一種Au-Sn合金電鍍液的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種電鍍液,進一步涉及一種合金電鍍液,具體涉及一種Au-Sn合金 電鍍液,屬于電鍍領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002] 在1C(集成電路)等電子零件組裝時,以Au-Sn合金片作為Au型焊料,用于半導(dǎo) 體芯片與陶瓷底盤以及陶瓷封裝與蓋等的焊接結(jié)合。為了使半導(dǎo)體芯片等電子零件在焊接 時不會受到熱的傷害。必須采用組成為80Wt. %Au和20Wt. %Sn,熔點為280°C的Au-Sn 合金。工業(yè)上通過熔融,鑄造和壓延等工序加工成一定厚度,與焊接部位尺寸形狀相近的 Au-Sn合金焊片。然而通過熔融和壓延等冶金法加工成的Au-Sn合金箱片存在著脆性,當(dāng)合 金箱片熔融焊接時,容易改變焊片原有的尺寸形狀,引起焊片位置偏移,焊接部位不重合。
[0003] 此外,當(dāng)焊片的尺寸形狀極為微細復(fù)雜時,合金焊片的加工極為困難于是人們設(shè) 想以電鍍法取代冶金法來獲得Au-Sn合金焊料這就是說,在半導(dǎo)體等電子零件上,掩蔽無 須焊接的部位,裸露出需要焊接部位的微細圖形,然后圖形電鍍Au-Sn合金。傳統(tǒng)的Au-Sn 合金鍍液含有Sn2P207、SnS04、SnCl2等無機Sn化合物。這些鍍液中Sn2+容易氧化成為Sn4+, 生成不溶性沉淀物,隨著電鍍時間的推移和沉淀反應(yīng)的持續(xù)進行,鍍液中的Sn濃度發(fā)生變 化,致使Au-Sn合金鍍層成不穩(wěn)定。為了防止Sn2+氧化沉淀反應(yīng),采用pH= 10~11的含 有NaCN氰化鍍液,但是高堿性溶液容易溶解而損傷抗蝕劑,很顯然不適用于具有抗蝕劑微 細圖形的半導(dǎo)體芯片等電子零件的電鍍。鑒于上述狀況,為了防止鍍液中的Sn2+氧化沉淀 反應(yīng),獲的組成穩(wěn)定的Au-Sn合金鍍層,鍍液又不損傷抗蝕劑。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004] 本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是針對技術(shù)現(xiàn)狀提供一種存放和使用過程中性能穩(wěn) 定、不產(chǎn)生沉淀的Au-Sn合金電鍍液。
[0005] 本發(fā)明解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案為:一種Au-Sn合金電鍍液,包括如 下濃度的組分:
[0006] 含Au化合物 2~5g/L;: 甲基磺酸亞錫 2:2~25g/L; 絡(luò)合劑 L15g/L; 穩(wěn)足劑 80~丨00g/L: 錫防氧化劑 2~3g/L。
[0007] 其中,所述穩(wěn)定劑包括如下濃度的組分:
[0008] 乙醇 2. 5 ~4mol/L;
[0009] 亞硫酸鈉 3. 0 ~5.Omol/L;
[0010] 硫酸亞鐵 0? 5 ~1. 5mol/L〇
[0011] 其中,所述含Au化合物為KAu(CN)2、NaAu(CN) 2、HAuCl中的一種或至少兩種的混 合物。
[0012] 其中,所述絡(luò)合劑為吡啶化合物、喹啉化合物、水溶性聚氨基羧酸及其鹽或醚中的 至少一種。
[0013] 其中,所述吡啶化合物為吡啶、煙酸、吡啶-3-磺酸,氨基毗啶;喹啉化合物為喹 啉、喹啉酸、喹啉-3-磺酸、喹啉-2-磺酸、羥基喹啉;水溶性多元氨基羧酸為乙二胺四乙酸、 乙二胺三乙酸、乙二胺二乙酸、硝基三乙酸、亞氨基二乙酸。
[0014] 其中,所述錫防氧化劑為水溶性酚類、水溶性酚羧酸類、抗壞血酸及其鹽類或醚類 中的至少一種。
[0015] 其中,所述水溶性酚類為鄰苯二酚、間苯二酚、對苯二酚、苯酚;水溶性酚羧酸類為 羥基安息香酸,羥基桂皮酸、羥基苯二酸;抗壞血酸及其鹽類或醚類為抗壞血酸、抗壞血酸 鈉、抗壞血酸軟脂酸鈉、抗壞血酸硬脂酸鈉。
[0016] 與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的優(yōu)點在于:本Au-Sn合金電鍍液在存放和使用過程中 不會產(chǎn)生沉淀,且性能穩(wěn)定,不會損傷鍍件基體上的細微抗蝕劑圖形。
[0017] 另外,本Au-Sn合金電鍍液所用的穩(wěn)定劑可有效提高鍍液的穩(wěn)定性,有助于其工 業(yè)化推廣。
【具體實施方式】
[0018] 以下結(jié)合實施例對本發(fā)明作進一步詳細描述。
[0019] 實施例1
[0020] 本實施例的Au-Sn合金電鍍液包括如下濃度的組分:
[0021] 含Au化合物 2g/L; 甲基磺酸亞錫 22g/:L;: 絡(luò)合劑 10g/L:; 穩(wěn)足劑 80g/L; 錫防氧化劑 2g/L。
[0022] 其中,穩(wěn)定劑包括如下濃度的組分:
[0023] 乙醇 2. 5mol/L ;
[0024] 亞硫酸鈉 3. Omol/L ;
[0025] 硫酸亞鐵 0? 5mol/L。
[0026] 上述電鍍液及穩(wěn)定劑中各個組分可從下列物質(zhì)中作出選擇:
[0027] 含Au化合物為KAu(CN)2、NaAu(CN) 2、HAuCl中的一種或至少兩種的混合物;絡(luò)合 劑為吡啶化合物、喹啉化合物、水溶性聚氨基羧酸及其鹽或醚中的至少一種。
[0028] 吡啶化合物為吡啶、煙酸、吡啶-3-磺酸,氨基毗啶;喹啉化合物為喹啉、喹啉酸、 喹啉-3-磺酸、喹啉-2-磺酸、羥基喹啉;水溶性多元氨基羧酸為乙二胺四乙酸、乙二胺三乙 酸、乙二胺二乙酸、硝基三乙酸、亞氨基二乙酸。
[0029] 錫防氧化劑為水溶性酚類、水溶性酚羧酸類、抗壞血酸及其鹽類或醚類中的至少 一種。其中,水溶性酚類為鄰苯二酚、間苯二酚、對苯二酚、苯酚;水溶性酚羧酸類為羥基安 息香酸,羥基桂皮酸、羥基苯二酸;抗壞血酸及其鹽類或醚類為抗壞血酸、抗壞血酸鈉、抗壞 血酸軟脂酸鈉、抗壞血酸硬脂酸鈉。
[0030] 實施例2
[0031] 本實施例的Au-Sn合金電鍍液包括如下濃度的組分:
[0032] 含Au化合物 3g/L; 甲基磺酸亞錫 23g/L; 絡(luò)合劑 12g/L; 穩(wěn)定劑 90g/L; 錫防氧化劑 2.:5g/L。
[0033] 其中,穩(wěn)定劑包括如下濃度的組分:
[0034] 乙醇 3.Omol/L;
[0035] 亞硫酸鈉 4.Omol/L;
[0036] 硫酸亞鐵 1.Omol/L。
[0037] 其中,含Au化合物、絡(luò)合劑、穩(wěn)定劑和錫防氧化劑的選擇參考實施例1。
[0038] 實施例3
[0039] 本實施例的Au-Sn合金電鍍液包括如下濃度的組分:
[0040] 含Au化合物 5g/L; 甲基橫酸亞錫 25g/L; 絡(luò)合劑 15g/L, 穩(wěn)定劑 lOOg/L; 錫防氧化劑 3g/L。
[0041] 其中,穩(wěn)定劑包括如下濃度的組分:
[0042] 乙醇 4mol/L;
[0043] 亞硫酸鈉 5. 0mol/L;
[0044] 硫酸亞鐵 1. 5mol/L。
[0045] 其中,含Au化合物、絡(luò)合劑、穩(wěn)定劑和錫防氧化劑的選擇參考實施例1。
[0046] 以上內(nèi)容僅為本發(fā)明的較佳實施例,對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員,依據(jù)本發(fā)明的 思想,在【具體實施方式】及應(yīng)用范圍上均會有改變之處,本說明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對本發(fā)明 的限制。
【主權(quán)項】
1. 一種Au-Sn合金電鍍液,其特征在于,包括如下濃度的組分: 含Au化合物 2~5g/L; 甲基磺酸亞錫 22~25g/L; 絡(luò)合劑 10~I5g/L; 穩(wěn)足劑 80~100gZU 錫防氧化劑 2~3g/L。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的Au-Sn合金電鍍液,其特征在于,所述穩(wěn)定劑包括如下濃度的 組分: 乙醇 2. 5 ~4mol/L ; 亞硫酸鈉 3. 0~5. Omol/L ; 硫酸亞鐵 0· 5~I. 5mol/L。3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的Au-Sn合金電鍍液,其特征在于:所述含Au化合物為 KAu (CN) 2、NaAu (CN) 2、HAuCl中的一種或至少兩種的混合物。4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的Au-Sn合金電鍍液,其特征在于:所述絡(luò)合劑為吡啶化合物、 喹啉化合物、水溶性聚氨基羧酸及其鹽或醚中的至少一種。5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的Au-Sn合金電鍍液,其特征在于:所述吡啶化合物為吡啶、煙 酸、吡啶-3-磺酸,氨基毗啶;喹啉化合物為喹啉、喹啉酸、喹啉-3-磺酸、喹啉-2-磺酸、羥 基喹啉;水溶性多元氨基羧酸為乙二胺四乙酸、乙二胺三乙酸、乙二胺二乙酸、硝基三乙酸、 亞氨基二乙酸。6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的Au-Sn合金電鍍液,其特征在于:所述錫防氧化劑為水溶性 酚類、水溶性酚羧酸類、抗壞血酸及其鹽類或醚類中的至少一種。7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的Au-Sn合金電鍍液,其特征在于:所述水溶性酚類為鄰苯二 酚、間苯二酚、對苯二酚、苯酚;水溶性酚羧酸類為羥基安息香酸,羥基桂皮酸、羥基苯二酸; 抗壞血酸及其鹽類或醚類為抗壞血酸、抗壞血酸鈉、抗壞血酸軟脂酸鈉、抗壞血酸硬脂酸 鈉。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種Au-Sn合金電鍍液,其包括如下濃度的組分:含Au化合物2~5g/L;甲基磺酸亞錫22~25g/L;絡(luò)合劑10~15g/L;穩(wěn)定劑80~100g/L;錫防氧化劑2~3g/L。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本Au-Sn合金電鍍液在存放和使用過程中不會產(chǎn)生沉淀,且性能穩(wěn)定,不會損傷鍍件基體上的細微抗蝕劑圖形。
【IPC分類】C25D3/62
【公開號】CN105063691
【申請?zhí)枴緾N201510518068
【發(fā)明人】沈秋
【申請人】無錫橋陽機械制造有限公司
【公開日】2015年11月18日
【申請日】2015年8月21日