專(zhuān)利名稱(chēng)：鈦升華泵電源的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種電源，屬于一種鈦升華泵電源。
技術(shù)背景由于鈦升華泵中的鈦絲材料在冶煉過(guò)程中溶有大量的氣體，一經(jīng)加熱就會(huì)釋放出來(lái)，影響鈦升華泵排氣效果甚至影響高真空的獲得。因此利用鈦升華泵來(lái)實(shí)現(xiàn)極高真空的關(guān)鍵是需要對(duì)鈦升泵的鈦絲在蒸發(fā)以前進(jìn)行徹底的除氣，使鈦絲蒸發(fā)時(shí)自身不再放氣，只是蒸發(fā)鈦原子形成鈦膜產(chǎn)生抽氣效果。目前鈦升華泵中的電源對(duì)鈦絲除氣是手動(dòng)操作，而且除氣不徹底。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是提供一種能自動(dòng)徹底除去鈦絲中溶解的氣體的鈦升華泵電源。
本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的，它包括輸出電路，還包括真空計(jì)和設(shè)定器，真空計(jì)和設(shè)定器與比較器連接，比較器經(jīng)放大器與控制電路連接，控制電路與輸出電路連接。
本實(shí)用新型可在真空系統(tǒng)整個(gè)烘烤期間，不間斷地用小于升華電流的50％-60％電流對(duì)鈦絲進(jìn)行除氣，無(wú)需工作人員在整個(gè)除氣過(guò)程中進(jìn)行監(jiān)控操作，可以自動(dòng)徹底地去除鈦絲中溶解的氣體，又不會(huì)損傷鈦絲，使鈦升華泵鈦絲升華后獲得最佳抽氣效果。


圖1為本實(shí)用新型的真空系統(tǒng)的壓強(qiáng)—時(shí)間曲線圖圖2為本實(shí)用新型的電路框圖圖3為本實(shí)用新型的實(shí)施例的電路原理圖圖4為本實(shí)用新型的另一實(shí)施例的電路原理圖具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型的技術(shù)方案是根據(jù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果提出的，其實(shí)驗(yàn)結(jié)果(1)如果蒸發(fā)時(shí)所需電流為I。則除氣電流為50％-60％I。(2)徹底除氣的判斷基準(zhǔn)是在除氣電流通導(dǎo)下，真空系統(tǒng)的壓強(qiáng)(真空度)比除氣通電以前低，即通電時(shí)壓強(qiáng)＜通電除氣之前壓強(qiáng)。參照?qǐng)D1，縱座標(biāo)為壓強(qiáng)(真空度)P，橫座標(biāo)為時(shí)間T，假設(shè)真空系統(tǒng)在用某種泵抽氣，而鈦升華泵不除氣，那么真空系統(tǒng)的真空度在時(shí)間T＝0時(shí)為壓強(qiáng)P0，在時(shí)間t＝tx時(shí)為壓強(qiáng)PX(如果系統(tǒng)沒(méi)有漏氣)，那么P0-Px＝ΔP；實(shí)際運(yùn)行時(shí)，對(duì)鈦升華泵的鈦絲除氣，除氣開(kāi)始鈦絲有大量氣體放出，隨著時(shí)間的延長(zhǎng)放氣量逐漸減少。因此在時(shí)間t＞0以后，壓強(qiáng)Pt＞P0(Pt1＞P0，Pt2也＞P0)；到時(shí)間t＝T0，壓強(qiáng)P(T0)＝P0，這時(shí)，基本上可以判定氣已除完；如果要徹底除氣(因?yàn)殡S著時(shí)間的推移，系統(tǒng)的壓強(qiáng)也會(huì)逐漸降低)，令t＝tx，Px＜P0為基準(zhǔn)。針對(duì)以上所述，參照?qǐng)D2，本實(shí)用新型是由真空計(jì)4輸出的通電時(shí)壓強(qiáng)Px信號(hào)和設(shè)定器1輸出的通電除氣之前的壓強(qiáng)P0信號(hào)與比較器2相連，由比較器2運(yùn)用判斷基準(zhǔn)Px＜P0判斷后，輸出控制信號(hào)經(jīng)放大器3、控制電路5，控制輸出電路6，放大器3為功率放大器。
參照?qǐng)D3，本實(shí)施例的真空計(jì)4的輸出端與比較器2的正向輸入端a相接，設(shè)定器是由調(diào)整電阻R和電位器W組成，調(diào)整電阻R的一端接+15V電源，其另一端和調(diào)整端與電位器W一端相接，電位器W另一端接地，調(diào)整電阻R的調(diào)整端與比較器2的反向輸入端b相接，比較器2的一端c和其另一端d空置，其輸出端e連接功率放大器3的二極管D負(fù)極，二極管D正極與三極管T的基極相接，三極管T的集電極接+15V電源，其發(fā)射極接控制電路5，控制電路5可采用繼電器J、可控硅以及現(xiàn)有的電開(kāi)關(guān)器件和其他公知電路，繼電器J與輸出電路6相接，輸出電路4是由調(diào)壓器L1和輸出變壓器L2組成，調(diào)壓器L1接220V電源，調(diào)壓器L1能將除氣電流調(diào)整到蒸發(fā)電流的50％-60％，變壓器L2提供大電流、低電壓的供電條件。輸出電路6與鈦升華泵的鈦絲相連。
參照?qǐng)D4，另一實(shí)施例與實(shí)施例不同的是真空計(jì)和設(shè)定器的輸出分別通過(guò)計(jì)算機(jī)接口I/O RS232與計(jì)算機(jī)處理單元2[HD647180(CPU)ROM]相接，計(jì)算機(jī)處理單元2[HD647180(CPU)ROM]的輸出端連接功率放大器3。其它電路結(jié)構(gòu)與實(shí)施例相同。
權(quán)利要求1.一種鈦升華電源，包括輸出電路，其特征是真空計(jì)(4)和設(shè)定器(1)與比較器(2)相連，比較器(2)經(jīng)放大器(3)與控制電路(5)相連，控制電路(5)與輸出電路(6)相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鈦升華泵電源，其特征是比較器(2)運(yùn)用的判斷基準(zhǔn)是Px∠P0，其中Px為通電時(shí)的壓強(qiáng)，P0為通電除氣之前的壓強(qiáng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鈦升華泵電源，其特征是所述的設(shè)定器(1)是由調(diào)整電阻(R)和電位器(W)串聯(lián)組成，其電位器(W)的可調(diào)端與比較器(2)的反向輸入端相接，真空計(jì)(4)與比較器(2)的正向輸入端相接，比較器(2)的輸出端(e)與功率放大器(3)的二極管(D)的負(fù)極相接，二極管(D)的正極與功率放大器(3)的三極管(T)的基極相接，三極管(T)的集電極接+15V電源，三極管(T)的發(fā)射極與繼電器(J)的線圈相接，繼電器(J)的觸點(diǎn)與輸出電路相接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鈦升華泵電源，其特征是所述的真空計(jì)(4)和設(shè)定器(1)的輸出經(jīng)計(jì)算機(jī)接口(I/O)與計(jì)算機(jī)處理單元(2)輸入端相接，計(jì)算機(jī)處理單元(2)的輸出端連接功率放大器(3)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種鈦升華泵的電源，它包括輸出電路，還包括真空計(jì)和設(shè)定器，真空計(jì)和設(shè)定器與比較器連接，比較器經(jīng)放大器與控制電路連接，控制電路與輸出電路連接；本實(shí)用新型可以自動(dòng)不間斷地用小于升華電流的50％－60％電流對(duì)鈦絲進(jìn)行徹底的除氣，又不會(huì)損傷鈦絲，可使鈦升華泵鈦絲升華后獲得最佳抽氣效果。
文檔編號(hào)F04B37/14GK2580140SQ02261930
公開(kāi)日2003年10月15日 申請(qǐng)日期2002年6月25日 優(yōu)先權(quán)日2002年6月25日
發(fā)明者楊曉天, 張軍輝, 蒙峻, 張喜平 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院近代物理研究所