一種化學(xué)沉積設(shè)備的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種化學(xué)沉積設(shè)備，包括藥液槽和設(shè)于所述藥液槽內(nèi)的傳輸機(jī)構(gòu)，所述傳輸機(jī)構(gòu)包括多個(gè)平行且間隔設(shè)置的上輸送滾輪和下輸送滾輪，該化學(xué)沉積設(shè)備還包括設(shè)于所述藥液槽內(nèi)、位于該些下輸送滾輪的下方、并沿該些下輸送滾輪的軸向設(shè)置的復(fù)數(shù)個(gè)攪動(dòng)裝置，所述攪動(dòng)裝置包括一基體和固設(shè)于所述基體上的至少一片葉片，當(dāng)所述葉片在外力作用下于所述藥液槽內(nèi)360度旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述藥液槽內(nèi)的藥液產(chǎn)生涌動(dòng)。本發(fā)明增加了攪動(dòng)裝置，通過攪動(dòng)裝置在藥液槽內(nèi)旋轉(zhuǎn)從而使得藥液產(chǎn)生大面積的涌動(dòng)力，進(jìn)而提高沉積速率，提升沉積的效果。
【專利說明】
一種化學(xué)沉積設(shè)備
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種化學(xué)沉積設(shè)備，屬于濕制程設(shè)備工藝技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]化學(xué)沉積是利用一種合適的還原劑使鍍液中的金屬離子還原并沉積在基體表面上的化學(xué)還原過程?；瘜W(xué)沉積被廣泛應(yīng)用于印制線路板的生產(chǎn)加工中，其主要目的在于通過一系列化學(xué)處理方法在非導(dǎo)電的基材上沉積一層錫、銅、鎳、銀等物質(zhì)。
[0003]化學(xué)沉積工藝通過一系列必須的步驟而完成錫、銅、鎳、銀等物質(zhì)的沉積，為了提升化學(xué)藥液的沉積速率，需藥液槽體內(nèi)的藥液保持涌動(dòng)的狀態(tài)。如圖1-3所示的化學(xué)沉積設(shè)備，其包括藥液槽I和設(shè)于藥液槽I內(nèi)的用于輸送基板K(印制線路板)的傳輸機(jī)構(gòu)，藥液槽I內(nèi)的藥液高于傳輸機(jī)構(gòu)的高度，從而將基板完全浸泡在藥液中。該傳輸機(jī)構(gòu)包括由驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)(圖中未示出)的多個(gè)平行且間隔設(shè)置的上輸送滾輪2和下輸送滾輪3，基板在上輸送滾輪2和下輸送滾輪3之間傳輸，該藥液槽內(nèi)還設(shè)置有多個(gè)水刀4，該些水刀4分別設(shè)置于相鄰的兩個(gè)下實(shí)心滾輪3之間，且相鄰的水刀4之間間隔多個(gè)下輸送滾輪3，水刀4對(duì)基板噴沖藥液，從而使得藥液產(chǎn)生一定程度的涌動(dòng)，進(jìn)而使得藥液對(duì)基板產(chǎn)生一定程度的置換而提尚沉積效果。
[0004]然而，現(xiàn)有的化學(xué)沉積設(shè)備中的水刀產(chǎn)生的藥液涌動(dòng)的面積過于集中(如圖3所示，箭頭表示水刀作用下的藥液流動(dòng)狀態(tài))，即在水刀周邊的較小范圍內(nèi)產(chǎn)生藥液涌動(dòng)，無法輻射到整個(gè)基板K，無法達(dá)到理想的攪動(dòng)藥液的作用，因而無法達(dá)到較佳的沉積效果。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的目的在于一種化學(xué)沉積設(shè)備，克服了現(xiàn)有技術(shù)的不足。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0007]—種化學(xué)沉積設(shè)備，包括藥液槽和設(shè)于所述藥液槽內(nèi)的傳輸機(jī)構(gòu)，所述傳輸機(jī)構(gòu)包括多個(gè)平行且間隔設(shè)置的上輸送滾輪和下輸送滾輪，該化學(xué)沉積設(shè)備還包括設(shè)于所述藥液槽內(nèi)、位于該些下輸送滾輪的下方、并沿該些下輸送滾輪的軸向設(shè)置的復(fù)數(shù)個(gè)攪動(dòng)裝置，所述攪動(dòng)裝置包括一基體和固設(shè)于所述基體上的至少一片葉片，當(dāng)所述葉片在外力作用下于所述藥液槽內(nèi)360度旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述藥液槽內(nèi)的藥液產(chǎn)生涌動(dòng)。
[0008]優(yōu)選的，所述基體的一端與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用馬達(dá)。
[0009]進(jìn)一步的，所述基體的一端經(jīng)磁力環(huán)和傳動(dòng)軸與所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接。
[0010]優(yōu)選的，所述基體采用一圓柱形棒材，所述葉片采用平板型葉片或具有弧面的葉片。
[0011]優(yōu)選的，該化學(xué)沉積設(shè)備還包括補(bǔ)液機(jī)構(gòu)，所述補(bǔ)液機(jī)構(gòu)包括栗浦和與所述栗浦通過管道連接的補(bǔ)液管，所述補(bǔ)液管的另一端部設(shè)于所述藥液槽內(nèi)，用于向所述藥液槽內(nèi)補(bǔ)充藥液，從而使得所述藥液槽內(nèi)的藥液面始終位于設(shè)定位置。
[0012]優(yōu)選的，該化學(xué)沉積設(shè)備還包括復(fù)數(shù)個(gè)沉箱，該些沉箱設(shè)于所述藥液槽內(nèi)的底端部，用于節(jié)約藥液槽內(nèi)的藥液容積。
[0013]優(yōu)選的，所述攪動(dòng)裝置具有一片所述葉片。
[0014]優(yōu)選的，所述攪動(dòng)裝置具有兩片所述葉片，該兩片葉片之間夾角為180度。
[0015]優(yōu)選的，所述攪動(dòng)裝置具有三片所述葉片，該三片葉片之間夾角為120度。
[0016]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)至少在于:
[0017]I)本發(fā)明增加了攪動(dòng)裝置，通過攪動(dòng)裝置在藥液槽內(nèi)旋轉(zhuǎn)從而使得藥液產(chǎn)生涌動(dòng)力，進(jìn)而提尚沉積速率，提升沉積的效果。
[0018]2)優(yōu)選的，本發(fā)明通過補(bǔ)液機(jī)構(gòu)可以向藥液槽內(nèi)補(bǔ)充藥液，從而使得所述藥液槽內(nèi)的藥液面始終位于設(shè)定位置，從而保證沉積反應(yīng)的順利、穩(wěn)定的進(jìn)行。
[0019]3)優(yōu)選的，本發(fā)明通過多個(gè)設(shè)置于藥液槽內(nèi)的沉箱，可以抬高藥液的高度，大幅度減少向藥液槽內(nèi)加入藥水的量，從而節(jié)約了藥液的用量。
[0020]4)優(yōu)選的，采用具有一個(gè)葉片的攪動(dòng)裝置，可以有效地產(chǎn)生攪動(dòng)力，從而使得藥液產(chǎn)生大面積的涌動(dòng)效果，進(jìn)而提高了沉積速率。
【附圖說明】
[0021]為了更清楚地說明本發(fā)明結(jié)構(gòu)特征和技術(shù)要點(diǎn)，下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0022]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的一種化學(xué)沉積設(shè)備的主視圖；
[0023]圖2為現(xiàn)有技術(shù)中的一種化學(xué)沉積設(shè)備的側(cè)視圖；
[0024]圖3為現(xiàn)有技術(shù)中的一種化學(xué)沉積設(shè)備的局部側(cè)視圖；
[0025]圖4為本發(fā)明實(shí)施例所公開的一種化學(xué)沉積設(shè)備的主視圖；
[0026]圖5為本發(fā)明實(shí)施例所公開的一種化學(xué)沉積設(shè)備的側(cè)視圖；
[0027]圖6為本發(fā)明實(shí)施例所公開的一種化學(xué)沉積設(shè)備的局部側(cè)視圖；
[0028]圖7為圖6的局部不意圖；
[0029]圖8為本發(fā)明實(shí)施例所公開的攪動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0030]附圖標(biāo)記說明:藥液槽1、上輸送滾輪2、下輸送滾輪3、水刀4、攪動(dòng)裝置5、基體51、葉片52、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6、磁力環(huán)7、補(bǔ)液機(jī)構(gòu)8、栗浦81、補(bǔ)液管82、沉箱9、傳動(dòng)軸1。
【具體實(shí)施方式】
[0031]下面將結(jié)合本實(shí)施例中的附圖，對(duì)實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行具體、清楚、完整地描述。
[0032]實(shí)施例1:
[0033]參見圖4-8所示，本實(shí)施例公開了一種化學(xué)沉積設(shè)備，包括藥液槽I和設(shè)于藥液槽I內(nèi)的用于輸送基板(印制線路板)的傳輸機(jī)構(gòu)，藥液槽I內(nèi)的藥液高于傳輸機(jī)構(gòu)的高度，從而將基板完全浸泡在藥液中，該傳輸機(jī)構(gòu)包括多個(gè)平行且間隔設(shè)置的上輸送滾輪2和下輸送滾輪3，該化學(xué)沉積設(shè)備還包括設(shè)于藥液槽I內(nèi)、位于該些下輸送滾輪3的下方、并沿該些下輸送滾輪3的軸向設(shè)置的復(fù)數(shù)個(gè)攪動(dòng)裝置5，攪動(dòng)裝置5包括一基體51和固設(shè)于基體51上的一片葉片52，當(dāng)葉片52在外力作用下于藥液槽I內(nèi)360度旋轉(zhuǎn)時(shí)，藥液槽I內(nèi)的藥液產(chǎn)生涌動(dòng)。
[0034]優(yōu)選的，基體51的一端與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6連接，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6采用馬達(dá)。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6用于驅(qū)動(dòng)葉片52旋轉(zhuǎn)，從而產(chǎn)生攪動(dòng)力。
[0035]進(jìn)一步的，基體51的一端經(jīng)磁力環(huán)7和傳動(dòng)軸10與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6連接。
[0036]優(yōu)選的，基體51采用一圓柱形棒材，葉片52采用平板型葉片。其中，基體51和葉片52可以采用一體設(shè)置的方式。此外，葉片52采用平板型葉片設(shè)計(jì)，其產(chǎn)生的攪動(dòng)效果最佳，可以更好地提高沉積速率。當(dāng)然，葉片52還可以設(shè)計(jì)為其他形狀，例如具有弧面的形狀等等，但是其效果均遜于平板型葉片。
[0037]優(yōu)選的，該化學(xué)沉積設(shè)備還包括補(bǔ)液機(jī)構(gòu)8，補(bǔ)液機(jī)構(gòu)8包括栗浦81和與栗浦81通過管道連接的補(bǔ)液管82，補(bǔ)液管82的另一端部設(shè)于藥液槽I內(nèi)，用于向藥液槽I內(nèi)補(bǔ)充藥液，從而使得藥液槽I內(nèi)的藥液面始終位于設(shè)定位置，進(jìn)而保證沉積反應(yīng)的順利、穩(wěn)定的進(jìn)行。
[0038]優(yōu)選的，該化學(xué)沉積設(shè)備還包括復(fù)數(shù)個(gè)沉箱9，該些沉箱9設(shè)于藥液槽I內(nèi)的底端部，用于節(jié)約藥液槽I內(nèi)的藥液。通過多個(gè)設(shè)置于藥液槽I內(nèi)的沉箱9，可以抬高藥液的高度，大幅度減少向藥液槽I內(nèi)加入藥水的量，從而節(jié)約了藥液的用量。
[0039]藉由以上技術(shù)方案，通過攪動(dòng)裝置5在藥液槽I內(nèi)旋轉(zhuǎn)從而使得藥液產(chǎn)生大面積的涌動(dòng)力(如圖7所示，圖中的箭頭表示在葉片52作用下藥液的流動(dòng)狀態(tài))，進(jìn)而提高沉積速率，提升沉積的效果。
[0040]實(shí)施例2:
[0041]本實(shí)施例2與實(shí)施例1的區(qū)別在攪動(dòng)裝置的葉片設(shè)置不同，其他的不再進(jìn)行贅述。該攪動(dòng)裝置包括基體和兩片葉片，該兩片葉片之間夾角為180度。
[0042]實(shí)施例3:
[0043]本實(shí)施例3與實(shí)施例1的區(qū)別在攪動(dòng)裝置的葉片設(shè)置不同，其他的不再進(jìn)行贅述。該攪動(dòng)裝置包括基體和三片葉片，該三片葉片之間夾角為120度。
[0044]實(shí)施例2-3同樣可以起到攪動(dòng)的作用，但是相對(duì)比實(shí)施I而言，權(quán)利2-3的攪動(dòng)效果較差，實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)最為簡單，但達(dá)到的攪動(dòng)效果最佳。但是實(shí)施例2-3仍然為本發(fā)明的一較佳實(shí)施方式，并和實(shí)施例1 一起對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案做進(jìn)一步的解釋說明，但絕不對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案構(gòu)成限定。
[0045]上述【具體實(shí)施方式】，僅為說明本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思和結(jié)構(gòu)特征，目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的相關(guān)人士能夠據(jù)以實(shí)施，但以上所述內(nèi)容并不限制本發(fā)明的保護(hù)范圍，凡是依據(jù)本發(fā)明的精神實(shí)質(zhì)所作的任何等效變化或修飾，均應(yīng)落入本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種化學(xué)沉積設(shè)備，包括藥液槽和設(shè)于所述藥液槽內(nèi)的傳輸機(jī)構(gòu)，所述傳輸機(jī)構(gòu)包括多個(gè)平行且間隔設(shè)置的上輸送滾輪和下輸送滾輪，其特征在于，該化學(xué)沉積設(shè)備還包括設(shè)于所述藥液槽內(nèi)、位于該些下輸送滾輪的下方、并沿該些下輸送滾輪的軸向設(shè)置的復(fù)數(shù)個(gè)攪動(dòng)裝置，所述攪動(dòng)裝置包括一基體和固設(shè)于所述基體上的至少一片葉片，當(dāng)所述葉片在外力作用下于所述藥液槽內(nèi)360度旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述藥液槽內(nèi)的藥液產(chǎn)生涌動(dòng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種化學(xué)沉積設(shè)備，其特征在于，所述基體的一端與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用馬達(dá)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種化學(xué)沉積設(shè)備，其特征在于，所述基體的一端經(jīng)磁力環(huán)和傳動(dòng)軸與所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種化學(xué)沉積設(shè)備，其特征在于，所述基體采用一圓柱形棒材，所述葉片采用平板型葉片或具有弧面的葉片。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種化學(xué)沉積設(shè)備，其特征在于，該化學(xué)沉積設(shè)備還包括補(bǔ)液機(jī)構(gòu)，所述補(bǔ)液機(jī)構(gòu)包括栗浦和與所述栗浦通過管道連接的補(bǔ)液管，所述補(bǔ)液管的另一端部設(shè)于所述藥液槽內(nèi)，用于向所述藥液槽內(nèi)補(bǔ)充藥液，從而使得所述藥液槽內(nèi)的藥液面始終位于設(shè)定位置。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種化學(xué)沉積設(shè)備，其特征在于，該化學(xué)沉積設(shè)備還包括復(fù)數(shù)個(gè)沉箱，該些沉箱設(shè)于所述藥液槽內(nèi)的底端部，用于節(jié)約藥液槽內(nèi)的藥液容積。7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)所述的一種化學(xué)沉積設(shè)備，其特征在于，所述攪動(dòng)裝置具有一片所述葉片。8.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)所述的一種化學(xué)沉積設(shè)備，其特征在于，所述攪動(dòng)裝置具有兩片所述葉片，該兩片葉片之間夾角為180度。9.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)所述的一種化學(xué)沉積設(shè)備，其特征在于，所述攪動(dòng)裝置具有三片所述葉片，該三片葉片之間夾角為120度。
【文檔編號(hào)】C23C18/16GK105937025SQ201610536782
【公開日】2016年9月14日
【申請(qǐng)日】2016年7月8日
【發(fā)明人】黃品椿, 朱科星, 張長樹, 徐永伯, 張東亞
【申請(qǐng)人】蘇州創(chuàng)峰光電科技有限公司