本技術(shù)涉及晶圓凸塊電鑄，尤其是一種晶圓凸塊電鑄模板。

背景技術(shù)：

1、晶圓凸塊電鑄模板在晶圓制造過(guò)程中起著關(guān)鍵作用，它主要用于制作晶圓凸點(diǎn)，而制作晶圓凸點(diǎn)的關(guān)鍵步驟之一就是沉積凸點(diǎn)下的金屬層，這個(gè)金屬層不僅作為互聯(lián)的鍵合層，還起到阻擋材料原子擴(kuò)散至下層金屬材料、粘接下層介電材料和金屬層，以及阻擋污染物遷移的作用。

2、晶圓凸塊是利用電解沉積的原理形成，但目前的電鑄模板在使用時(shí)，當(dāng)對(duì)晶圓凸塊形成后，通常都是人工利用工具將電鑄模板從電解液中取出，此種方式會(huì)影響工作人員對(duì)晶圓凸塊的生產(chǎn)效率，為此，我們提出一種晶圓凸塊電鑄模板解決上述問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種晶圓凸塊電鑄模板，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

3、一種晶圓凸塊電鑄模板，包括底板，所述底板的上方放置有電解液箱，所述底板的上表面固定連接有站板，所述站板的底面安裝有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出端固定連接有螺紋桿，所述螺紋桿的外表面螺紋連接有螺紋筒，所述螺紋筒的底端固定連接有吊板，所述吊板的底面固定連接有兩個(gè)l形板，兩個(gè)所述l形板的前端共同固定連接有放置框，所述放置框的上方放置有電鑄模板本體。

4、在進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述底板的上表面開(kāi)設(shè)有兩個(gè)定位槽，每個(gè)所述定位槽的內(nèi)壁均插接有定位塊，每個(gè)所述定位塊的頂端均與電解液箱的底面相連接。

5、在進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述吊板的上表面固定連接有兩個(gè)穩(wěn)定板，每個(gè)所述穩(wěn)定板的上表面均開(kāi)設(shè)有滑孔，每個(gè)所述滑孔的內(nèi)壁均滑動(dòng)連接有穩(wěn)定桿，每個(gè)所述穩(wěn)定桿的頂端均與站板的底面相連接。

6、在進(jìn)一步的實(shí)施例中，兩個(gè)所述穩(wěn)定桿的底端共同固定連接有支撐板，所述支撐板的背面與站板的正面相連接。

7、在進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述電解液箱的左右兩側(cè)面均固定連接有提把。

8、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

9、本裝置通過(guò)設(shè)置的放置框、l形板、吊板、電機(jī)、螺紋桿與螺紋筒的配合，利用電機(jī)的工作，能夠帶動(dòng)螺紋桿在螺紋筒內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)，螺紋筒便會(huì)在螺紋桿上移動(dòng)，同時(shí)會(huì)帶動(dòng)放置框，放置框上的電鑄模板便會(huì)逐漸的從電解液箱中分離，方便工作人員對(duì)電鑄模板進(jìn)行拿取，從而保證工作人員對(duì)晶圓凸塊的生產(chǎn)效率。

技術(shù)特征：

1.一種晶圓凸塊電鑄模板，其特征在于：包括底板(1)，所述底板(1)的上方放置有電解液箱(2)，所述底板(1)的上表面固定連接有站板(3)，所述站板(3)的底面安裝有電機(jī)(4)，所述電機(jī)(4)的輸出端固定連接有螺紋桿(6)，所述螺紋桿(6)的外表面螺紋連接有螺紋筒(7)，所述螺紋筒(7)的底端固定連接有吊板(9)，所述吊板(9)的底面固定連接有兩個(gè)l形板(10)，兩個(gè)所述l形板(10)的前端共同固定連接有放置框(15)，所述放置框(15)的上方放置有電鑄模板本體(14)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓凸塊電鑄模板，其特征在于：所述底板(1)的上表面開(kāi)設(shè)有兩個(gè)定位槽(16)，每個(gè)所述定位槽(16)的內(nèi)壁均插接有定位塊(17)，每個(gè)所述定位塊(17)的頂端均與電解液箱(2)的底面相連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓凸塊電鑄模板，其特征在于：所述吊板(9)的上表面固定連接有兩個(gè)穩(wěn)定板(8)，每個(gè)所述穩(wěn)定板(8)的上表面均開(kāi)設(shè)有滑孔(12)，每個(gè)所述滑孔(12)的內(nèi)壁均滑動(dòng)連接有穩(wěn)定桿(13)，每個(gè)所述穩(wěn)定桿(13)的頂端均與站板(3)的底面相連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓凸塊電鑄模板，其特征在于：兩個(gè)所述穩(wěn)定桿(13)的底端共同固定連接有支撐板(11)，所述支撐板(11)的背面與站板(3)的正面相連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓凸塊電鑄模板，其特征在于：所述電解液箱(2)的左右兩側(cè)面均固定連接有提把(5)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開(kāi)了一種晶圓凸塊電鑄模板，包括底板，所述底板的上方放置有電解液箱，所述底板的上表面固定連接有站板，所述站板的底面安裝有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出端固定連接有螺紋桿，所述螺紋桿的外表面螺紋連接有螺紋筒，所述螺紋筒的底端固定連接有吊板，所述吊板的底面固定連接有兩個(gè)L形板，兩個(gè)所述L形板的前端共同固定連接有放置框。本裝置通過(guò)設(shè)置的放置框、L形板、吊板、電機(jī)、螺紋桿與螺紋筒的配合，利用電機(jī)的工作，能夠帶動(dòng)螺紋桿在螺紋筒內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)，螺紋筒便會(huì)在螺紋桿上移動(dòng)，同時(shí)會(huì)帶動(dòng)放置框，放置框上的電鑄模板便會(huì)逐漸的從電解液箱中分離，方便工作人員對(duì)電鑄模板進(jìn)行拿取，從而保證工作人員對(duì)晶圓凸塊的生產(chǎn)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：黎增祺,徐天宇,程悅
受保護(hù)的技術(shù)使用者：南通美精微電子有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240515
技術(shù)公布日：2024/12/26