)間段內(nèi)打開。
55.根據(jù)權(quán)利要求53的低溫泵，其中清洗閥包括與低溫泵相結(jié)合的低溫清洗閥，或與低溫泵的排氣導(dǎo)管相結(jié)合的排氣清洗閥中的至少的一個(gè)。
56.根據(jù)權(quán)利要求53的低溫泵，其中控制器確保安全清洗不能被異常中斷。
57.根據(jù)權(quán)利要求53的低溫泵，其中安全清洗進(jìn)一步包括不依靠起動(dòng)完整的更新程序而傳遞清洗氣體進(jìn)入低溫泵。
58.根據(jù)權(quán)利要求53的低溫泵，其中安全清洗進(jìn)一步包括在打開和關(guān)閉清洗閥之間的循環(huán)。
59.根據(jù)權(quán)利要求53的低溫泵，其中安全清洗進(jìn)一步包括釋放常開清洗閥。
60.一種在低溫泵中的電源故障恢復(fù)方法，方法包括在每一次電源故障后，響應(yīng)存儲(chǔ)在低溫泵中電能，依靠測定低溫泵是否已經(jīng)升溫高于恢復(fù)溫度設(shè)定點(diǎn)；以及如果低溫泵已經(jīng)升溫高于恢復(fù)溫度設(shè)定點(diǎn)，指令清洗閥打開并確保清洗閥在一段時(shí)間內(nèi)保持打開。
61.根據(jù)權(quán)利要求60的電源故障恢復(fù)方法，被打開的清洗閥是與低溫泵相連接的低溫清洗閥或與低溫泵的排氣導(dǎo)管相結(jié)合的排氣清洗閥的至少一個(gè)。
62.根據(jù)權(quán)利要求60的電源故障恢復(fù)方法，進(jìn)一步包括如果與低溫泵相連接的溫度傳感器不是在合適地操作，則指令清洗閥打開以放出清洗氣體進(jìn)入低溫泵。
63.根據(jù)權(quán)利要求60的電源故障恢復(fù)方法，進(jìn)一步包括在電源失效發(fā)生時(shí)測定低溫泵的操作狀態(tài)；以及如果低溫泵的操作狀態(tài)指示在電源故障的時(shí)候低溫泵正在更新，則起動(dòng)低溫泵的更新。
64.根據(jù)權(quán)利要求60的電源故障恢復(fù)方法，進(jìn)一步包括確保對存儲(chǔ)的電能的響應(yīng)不能被異常的中斷。
65.根據(jù)權(quán)利要求60的電源故障恢復(fù)方法，其中指令清洗閥打開包括傳遞清洗氣體進(jìn)入低溫泵而不用起動(dòng)完全的更新程序。
66.根據(jù)權(quán)利要求60的電源故障恢復(fù)方法，其中指令清洗閥打開進(jìn)一步包括在打開和關(guān)閉清洗閥之間的循環(huán)。
67.根據(jù)權(quán)利要求60的電源故障恢復(fù)方法，其中指令清洗氣體打開進(jìn)一步包括釋放常開清洗閥。
68.根據(jù)權(quán)利要求60的電源故障恢復(fù)方法，其中恢復(fù)溫度設(shè)定點(diǎn)是34K。
69.用于控制低溫泵的電子控制器，控制器用指令編程用于在每次電源故障發(fā)生后響應(yīng)電源的恢復(fù)，依靠測定低溫泵是否已經(jīng)升溫超過了恢復(fù)溫度設(shè)定點(diǎn)；以及如果低溫泵已經(jīng)升溫超過了恢復(fù)溫度設(shè)定點(diǎn)，則指令在低溫泵中的清洗閥打開并且確保清洗閥在一段時(shí)間內(nèi)保持打開。
70.根據(jù)權(quán)利要求69的電子控制器，被指令打開的清洗閥是任何的與低溫泵相連接的低溫清洗閥或者與低溫泵的排氣導(dǎo)管相連接的排氣清洗閥。
71.根據(jù)權(quán)利要求69的電子控制器，其中用于響應(yīng)電源的恢復(fù)的指令進(jìn)一步包括指令用于如果與低溫泵相結(jié)合的溫度傳感器不是在合適的操作，則指令清洗閥打開以放出清洗氣體進(jìn)入低溫泵。
72.根據(jù)權(quán)利要求69的電子控制器，其中用于響應(yīng)電源的恢復(fù)的指令進(jìn)一步包括指令用于在電源失效發(fā)生時(shí)，測定低溫泵的操作狀態(tài)；以及如果低溫泵的操作狀態(tài)指示在電源失效的時(shí)候低溫泵處于更新的狀態(tài)，則起動(dòng)低溫泵的更新。
73.根據(jù)權(quán)利要求69的電子控制器，其中用于響應(yīng)電源的恢復(fù)的指令不能被異常的中斷。
74.根據(jù)權(quán)利要求69的電子控制器，其中指令清洗閥打開包括傳遞清洗氣體進(jìn)入低溫泵而不用起動(dòng)全部的低溫泵的更新程序。
75.根據(jù)權(quán)利要求69的電子控制器，其中指令清洗閥打開進(jìn)一步包括在打開和關(guān)閉清洗閥之間的循環(huán)。
76.根據(jù)權(quán)利要求69的電子控制器，其中指令清洗閥打開進(jìn)一步包括釋放常開清洗閥。
77.根據(jù)權(quán)利要求69的電子控制器，其中恢復(fù)溫度設(shè)定點(diǎn)是34k。
78.低溫泵包括在低溫泵內(nèi)部的溫度傳感器；與低溫泵相連接的清洗閥；以及與低溫泵相連接的電子控制系統(tǒng)，在每次電源故障發(fā)生后，控制系統(tǒng)響應(yīng)電源的恢復(fù)，依靠使用溫度傳感器，測定低溫泵是否已經(jīng)升溫超過了恢復(fù)溫度設(shè)定點(diǎn)；以及如果低溫泵已經(jīng)升溫超過了恢復(fù)溫度設(shè)定點(diǎn)，則指令清洗閥打開并且確保清洗閥在一段時(shí)間內(nèi)保持打開。
79.根據(jù)權(quán)利要求78的低溫泵，其中如果控制器依靠使清洗閥打開以響應(yīng)電源的電源恢復(fù)，控制器的進(jìn)一步響應(yīng)依靠使與低溫泵的排氣導(dǎo)管相連接的排氣閥打開。
80.根據(jù)權(quán)利要求78的低溫泵，其中控制系統(tǒng)進(jìn)一步響應(yīng)電源的恢復(fù)，依靠如果低溫泵內(nèi)部的溫度傳感器非正常運(yùn)轉(zhuǎn)，則使清洗閥打開以放出清洗氣體進(jìn)入低溫泵。
81.根據(jù)權(quán)利要求78的低溫泵，其中控制系統(tǒng)進(jìn)一步響應(yīng)電源的恢復(fù)，依靠在電源失效發(fā)生時(shí)測定低溫泵的操作狀態(tài)；以及如果在電源失效的時(shí)候低溫泵的操作狀態(tài)指示低溫泵處于更新進(jìn)程，則起動(dòng)低溫泵的更新。
82.根據(jù)權(quán)利要求78的低溫泵，其中對于電源的恢復(fù)的響應(yīng)不能被異常的中斷。
83.根據(jù)權(quán)利要求78的低溫泵，其中指令清洗閥打開包括傳遞清洗氣體進(jìn)入低溫泵而不需要起動(dòng)完全的更新程序。
84.根據(jù)權(quán)利要求78的低溫泵，其中指令清洗閥打開進(jìn)一步包括在打開和關(guān)閉清洗閥之間的循環(huán)。
85.根據(jù)權(quán)利要求78的低溫泵，其中指令清洗閥打開進(jìn)一步包括釋放常開清洗閥。
86.根據(jù)權(quán)利要求78的低溫泵，其中恢復(fù)溫度設(shè)定點(diǎn)是34K。
87.一種控制低溫泵的方法，該方法包括使用與低溫泵相連接的本機(jī)電子設(shè)備，響應(yīng)低溫泵中的潛在的不安全狀況依靠保持常開清洗閥在預(yù)先確定的時(shí)間段內(nèi)關(guān)閉；以及在預(yù)先確定的時(shí)間段過去后，允許清洗閥打開以放出清洗氣體進(jìn)入低溫泵。
88.如權(quán)利要求87描述的控制低溫泵的方法，其中允許清洗閥打開以放出清洗氣體進(jìn)入低溫泵進(jìn)一步包括在打開和關(guān)閉清洗閥之間的循環(huán)。
89.如權(quán)利要求87描述的控制低溫泵的方法，進(jìn)一步包括在清洗閥已經(jīng)被允許打開后，禁止任何其它系統(tǒng)關(guān)閉清洗閥，直到潛在的不安全的狀況被糾正。
90.如權(quán)利要求87描述的控制低溫泵的方法，其中本機(jī)電子設(shè)備依靠打開排氣清洗閥以放出清洗氣體進(jìn)入與低溫泵相連接的排氣系統(tǒng)，進(jìn)一步響應(yīng)潛在的不安全狀況。
91.如權(quán)利要求90描述的控制低溫泵的方法，其中打開排氣清洗閥包括釋放常開閥。
92.如權(quán)利要求90描述的控制低溫泵的方法，其中與低溫泵相連接的本機(jī)電子設(shè)備依靠在打開和關(guān)閉排氣清洗閥之間的循環(huán)進(jìn)一步響應(yīng)潛在的不安全的狀況。
93.如權(quán)利要求90描述的控制低溫泵的方法，其中打開排氣清洗閥包括禁止任何其它系統(tǒng)關(guān)閉排氣清洗閥，直到潛在的不安全的狀況被糾正過來。
94.如權(quán)利要求87描述的控制低溫泵的方法，其中潛在不安全狀況包括任何一種低溫泵的電源故障；或者低溫泵的溫度高于或等于預(yù)先確定的極限溫度；或者不能夠測定低溫泵的溫度。
95.如權(quán)利要求94描述的控制低溫泵的方法，其中對潛在不安全狀況是電源故障發(fā)生時(shí)的響應(yīng)進(jìn)一步包括在電源故障之前測定低溫泵的操作狀態(tài)；以及如果操作狀態(tài)指示在電源發(fā)生故障時(shí)低溫泵處于更新的進(jìn)程中，則測定起動(dòng)更新程序是否是可能的。
96.如權(quán)利要求87描述的控制低溫泵的方法，其中潛在不安全狀況轉(zhuǎn)變成安全狀況也在清洗氣體已經(jīng)被放出進(jìn)入低溫泵并持續(xù)一段時(shí)間后。
97.如權(quán)利要求87描述的控制低溫泵的方法，其中本機(jī)電子設(shè)備響應(yīng)轉(zhuǎn)變成安全狀況的潛在不安全狀況依靠測定低溫泵的更新是否必要。
98.如權(quán)利要求87描述的控制低溫泵的方法，其中與低溫泵相連接的本機(jī)電子設(shè)備依靠如果閘閥是打開的時(shí)候禁止低溫泵的更新來進(jìn)一步響應(yīng)潛在的不安全狀況。
99.低溫泵一體化的電子控制器，控制器被配置用來響應(yīng)低溫泵中潛在的不安全的狀況，依靠保證常開清洗閥在一段時(shí)間內(nèi)關(guān)閉；以及當(dāng)安全時(shí)段過去時(shí)依靠釋放清洗閥，指令清洗氣體進(jìn)入低溫泵。
100.如權(quán)利要求99中的電子控制器，其中指令清洗氣體進(jìn)入低溫泵包括在打開和關(guān)閉清洗閥之間的循環(huán)，直到潛在不安全狀況被糾正。
101.如權(quán)利要求99中的電子控制器，其中依靠優(yōu)先于來自任何其它系統(tǒng)的嘗試以控制清洗閥，控制器被進(jìn)一步配置以響應(yīng)低溫泵的潛在的不安全狀況。
102.如權(quán)利要求99中的電子控制器，其中依靠使與排氣導(dǎo)管相連接的排氣清洗閥打開以指令清洗氣體進(jìn)入與低溫泵相連接的排氣導(dǎo)管，從而控制器進(jìn)一步被配置以響應(yīng)低溫泵中潛在的不安全狀況。
103.如權(quán)利要求102中的電子控制器，其中排氣清洗閥是常開閥。
104.如權(quán)利要求102中的電子控制器，其中清洗氣體依靠在打開和關(guān)閉排氣清洗閥之間的循環(huán)被指令進(jìn)入排氣導(dǎo)管。
105.如權(quán)利要求102中的電子控制器，其中電子控制器被進(jìn)一步配置從而優(yōu)選于來自任何其它系統(tǒng)的嘗試以控制排氣清洗閥，直到潛在的不安全的狀況被糾正。
106.如權(quán)利要求99中的電子控制器，其中潛在的不安全狀況包括任何一種低溫泵中的電源失效；或者低溫泵中的溫度高于或等于預(yù)先確定的極限溫度；或者不能夠測定低溫泵中的溫度。
107.如權(quán)利要求106中的電子控制器，其中電器控制器被進(jìn)一步配置以響應(yīng)低溫泵中的電源的失效，依靠在電源失效發(fā)生時(shí)測定低溫泵中的操作狀態(tài)；以及如果操作狀態(tài)指示在電源失效發(fā)生時(shí)低溫泵處于更新的冷卻階段，則起動(dòng)更新循環(huán)。
108.如權(quán)利要求99中的電子控制器，其中控制器被進(jìn)一步配置以測定在潛在的不安全狀況轉(zhuǎn)變成安全狀況后更新是否必要。
109.如權(quán)利要求99中的電子控制器，其中電子控制器被進(jìn)一步配置以在低溫泵的閘閥打開時(shí)禁止更新程序發(fā)生。
110.低溫泵包括帶有抽吸接口的低溫泵室；與低溫泵相連接的常開清洗閥；以及低溫泵一體化的電子控制器，電子控制器依靠在一段時(shí)間內(nèi)關(guān)閉清洗閥以響應(yīng)低溫泵的不安全的狀況，并且如果在安全時(shí)段過后不安全的狀況仍然存在，則控制器依靠指令清洗閥打開以傳遞清洗氣體進(jìn)入低溫泵來進(jìn)一步響應(yīng)。
111.如權(quán)利要求110中的低溫泵，其中依靠進(jìn)一步指令清洗閥循環(huán)地打開和關(guān)閉，清洗氣體被傳遞進(jìn)入低溫泵中，直到不安全的狀態(tài)轉(zhuǎn)變成安全的狀態(tài)。
112.如權(quán)利要求110中的低溫泵，其中當(dāng)清洗氣體正在被傳遞進(jìn)入低溫泵的時(shí)候，依靠優(yōu)先于來自任何其它系統(tǒng)的嘗試而控制清洗閥，控制器進(jìn)一步響應(yīng)不安全的狀況。
113.如權(quán)利要求110的低溫泵，進(jìn)一步包括與低溫泵相連接的排氣系統(tǒng)；與排氣系統(tǒng)相連接的排氣清洗閥，其中依靠指令排氣清洗閥打開以傳遞清洗氣體進(jìn)入排氣系統(tǒng)，控制器進(jìn)一步響應(yīng)不安全的狀態(tài)。
114.如權(quán)利要求113的低溫泵，其中依靠指令排氣清洗閥循環(huán)地打開和關(guān)閉，控制器進(jìn)一步響應(yīng)不安全的狀態(tài)，直到不安全的狀態(tài)轉(zhuǎn)變成安全的狀態(tài)。
115.如權(quán)利要求113的低溫泵，其中依靠優(yōu)選于來自任何其它系統(tǒng)的嘗試而控制排氣清洗閥，控制器進(jìn)一步響應(yīng)不安全的狀態(tài)，直到不安全狀態(tài)轉(zhuǎn)變成安全的狀態(tài)。
116.如權(quán)利要求110的低溫泵，其中不安全的狀態(tài)存在于下面任何一種情況發(fā)生時(shí)低溫泵的電源故障；或者低溫泵的溫度高于或等于極限溫度；或者無法接收來自低溫泵的溫度讀數(shù)。
117.如權(quán)利要求110的低溫泵，其中控制器進(jìn)一步響應(yīng)低溫泵的電源故障，依靠在電源故障之前測定低溫泵的操作狀態(tài)；以及如果操作狀態(tài)指示當(dāng)電源發(fā)生故障時(shí)低溫泵處于更新的進(jìn)程中，則測定是否更新程序應(yīng)該被起動(dòng)。
118.如權(quán)利要求110的低溫泵，其中不安全的狀態(tài)在預(yù)先確定的時(shí)間已經(jīng)過去之后轉(zhuǎn)變成安全的狀態(tài)。
119.如權(quán)利要求110的低溫泵，其中控制器被配置為當(dāng)?shù)蜏乇玫拈l閥打開時(shí)禁止更新程序發(fā)生。
120.一種用于控制低溫泵的方法，方法包括；使用來自至少一個(gè)電容器電池的能量以保持清洗閥關(guān)閉，從而響應(yīng)電源故障；以及在至少一個(gè)電容器電池中，存儲(chǔ)在放電時(shí)間內(nèi)被放出的一些能量，放電時(shí)間是安全時(shí)間，在此期間清洗閥必須打開。
121.如權(quán)利要求120中的一種用于控制低溫泵的方法，進(jìn)一步包括當(dāng)存儲(chǔ)在電池中的所有的能量被放出時(shí)，使低溫清洗閥打開。
122.如權(quán)利要求120中的一種用于控制低溫泵的方法，其中存儲(chǔ)在電池中的一些能量被用來作為定時(shí)裝置。
123.如權(quán)利要求120中的一種用于控制低溫泵的方法，其中至少一個(gè)電容器電池是電氣化學(xué)電池。
124.如權(quán)利要求120中的一種用于控制低溫泵的方法，其中響應(yīng)電源故障進(jìn)一步包括使與低溫泵的排氣導(dǎo)管相連接的排氣閥打開；以及使與低溫泵相連接的閘閥關(guān)閉。
125.如權(quán)利要求120中的一種用于控制低溫泵的方法，其中放電間少于5分鐘。
126.如權(quán)利要求120中的一種用于控制低溫泵的方法，進(jìn)一步包括使清洗閥在少于放電時(shí)間的時(shí)間內(nèi)打開的延遲電路。
127.如權(quán)利要求126中的一種用于控制低溫泵的方法，其中少于放電時(shí)間的時(shí)間是2分鐘。
128.響應(yīng)電源故障的低溫泵控制器，包括至少一個(gè)電容器電池；由至少一個(gè)電容器電池提供動(dòng)力的延遲，所述延遲依靠使清洗閥保持關(guān)閉以響應(yīng)電源故障；以及電容器電池存儲(chǔ)在放電時(shí)間內(nèi)被放電的的能量，放電時(shí)間是安全時(shí)間，在此清洗閥必須打開。
129.如權(quán)利要求128的低溫泵控制器，其中控制器當(dāng)所有存儲(chǔ)在電池中的能量被放出時(shí)使清洗閥打開。
130.如權(quán)利要求128的低溫泵控制器，其中存儲(chǔ)在電池中的的能量被用來作為定時(shí)裝置。
131.如權(quán)利要求128的低溫泵控制器，其中電容器電池是電氣化學(xué)電池。
132.如權(quán)利要求128的低溫泵控制器，其中控制器響應(yīng)電源故障，依靠使與低溫泵的排氣導(dǎo)管相連接的排氣閥打開；以及使與低溫泵相連接的閘閥關(guān)閉。
133.如權(quán)利要求128的低溫泵控制器，其中放電時(shí)間少于5分鐘。
134.如權(quán)利要求128的低溫泵控制器，進(jìn)一步包括使清洗閥在少于放電時(shí)間的時(shí)間內(nèi)打開的延遲電路。
135.如權(quán)利要求134的低溫泵控制器，其中少于放電時(shí)間的時(shí)間是2分鐘。
136.低溫泵包括至少一個(gè)電容器電池；由至少一個(gè)電容器電池的能量供電的延遲，所述延遲依靠指令與低溫泵相連接的清洗閥保持關(guān)閉以響應(yīng)電源故障；以及電容器電池存儲(chǔ)的能量被用來在放電時(shí)間內(nèi)放出，放電時(shí)間是安全時(shí)間，在此期間清洗閥必須打開。
137.如權(quán)利要求136的低溫泵，其中延遲使清洗閥在存儲(chǔ)在電池里的所有的能量被放出時(shí)打開，
138.如權(quán)利要求136的低溫泵，其中存儲(chǔ)在電池里的能量被用來作為定時(shí)裝置。
139.如權(quán)利要求136的低溫泵，其中電容器電池是電氣化學(xué)電池。
140.如權(quán)利要求136的低溫泵，其中低溫泵包括響應(yīng)電源故障的電子設(shè)備，依靠使與低溫泵的排氣導(dǎo)管相連接的排氣閥打開；以及使與低溫泵相連接的閘閥關(guān)閉。
141.如權(quán)利要求136的低溫泵，其中放電時(shí)間少于5分鐘。
142.如權(quán)利要求136的低溫泵，進(jìn)一步包括使清洗閥在少于放電時(shí)間的時(shí)間內(nèi)打開的延遲電路。
143.如權(quán)利要求142的低溫泵，其中少于放電時(shí)間的時(shí)間是2分鐘。
144.一種為機(jī)械裝置供以能量經(jīng)過安全時(shí)段的方法，方法包括在至少一個(gè)電容器電池里，存儲(chǔ)在放電時(shí)間內(nèi)被放出的能量，放電時(shí)間是安全時(shí)間，在此時(shí)間內(nèi)機(jī)械裝置必須不能被供以能量；以及依靠用存儲(chǔ)的能量為機(jī)械裝置供以能量以響應(yīng)電源故障。
145.根據(jù)權(quán)利要求144的方法，其中機(jī)械裝置包括第一階段和第二階段，第一階段是在潛在的危險(xiǎn)狀況不被供以能量的階段，第二階段在正常的操作下是供以能量的階段。
146.一種控制低溫泵的方法，方法包括測定低溫泵中的不安全的狀況；以及響應(yīng)不安全的狀況，依靠打開清洗閥使清洗氣體進(jìn)入低溫泵，并且禁止任何主控制器控制清洗閥，直到不安全的狀況轉(zhuǎn)變成安全的狀況。
147.根據(jù)權(quán)利要求146的方法，其中打開清洗閥包括釋放常開清洗閥。
148.根據(jù)權(quán)利要求146的方法，其中使清洗氣體進(jìn)入低溫泵進(jìn)一步包括在打開和關(guān)閉清洗閥之間的循環(huán)。
149.根據(jù)權(quán)利要求146的方法，其中對于不安全狀況的響應(yīng)進(jìn)一步包括依靠打開與排氣系統(tǒng)相連接的排氣清洗從而指令清洗氣體進(jìn)入與低溫泵相連接的排氣系統(tǒng)。
150.根據(jù)權(quán)利要求149的方法，進(jìn)一步包括禁止任何主控制器控制排氣清洗閥，直到不安全狀況轉(zhuǎn)變成安全狀況。
151.根據(jù)權(quán)利要求149的方法，其中打開排氣清洗包括釋放常開排氣清洗閥。
152.根據(jù)權(quán)利要求149的方法，其中指令清洗氣體進(jìn)入排氣系統(tǒng)包括在打開和關(guān)閉排氣清洗閥之間的循環(huán)。
153.根據(jù)權(quán)利要求146的方法，其中不安全的狀況存在于下面任何一種情況低溫泵的電源故障；或者低溫泵的溫度高于或等于預(yù)先確定的極限溫度；或者不能夠測定低溫泵的溫度。
154.根據(jù)權(quán)利要求153的方法，進(jìn)一步包括響應(yīng)電源故障依靠在電源故障之前測定低溫泵的操作狀態(tài)；以及如果操作狀態(tài)指示當(dāng)電源發(fā)生故障時(shí)低溫泵處于更新的進(jìn)程中，則測定起動(dòng)更新程序是否合適。
155.根據(jù)權(quán)利要求146的方法，其中在清洗氣體已經(jīng)被引導(dǎo)進(jìn)入到低溫泵并持續(xù)預(yù)先確定的時(shí)間后，不安全的狀況轉(zhuǎn)變成安全的狀況。
156.根據(jù)權(quán)利要求146的方法，進(jìn)一步包括的步驟依靠測定低溫泵的更新是否必要以響應(yīng)轉(zhuǎn)變成安全狀況的不安全狀況。
157.根據(jù)權(quán)利要求146的方法，進(jìn)一步包括的步驟在低溫泵的閘閥打開的時(shí)候禁止低溫泵的更新。
158.根據(jù)權(quán)利要求146的方法，其中響應(yīng)不安全的狀況進(jìn)一步包括延遲指令清洗氣體進(jìn)入低溫泵和延遲禁止任何主控制器控制清洗閥，直到預(yù)先確定的時(shí)間過去；以及如果當(dāng)預(yù)先確定的時(shí)間過去時(shí)不安全的狀況仍然存在，則起動(dòng)打開清洗閥并禁止任何主控制器控制清洗閥。
159.用于控制低溫泵的電子控制器，控制器被指令編程用于測定低溫泵中的不安全的狀況；依靠指令清洗閥打開允許清洗氣體進(jìn)入低溫泵；以及優(yōu)先于來自任何其它控制器的任何嘗試以控制清洗閥直到不安全的狀況轉(zhuǎn)變成安全的狀況。
160.根據(jù)權(quán)利要求159的電子控制器，其中依靠釋放常開清洗閥，清洗閥被打開。
全文摘要
與低溫泵一體化的電子控制器和提供脫機(jī)解決方案用于在不安全的狀況下清洗低溫泵和排氣導(dǎo)管。電子控制器負(fù)責(zé)控制清洗，排氣清洗和與低溫泵相連接的閘閥的打開和關(guān)閉。電子控制器能夠在不安全狀態(tài)期間優(yōu)先于來自其它系統(tǒng)的任何嘗試以控制這些閥。不安全的狀況可以是低溫泵中電源的故障，低溫泵中危險(xiǎn)的溫度或者溫度感應(yīng)二極管不是在合適的操作。當(dāng)不安全的狀況被測定時(shí)，排氣清洗閥被打開并且閘閥關(guān)閉，這時(shí)清洗閥的打開可能會(huì)經(jīng)歷一段安全時(shí)段的延遲。如果在安全時(shí)段已經(jīng)過去而不安全的狀況仍然存在，則清洗閥被允許打開。自動(dòng)防故障裝置的清洗閥釋放并且時(shí)間延遲機(jī)械裝置可以被用來以確保在這段時(shí)間過后打開清洗閥。電解質(zhì)電容器可能被用來存儲(chǔ)一些能量以保持常開清洗閥在安全時(shí)段內(nèi)關(guān)閉。當(dāng)這些能量被釋放掉并且不安全的狀況仍然存在，則安全清洗能夠自動(dòng)地打開。
文檔編號(hào)F04B49/06GK1836106SQ200480023600
公開日2006年9月20日 申請日期2004年6月9日 優(yōu)先權(quán)日2003年6月27日
發(fā)明者保羅·E·阿蒙森, 莫瑞恩·伯昂潘, 道格·安德魯斯, 喬丹·雅各布斯 申請人:螺旋技術(shù)有限公司