本發(fā)明涉及一種六氟化硫的制備方法，尤其涉及一種電解制取六氟化硫的方法。

背景技術(shù)：
工業(yè)上SF6通常是由電解產(chǎn)生的氟在高溫下與硫反應(yīng)來(lái)制備的，除SF6外，還生成少量的副產(chǎn)物。各種實(shí)現(xiàn)方式均相似，但是電解液有所不同。在無(wú)水氟化氫和強(qiáng)導(dǎo)電性溶質(zhì)(如氟化鈉)存在下電解硫化氫、二硫化碳、氯化硫等無(wú)機(jī)共價(jià)硫化物可以得到SF6。這種方法所耗電能大，由于氣體副產(chǎn)物較多，SF6的分離和純化亦很復(fù)雜。電解法的陽(yáng)極材料主要是鎳，但是鎳陽(yáng)極腐蝕速度比較快，污染電解質(zhì)，在電解槽底部形成底渣，同時(shí)，電解過(guò)程伴隨著電鍍過(guò)程，隨著時(shí)間的積累，鎳以海綿鎳的形式電鍍到陰極上，使陰極加厚，這樣就降低了電解槽的電流效率，為消除底渣和陰極電鍍對(duì)電解質(zhì)的不利影響，必須對(duì)電解槽進(jìn)行定期處理。由于鎳電極材料的價(jià)格遠(yuǎn)高于碳電極的價(jià)格，并且鎳電極的價(jià)格仍在迅速上漲，隨著SF6在集成電路方面的應(yīng)用及各大生產(chǎn)企業(yè)的擴(kuò)產(chǎn)、提高氣體質(zhì)量，為了提高SF6的競(jìng)爭(zhēng)力，降低生產(chǎn)成本，更換應(yīng)用時(shí)間更長(zhǎng)、價(jià)格更低的碳電極成為一項(xiàng)不錯(cuò)的選擇。CN101949025A公開了一種采用電解合成法生產(chǎn)六氟化硫的技術(shù)，主要由制作一體的電解槽外殼、其內(nèi)部腔壁連接套裝絕緣襯里，內(nèi)部中間連接安裝其上設(shè)計(jì)有陽(yáng)極下部穿孔和陽(yáng)極上部穿孔的陽(yáng)極，電解槽外殼頂部連接安裝其上設(shè)計(jì)有氫氣出口管和六氟化硫出口管的槽蓋，槽蓋沿電解槽外殼內(nèi)部向下連接安裝裙板，裙板向下連接安裝深入到陽(yáng)極池液中的隔膜，電解槽外殼的外圓上連接安裝陰極電極，并在其內(nèi)部腔壁連接套裝絕緣襯里共有的穿孔連接安裝加料管，陽(yáng)極連接陽(yáng)極電極，總裝一體而構(gòu)成。CN102330109A公開了一種采用電解合成法生產(chǎn)六氟化硫的技術(shù)，將硫直接加到制氟電解槽中，配成KHF2-HF-S混合物，電解熔融的此種混合物時(shí)，產(chǎn)生的氟立即與電解質(zhì)中的硫反應(yīng)而生成SF6，加入硫后電解槽的電解電壓并不升高，也不引起電流損失。用此法制備SF6時(shí)，由于陽(yáng)極室內(nèi)產(chǎn)生的氟立即與硫反應(yīng)而消耗掉，故可防止因氟與氫混合而產(chǎn)生的爆炸，同時(shí)減少了電解槽排出的氣體量，從而也減少了氟化氫的帶出量，減輕了其回收裝置的負(fù)擔(dān)。此外，還可省去反應(yīng)裝置。現(xiàn)有氟化氫銨電解制取六氟化硫技術(shù)中，陽(yáng)極效應(yīng)主要是因?yàn)樘茧姌O表面的碳-氟膜，雖然碳-氟膜可導(dǎo)電，但是陽(yáng)極氣體易附著于碳-氟膜上，造成整個(gè)電解體系的導(dǎo)電電流急劇下降，需要尋找更高效的電極。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足之處，提供一種電解制取六氟化硫的方法。制得納米鈰修飾碳電極，作為電解反應(yīng)陽(yáng)極使用；四氟化硫和氫氟酸配成電解液連續(xù)注入電解槽中，電解槽陽(yáng)極為制得的納米鈰修飾碳電極，在適宜的電解溫度、壓力、電壓條件下電解，陽(yáng)極生成氣體含有SF6，SF4以及一些微量雜質(zhì)，該混合氣體經(jīng)過(guò)業(yè)內(nèi)公知的系列精制工藝，包括脫除雜質(zhì)氟，除酸性雜質(zhì)，再經(jīng)過(guò)分子篩吸附SF6，吸附后的SF6再經(jīng)過(guò)業(yè)內(nèi)公知的脫雜質(zhì)精制技術(shù)，得到高純的六氟化硫產(chǎn)品。一種電解制取六氟化硫的方法，其特征在于包括如下步驟：步驟1、納米氧化鈰修飾碳電極的制備將納米氧化鈰，納米氧化鈰質(zhì)量10-15倍的硫酸(質(zhì)量百分比濃度5-20)，納米氧化鈰質(zhì)量百分比含量0.1-0.5的4-溴硼酸重氮苯四氟硼酸鹽，混合10-50分鐘制得懸浮液，將碳電極放入懸浮液中浸泡20-80h，然后加入納米氧化鈰質(zhì)量1-5倍的間卟啉二甲酯、納米氧化鈰質(zhì)量百分比濃度0.1-0.5的醋酸鈷，20-60℃浸泡20-80h，取出烘干，制得納米氧化鈰修飾碳電極，作為電解反應(yīng)陽(yáng)極使用。步驟2、六氟化硫的制備將四氟化硫和氫氟酸按摩爾比1-6∶1配成電解液連續(xù)注入電解槽中，電解槽陽(yáng)極為步驟1的納米鈰修飾碳電極，電解溫度-60～-30℃，壓力0.5-5MPa，電壓20-50V，陽(yáng)極生成氣體含有SF6，SF4以及一些微量雜質(zhì)，該混合氣體經(jīng)過(guò)業(yè)內(nèi)公知的系列精制工藝，包括脫除雜質(zhì)氟，除酸性雜質(zhì)，再經(jīng)過(guò)分子篩吸附SF6，吸附后的SF6再經(jīng)過(guò)業(yè)內(nèi)公知的脫雜質(zhì)精制技術(shù)，得到高純的六氟化硫產(chǎn)品。所述的納米氧化鈰為市售產(chǎn)品，如杭州景天納米科技有限公司生產(chǎn)的產(chǎn)品；所述的4-溴硼酸重氮苯四氟硼酸鹽為市售產(chǎn)...