本發(fā)明涉及一種用于將電鍍金屬、優(yōu)選地銅垂直沉積在待處理基板上的基板保持器，該基板保持器包括第一基板保持器部件和第二基板保持器部件，其中，兩個(gè)基板保持器部件均包括內(nèi)部含金屬部分和外部非金屬部分。

本發(fā)明還涉及這樣的創(chuàng)造性基板保持器的用途，用于將電鍍金屬、特別是銅沉積在待處理基板、特別是半導(dǎo)體晶片上。

背景技術(shù)：

本發(fā)明涉及一種基板保持器，用于對平面基板，例如晶片，進(jìn)行電鍍處理，特別是電鍍涂覆，以便制造半導(dǎo)體晶片、印刷電路板或箔或其它待處理平面基板。

為了以電鍍方式處理基板，將所述基板放置在位于處理容器中的電解液槽中。陽極被布置在處理容器中以用于電鍍涂覆。通過在陽極與產(chǎn)品之間施加電壓，以電鍍方式將金屬沉積在產(chǎn)品上。對待處理基板使用基板保持器，以便使基板的使用范圍盡可能大，所述基板保持器在邊界區(qū)域中將基板保持。期望的是，基板能夠部分地或完全地自動(dòng)緊固至基板保持器和從基板保持器釋放。

不同的應(yīng)用能夠要求對基板的兩側(cè)電鍍處理。雖然能夠使用不同的涂覆工藝依次涂覆兩側(cè)，但是期望的是，例如同時(shí)地涂覆基板的兩側(cè)，以便有效地實(shí)施該方法。另外，同時(shí)地處理兩個(gè)基板的僅一側(cè)能夠是有必要的。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的

仍然需要用于電鍍處理基板的基板保持器，所述基板保持器提供了關(guān)于上述目標(biāo)的優(yōu)點(diǎn)。特別地，需要這樣的用于處理基板的基板保持器，布置該基板保持器以用于同時(shí)地涂覆基板的兩側(cè)的目的。

本發(fā)明的特別的目的是提供一種基板保持器，該基板保持器具有密封元件、電流接觸元件和緊固元件的創(chuàng)造性獨(dú)特組合，以便確保該基板保持器不能使處理液體通過。同時(shí)，應(yīng)確保相應(yīng)的待處理基板的表面上的所需金屬(特別是銅)沉積是均勻的。

發(fā)明概述

通過具有權(quán)利要求1的所有特征的基板保持器，實(shí)現(xiàn)了這些目的以及未被明確地聲明但可通過引入方式從本文所討論的連接中直接得出或辨別的其他目的。在從屬權(quán)利要求2至14中保護(hù)了本發(fā)明的基板保持器的適當(dāng)改型。另外，權(quán)利要求15包括這種基板保持器的用途，用于待處理基板上的電鍍金屬(特別是銅)沉積。

因此，本發(fā)明提供了一種用于將電鍍金屬、優(yōu)選地銅垂直沉積在待處理基板上的基板保持器，所述基板保持器包括第一基板保持器部件和第二基板保持器部件，其中，兩個(gè)基板保持器部件均包括內(nèi)部含金屬部分和外部非金屬部分，其特征在于，所述基板保持器還包括：

i)在每個(gè)基板保持器部件中的至少一個(gè)懸置元件，用于將基板保持器機(jī)械地連接至處理容器，

ii)在每個(gè)基板保持器部件中的至少一個(gè)第一密封元件，所述第一密封元件被布置在待處理基板和相應(yīng)的基板保持器部件之間，

iii)用于整個(gè)基板保持器的至少一個(gè)第二密封元件，所述第二密封元件被布置在基板保持器的內(nèi)部含金屬部分和基板保持器的外部非金屬部分之間，

iv)至少一個(gè)緊固系統(tǒng)，用于將兩個(gè)基板保持器部件可拆卸地彼此緊固以保持待處理基板，

v)在每個(gè)基板保持器部件中的至少一個(gè)第一接觸元件，用于將電流從外部源通過懸置元件傳送到所述至少第二接觸元件，以及

vi)在每個(gè)基板保持器部件中的至少一個(gè)第二接觸元件，用于將電流從所述至少第一接觸元件傳送到待處理基板。

因此，能夠以不可預(yù)見的方式提供一種基板保持器，該基板保持器能夠以優(yōu)異質(zhì)量用于一側(cè)和兩側(cè)金屬沉積。

此外，本發(fā)明的基板保持器是密封元件、電流接觸元件和緊固元件的創(chuàng)造性獨(dú)特組合，其確?；灞３制鞑荒苁固幚硪后w通過。同時(shí)，相應(yīng)的待處理基板的表面上所需的金屬(特別是銅)沉積是均勻的。

附圖說明

本發(fā)明的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)也將在結(jié)合附圖閱讀以下描述后變得顯而易見，其中：

圖1展示了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的第一基板保持器部件的示意性前視圖。

圖2展示了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的第二基板保持器部件的示意性前視圖。

圖3展示了根據(jù)如圖2所示的本發(fā)明的相同實(shí)施例的具有閉合的緊固系統(tǒng)的第二基板保持器部件的一部分的示意性放大前視圖。

圖4展示了根據(jù)如圖2所示的本發(fā)明的相同實(shí)施例的具有打開的緊固系統(tǒng)的第二基板保持器部件的相同部分的另一示意性放大前視圖。

圖5展示了根據(jù)如圖2所示的本發(fā)明的相同實(shí)施例的第二基板保持器部件的一部分的另一示意性放大透視圖。

圖6展示了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的具體可能的第二和/或第三密封元件的示意性側(cè)視圖。

圖7展示了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的第一和第二基板保持器部件的懸置元件的示意性透視圖。

具體實(shí)施方式

在一個(gè)實(shí)施例中，基板保持器還包括用于整個(gè)基板保持器的至少一個(gè)第三密封元件，所述第三密封元件被布置在基板保持器的內(nèi)部含金屬部分和基板保持器的外部非金屬部分之間，其中，所述第三密封元件比第二密封元件處于更外部。

這種另外的第三密封元件進(jìn)一步確保沒有處理液體能夠經(jīng)過第二密封元件形式的外部密封元件到達(dá)基板保持器的內(nèi)部區(qū)域，其中是金屬部分。

在一個(gè)實(shí)施例中，緊固系統(tǒng)包括在第一基板保持器部件中的至少兩個(gè)，優(yōu)選地三個(gè)，第一凹部元件以及在第二基板保持器部件中的至少兩個(gè)，優(yōu)選地三個(gè)，第一緊固元件，其中，所述第一緊固元件與相應(yīng)的第一凹部元件結(jié)合。

緊固元件和凹部的這種組合用于防止在金屬沉積過程期間或者在將基板保持器安裝在相應(yīng)的處理容器中期間兩個(gè)基板保持器部件能夠相對于彼此甚至僅稍微地偏移。

在一個(gè)實(shí)施例中，基板保持器還包括在一個(gè)基板保持器部件中的至少兩個(gè)，優(yōu)選地三個(gè)，第一定位元件，用于所述至少一個(gè)待處理基板的準(zhǔn)確中央定位。

即使已經(jīng)在表示兩個(gè)基板保持器部件的圖1和圖2中示出了這些第一定位元件，但是必須強(qiáng)調(diào)的是，由于它們的結(jié)構(gòu)高度，僅一個(gè)基板保持器部件能夠設(shè)有這些定位元件。圖1和圖2中的存在被認(rèn)為是僅用于說明目的，這是因?yàn)橛脩艨梢赃x擇他想要在哪一個(gè)基板保持器部件中包括所述定位元件。

待處理基板的這種高精度定位對于通過避免由基板的不期望偏移引起所引起的邊緣效應(yīng)來實(shí)現(xiàn)均勻的金屬沉積來說是非常重要的，即使基板僅稍微地偏移。

在一個(gè)實(shí)施例中，基板保持器還包括在每個(gè)懸置元件的外部的相對端處的至少兩個(gè)第二定位元件，用于將基板保持器準(zhǔn)確地機(jī)械定位在處理容器中。

這被認(rèn)為是為了能夠?qū)⒒灞３制鞣胖迷谔幚砣萜髦校粫苫灞３制髟谝胩幚砣萜髦衅陂g的豎直對準(zhǔn)的偏離而在基板保持器上產(chǎn)生不期望的張力。

在一個(gè)實(shí)施例中，每個(gè)基板保持器部件中的第二接觸元件形成為一部分或多個(gè)部分，優(yōu)選地形成為多個(gè)部分。這里，至少三個(gè)部分是特別優(yōu)選的。

在一個(gè)實(shí)施例中，每個(gè)基板保持器部件中的第二接觸元件包括多個(gè)接觸指元件。

在優(yōu)選實(shí)施例中，每個(gè)基板保持器部件中的第二接觸元件形成為多個(gè)部分，其中，第二接觸元件的每個(gè)部分包括至少一個(gè)接觸指元件，優(yōu)選地至少15個(gè)接觸指元件，更優(yōu)選至少25個(gè)接觸指元件。

在另一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，每個(gè)基板保持器部件中的第二接觸元件具有頂部導(dǎo)電涂層，該頂部導(dǎo)電涂層優(yōu)選由金屬或金屬合金構(gòu)成，其中，至少一種金屬選自由銀、金、銅、鉑或鈀構(gòu)成的組。金和鉑在這里是特別優(yōu)選的。

在一個(gè)實(shí)施例中，一個(gè)基板保持器部件中的第一接觸元件包括在引導(dǎo)到外部電流源的兩個(gè)外部的相對端部處的第二凹部元件，而另一個(gè)基板保持器部件中的第一接觸元件是平坦邊緣。

這被認(rèn)為是為了能夠從外部的電流源接觸基板保持器，而不具有由基板保持器上的不期望張力所導(dǎo)致的接觸不均勻或不恒定的風(fēng)險(xiǎn)，基板保持器上的不期望張力能夠由于在引入處理容器中期間基板保持器的豎直對準(zhǔn)的偏離產(chǎn)生。

在一個(gè)實(shí)施例中，緊固系統(tǒng)還包括在第一基板保持器部件中的至少多個(gè)第二、第三、第四和第五緊固元件以及多個(gè)第三凹部元件；同時(shí)緊固系統(tǒng)還包括在第二基板保持器部件中的至少多個(gè)第六、第七、第八、第九、第十、第十一和第十二緊固元件以及多個(gè)第四凹部元件；其中，第一基板保持器部件的第二緊固元件與第二基板保持器部件的第四凹部元件結(jié)合；并且其中，第二基板保持器部件的第六緊固元件與第一基板保持器部件的第三凹部元件結(jié)合。

在優(yōu)選實(shí)施例中，第二緊固元件和第六緊固元件是位置不可移動(dòng)的永久固定元件，諸如螺釘、螺栓、銷等；第七、第八、第九和第十二緊固元件是金屬鏈，其中，第九緊固元件是圍繞基板保持器的適于接納待處理基板的部位延伸的圓形金屬鏈，其中，第八和第七緊固元件是從所述第九緊固元件線性地延伸到基板保持器的上側(cè)的兩個(gè)分離的金屬鏈，其中，第七和第八緊固元件每個(gè)均通過第十二緊固元件相互連接到圓形鏈，其中，第二基板保持器部件中的所有這些金屬鏈包括多個(gè)連續(xù)的長圓形孔，所述長圓形孔在一個(gè)端部處包括圓形的第四凹部元件；并且第一基板保持器部件包括與第二基板保持器部件的相應(yīng)的緊固元件配對的對應(yīng)的金屬緊固元件。

在另一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，第二和第六緊固元件是位置不可移動(dòng)的永久固定元件，諸如螺釘、螺栓、銷等；第七、第八、第九和第十二緊固元件是金屬鏈，其中，第九緊固元件是圍繞基板保持器的適于接納待處理基板的部位延伸的矩形的(優(yōu)選為正方形的)金屬鏈，其中，第八和第七緊固元件是從所述第九緊固元件線性地延伸到基板保持器的上側(cè)的兩個(gè)分離的金屬鏈，其中，第七和第八緊固元件每個(gè)均通過第十二緊固元件相互連接到矩形的(優(yōu)選為，方形的)金屬鏈，其中，第二基板保持器部件中的所有這些金屬鏈包括多個(gè)連續(xù)的長圓形孔，所述長圓形孔在一個(gè)端部處包括圓形的第四凹部元件；并且第一基板保持器部件包括與第二基板保持器部件的相應(yīng)的緊固元件配對的對應(yīng)的金屬緊固元件。

這提供的優(yōu)點(diǎn)為：相同的緊固系統(tǒng)能夠用于兩種類型的待處理基板，圓形的和矩形的，其中，僅第九緊固元件需要稍微進(jìn)行結(jié)構(gòu)調(diào)整。不同的緊固元件之間的所有結(jié)合從其功能觀點(diǎn)來看都是相同的且保持相同。

術(shù)語“金屬鏈”是指由多個(gè)撓性金屬子單元構(gòu)成的金屬元件，或者是指由一個(gè)單一件構(gòu)成的金屬元件。

在一個(gè)實(shí)施例中，第一密封元件包括雙重密封元件唇緣，其中，兩個(gè)唇緣以如下方式布置，即，兩個(gè)唇緣能夠在待處理基板插入的情況下接觸待處理基板的表面。

在另一個(gè)實(shí)施例中，第一密封元件包括雙重密封元件唇緣，其中，兩個(gè)密封元件唇緣以如下方式布置，即，兩個(gè)密封元件唇緣指向在基板保持器的中心中的待處理基板。

在一個(gè)實(shí)施例中，第二密封元件和/或第三密封元件每個(gè)均包括雙重密封元件唇緣，其中，兩個(gè)密封元件唇緣以該兩個(gè)密封元件唇緣指向基板保持器的外側(cè)的方式布置在兩個(gè)基板保持器部件之間。

在一個(gè)實(shí)施例中，第二密封元件和/或第三密封元件每個(gè)均包括改型的雙重密封元件唇緣，其中，兩個(gè)密封元件唇緣在向著基板保持器的外側(cè)的方向上布置在兩個(gè)基板保持器部件之間，并且其中，兩個(gè)密封元件唇緣同時(shí)地指向兩個(gè)基板保持器部件。

這種特殊的密封元件一方面修改了基板保持器中的處理液體通過的防止，另一方面也增加了在將待處理基板引入其內(nèi)側(cè)之后通過將兩個(gè)基板保持器部件擠壓在一起來關(guān)閉基板保持器所需壓力。密封元件越具剛性，則對液體通過的防止就越安全，而將基板保持器的兩個(gè)部分彼此緊固所需的力或壓力也就約多。

另外還發(fā)現(xiàn)，本發(fā)明的這種創(chuàng)造性的基板保持器能夠用于在待處理基板上的，特別是在半導(dǎo)體晶片上的，電鍍金屬(特別是銅)沉積。

因此，本發(fā)明解決了提供一種能夠以優(yōu)異的質(zhì)量用于一側(cè)和兩側(cè)金屬沉積的修改的基板保持器的問題。

提供以下非限制性示例以示意本發(fā)明的實(shí)施例并促進(jìn)理解本發(fā)明，但并不旨在限制由所附權(quán)利要求所限定的本發(fā)明的范圍。

現(xiàn)在轉(zhuǎn)到附圖，圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的第一基板保持器部件1的示意性前視圖。所述第一基板保持器部件1包括：用于將基板保持器機(jī)械地連接到處理容器的一個(gè)懸置元件3；以及布置在第一基板保持器部件1的適于接納待處理基板的部位和第一基板保持器部件1之間的一個(gè)第一密封元件10。

此外，第一基板保持器部件1包括在懸置元件3的外部的相對端處的兩個(gè)第二定位元件4，用于將基板保持器準(zhǔn)確地機(jī)械定位在處理容器中。

此外，第一基板保持器部件1包括布置在第一基板保持器部件1的內(nèi)部含金屬部分和第一基板保持器部件1的外部非金屬部分之間的第二密封元件11。

此外，第一基板保持器部件1包括布置在第一基板保持器部件1的內(nèi)部含金屬部分(非金屬殼體6)和第一基板保持器部件1的外部非金屬部分之間的第三密封元件12，其中，所述第三密封元件12比第二密封元件11位于更外部。

還包括三個(gè)第一凹部元件7和三個(gè)第一定位元件9，用于將待處理基板準(zhǔn)確地中央定位在第一基板保持器部件1中。

還包括用于將電流從外部源通過懸置元件3傳送到第二接觸元件16的一個(gè)第一接觸元件13。這里，在該實(shí)施例中，懸置元件3與第一接觸元件13相同，這是因?yàn)樗龅谝唤佑|元件13完全由金屬制成。但是，原則上替代地也可能的是，所限定的第一接觸元件僅是懸置元件3內(nèi)側(cè)的特定金屬線。還包括用于將電流從第一接觸件元件13傳送到待處理基板的第二接觸元件16。

一個(gè)基板保持器部件中的第一接觸元件13在引導(dǎo)到外部電流源的兩個(gè)外部的相對端處包括第二凹部元件5，而另一個(gè)基板保持器部件中的第一接觸元件13在引導(dǎo)到外部電流源的兩個(gè)外部的相對端處提供平坦邊緣(更好地參見圖7)。

第一接觸元件13通過多個(gè)第一安裝元件14安裝在外部非金屬殼體6上，而所述第一接觸元件13通過兩個(gè)第二安裝元件15連接到懸置元件3。

第二接觸元件16被形成為三個(gè)部分，其中，第二接觸元件16的每個(gè)部分在該實(shí)施例中包括39個(gè)接觸指元件。

此外，第一基板保持器部件1包括緊固系統(tǒng)，用于將所述第一基板保持器部件1可拆卸地緊固到對應(yīng)的第二基板保持器部件2以保持待處理基板。

這里，在第一基板保持器部件1中包括多個(gè)第二緊固元件18、第三緊固元件21a、第四緊固元件21b和第五緊固元件21c以及多個(gè)第三凹部元件19。這里，第二緊固元件18是位置不可移動(dòng)的永久固定元件，諸如螺釘、螺栓和銷等。第一基板保持器部件1包括與第二基板保持器部件2的相應(yīng)的緊固元件配對的緊固金屬緊固元件。

還示出了第三安裝元件17，第三安裝元件17是用于第二接觸元件16的加強(qiáng)元件，用于防止在裝載步驟中在金屬的第二接觸元件16和待處理基板之間提供物理接觸期間接觸指將由于施加在其上壓力而彎曲或扭曲。所述第三安裝元件17具有與第二接觸元件相同的劃分，這意味著如果第二連接元件包括三個(gè)部分，則第三安裝元件17也包括三個(gè)部分。在所示出的實(shí)施例中，已經(jīng)使用了多個(gè)第四安裝元件(螺釘)25將第三安裝元件17通過第二接觸元件安裝在第一接觸元件中，如將更好地參見圖5。

除了第三安裝元件17之外的所有安裝元件在本發(fā)明的意義上能夠從本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的常用安裝元件，諸如螺釘、螺栓和銷等中選擇。

對于圖2至圖5，同樣以相同的方式包括在第二基板保持器部件2中的第一基板保持器部件1的特征未由對應(yīng)的附圖標(biāo)記再次突出顯示，并且下面將不再對進(jìn)行討論，所有這些都基于第二基板保持器部件2以避免不必要的重復(fù)。這些是具有以下附圖標(biāo)記的特征：3-6、10-17和25。對于圖1已經(jīng)選擇了附圖標(biāo)記9進(jìn)行討論，即使該特征也包括在圖2中。僅應(yīng)該強(qiáng)調(diào)的是，根據(jù)所附權(quán)利要求這個(gè)特征僅能夠包括在兩個(gè)基板保持器部件中的一個(gè)中，而不是在兩個(gè)中。其中一個(gè)是可以忽略的。因此，為了說明的目的，其已經(jīng)包括在圖1和圖2中。

圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的第二基板保持器部件2的示意性前視圖。如上所述，僅討論第二基板保持器部件2的在圖1中不包括的特征。

圖2公開了一種緊固系統(tǒng)，該緊固系統(tǒng)包括在第二基板保持器部件2中的多個(gè)第一緊固元件8、第六緊固元件20、第七緊固元件22a、第八緊固元件22b、第九緊固元件22c、第十緊固元件23、第十一緊固元件24和第十二緊固元件26以及多個(gè)第四凹部元件27；其中，第一基板保持器部件1的第二緊固元件18與第二基板保持器部件2的第四凹部元件27結(jié)合；并且其中，第二基板保持器部件2的第六緊固元件20與第一基板保持器部件1的第三凹部元件19結(jié)合。

這里，第六緊固元件20是位置不可移動(dòng)的永久固定元件，諸如螺釘、螺栓和銷等。第七緊固元件22a、第八緊固元件22b、第九緊固元件22c和第十二緊固元件26是金屬鏈，其中，第九緊固元件22c是圍繞基板保持器的適于接納待處理基板的部位延伸的圓形金屬鏈，其中，第八緊固元件22b和第七緊固元件22a是從所述第九緊固元件22c線性地延伸到第二基板保持器部件2的上側(cè)的兩個(gè)分離的金屬鏈，其中，第七緊固元件22a和第八緊固元件22b每個(gè)均通過第十二緊固元件26相互連接至圓形鏈22c，其中，第二基板保持器部件2中的所有這些金屬鏈都包括多個(gè)連續(xù)的長圓形孔，所述長圓形孔在一個(gè)端部處包括圓形的第四凹部元件27。第一基板保持器部件1包括與第二基板保持器部件2的相應(yīng)的緊固元件配對的相應(yīng)的對應(yīng)金屬緊固元件。

緊固系統(tǒng)包括在第二基板保持器部件2中的三個(gè)第一緊固元件8，該三個(gè)第一緊固元件8被指定為與第一基板保持器部件1的相應(yīng)的三個(gè)第一凹部元件7結(jié)合。

圖3示出了根據(jù)如圖2所示的本發(fā)明的相同實(shí)施例的具有閉合的緊固系統(tǒng)的第二基板保持器部件2的一部分的示意性放大前視圖。

圖4示出了根據(jù)如圖2所示的本發(fā)明的相同實(shí)施例的具有打開的緊固系統(tǒng)的第二基板保持器部件2的相同部分的另一示意性放大前視圖。

已經(jīng)包括了這兩個(gè)圖以允許對基板保持器本身(并且特別是基板保持器部件2)的緊固機(jī)構(gòu)的更詳細(xì)觀察。如能夠從圖3和圖4容易地得出的，舉例來說，用于這種基板保持器的鎖定機(jī)構(gòu)通過第六緊固元件20的本身不可移動(dòng)的位置相對于第七緊固元件22a移位而起作用?；灞３制鞯木o固系統(tǒng)的僅有的移動(dòng)或完全可移動(dòng)的部分是第七緊固元件22a、第八緊固元件22b、第九緊固元件22c和第十二緊固元件26。

第十緊固元件23和第十一緊固元件24用于通過推動(dòng)或擠壓比非金屬殼體6更外側(cè)的相應(yīng)緊固元件來手動(dòng)地打開和關(guān)閉基板保持器。

圖5示出了根據(jù)如圖2所示的本發(fā)明的相同實(shí)施例的第二基板保持器部件2的一部分的另一示意性放大透視圖。

這里，值得注意的是，在一側(cè)上以接觸指為形式的第二接觸元件16和第三安裝元件17與第一接觸元件13之間存在小間隙28，第一接觸元件13在該小間隙28處具有圓形延伸的邊緣。在本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例中，第三安裝元件17和第二接觸元件16還能夠與第一接觸元件13的該邊緣直接相鄰地布置，從而消除間隙28。

這將提供這樣的優(yōu)點(diǎn)：由于在前述元件13、16和17之間的固定的不可改變的對準(zhǔn)，所以待處理基板在該基板保持器的內(nèi)側(cè)的準(zhǔn)確定位變得更有效。由此即使在引入待處理基板期間將基板保持器的兩個(gè)部件1和2彼此緊固需要相對較高的壓力或力，也能夠避免作為第二接觸元件的接觸指的不期望的移位、彎曲、扭轉(zhuǎn)或變形。

圖6示出了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的具體可能的第二密封元件11和/或第三密封元件12的示意性側(cè)視圖。這種替代的第二密封元件11或第三密封元件12包括改型的雙重密封元件唇緣，其中，兩個(gè)密封元件唇緣能夠在向著基板保持器的外側(cè)的方向上布置在兩個(gè)基板保持器部件之間。該兩個(gè)密封元件唇緣同時(shí)地指向兩個(gè)基板保持器部件1、2。

圖7示出了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的第一基板保持器部件1和第二基板保持器部件2的懸置元件3的示意性透視圖。

這里，一個(gè)基板保持器部件2中的第一接觸元件13在引導(dǎo)到外部電流源的兩個(gè)外部的相對端處包括第二個(gè)凹部元件5，而另一個(gè)基板保持器部件1中的第一接觸元件13是平坦邊緣?；灞３制鞑考?和2還能夠調(diào)換。因此，附圖標(biāo)記保持恒定為5，即使一個(gè)區(qū)域是平坦的并且一個(gè)區(qū)域包括凹部。

此外，再次良好地看到的是，基板保持器還在每個(gè)懸置元件3的外部的相對端處包括兩個(gè)第二定位元件4，用于將基板保持器準(zhǔn)確地機(jī)械定位在處理容器中。

應(yīng)當(dāng)理解的是，本文描述的實(shí)施例僅是示例性的，并且本領(lǐng)域技術(shù)人員在不背離本發(fā)明的范圍的前提下可以進(jìn)行許多變化和修改。所有這些變化和修改(包括上述討論的這些變化和修改)旨在被包括在由所附權(quán)利要求限定的本發(fā)明的范圍內(nèi)。

附圖標(biāo)記

1第一基板保持器部件

2第二基板保持器部件

3懸置元件

4第二定位元件

5第二凹部元件

6非金屬殼體

7第一凹部元件

8第一緊固元件

9第一定位元件

10第一密封元件

11第二密封元件

12第三密封元件

13第一接觸元件

14第一安裝元件

15第二安裝元件

16第二接觸元件

17第三安裝元件

18第二緊固元件

19第三凹部元件

20第六緊固元件

21a、21b、21c第三緊固元件、第四緊固元件和第五緊固元件

22a、22b、22c第七緊固元件、第八緊固元件和第九緊固元件

23第十緊固元件

24第十一緊固元件

25第四安裝元件

26第十二緊固元件

27第四凹部元件

28間隙

29指向基板保持器的外側(cè)的密封元件唇緣

30指向基板保持器部件的密封元件唇緣