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一種多層膜電化學(xué)沉積設(shè)備及方法與流程

文檔序號(hào):11613757閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種多層膜電化學(xué)沉積設(shè)備及方法,所述設(shè)備包括電沉積腔和多個(gè)電沉積液存儲(chǔ)裝置,每個(gè)電沉積液存儲(chǔ)裝置的兩端分別設(shè)有電沉積液出口和電沉積液入口,每個(gè)電沉積液出口和電沉積液入口處均設(shè)有閥門(mén),電沉積腔的兩端分別與多個(gè)的電沉積液出口和電沉積液入口連通,電沉積腔內(nèi)固定有陰極材料和陽(yáng)極材料,陰極材料和陽(yáng)極材料之間連接有電壓源。本發(fā)明的電沉積腔同時(shí)連通多種電沉積液存儲(chǔ)裝置,可以通過(guò)依次切換電沉積腔與不同電沉積液存儲(chǔ)設(shè)備的連通使不同電沉積液流經(jīng)陰極材料和陽(yáng)極材料之間來(lái)完成多層膜的鍍制,整個(gè)過(guò)程無(wú)需移動(dòng)陰極材料和陽(yáng)極材料,無(wú)需更換電沉積設(shè)備,避免多層膜接口在電鍍?cè)O(shè)備傳送過(guò)層中產(chǎn)生污染。

技術(shù)研發(fā)人員:蕭國(guó)瑞
受保護(hù)的技術(shù)使用者:瑞爾太陽(yáng)能投資有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2016.11.23
技術(shù)公布日:2017.08.04
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