述目標(biāo)基底之間，并與所述目標(biāo)基底接觸設(shè)置； 在所述粘膠層遠(yuǎn)離目標(biāo)基底的表面設(shè)置一金屬層； 提供一有機(jī)溶劑，使該有機(jī)溶劑從所述粘膠層與納米結(jié)構(gòu)層接觸的界面滲透使所述粘 膠層分解；以及 采用外力使所述粘膠層連同所述金屬層與所述納米結(jié)構(gòu)層及目標(biāo)基底分離。
2. 如權(quán)利要求1所述的納米結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，所述粘膠層遠(yuǎn)離目標(biāo)基底 的表面完全被金屬層覆蓋，而所述粘膠層的側(cè)面未被所述金屬層覆蓋。
3. 如權(quán)利要求1所述的納米結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，所述金屬層和粘膠層發(fā)生 褶皺時(shí)，將所述形成金屬層后的結(jié)構(gòu)從有機(jī)溶劑中移出并放入水中。
4. 如權(quán)利要求1所述的納米結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，所述納米結(jié)構(gòu)層的厚度小 于等于1微米。
5. 如權(quán)利要求1所述的納米結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，所述納米結(jié)構(gòu)層包括碳納 米管層或石墨烯層。
6. 如權(quán)利要求1所述的納米結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，所述金屬層的材料為鈦、 金、鉻或錯(cuò)。
7. 如權(quán)利要求1所述的納米結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，所述金屬層的厚度不小于 10納米。
8. 如權(quán)利要求7所述的納米結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，所述金屬層為50納米厚的 金膜。
9. 如權(quán)利要求1所述的納米結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，所述有機(jī)溶劑為乙醇、甲醇 或丙酮。
10. 如權(quán)利要求1所述的納米結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，所述粘膠層由聚甲基丙烯 酸甲酯、聚二甲基硅氧烷或聚酰亞胺形成。
11. 如權(quán)利要求1所述的納米結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，將所述形成金屬層后的結(jié) 構(gòu)放入有機(jī)溶劑中，給金屬層遠(yuǎn)離粘膠層的整個(gè)表面提供一均勻向上的力。
12. 如權(quán)利要求1所述的納米結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，將所述形成金屬層后的結(jié) 構(gòu)放入有機(jī)溶劑中，給目標(biāo)基底遠(yuǎn)離粘膠層的表面提供一均勻向下的力。
13. -種納米結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移方法，包括以下步驟： 提供一第一基底，該第一基底的表面設(shè)置有一納米結(jié)構(gòu)層； 通過(guò)一粘膠層使所述納米結(jié)構(gòu)層與所述第一基底分離，分離后的所述納米結(jié)構(gòu)層至少 部分從所述粘膠層暴露出來(lái)； 提供一第二基底，將所述第二基底和所述粘膠層層疊設(shè)置，并使所述納米結(jié)構(gòu)層位于 所述第二基底和所述粘膠層之間，所述至少部分從所述粘膠層暴露出來(lái)的納米結(jié)構(gòu)層與所 述第二基底的表面接觸；以及 提供一有機(jī)溶劑和一外力，使該有機(jī)溶劑從粘膠層與納米結(jié)構(gòu)層接觸的界面，以及粘 膠層與所述第二基底接觸的界面滲透，并利用所述外力使所述粘膠層與所述納米結(jié)構(gòu)層及 第二基底分離。
14. 如權(quán)利要求13所述的納米結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，提供一阻擋層設(shè)置在所 述粘膠層遠(yuǎn)離所述第二基底的表面。
15. 如權(quán)利要求13所述的納米結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，所述阻擋層包括一金屬 層。
16. 如權(quán)利要求15所述的納米結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，所述金屬層的材料為鈦、 金、鉻或錯(cuò)。
17. 如權(quán)利要求13所述的納米結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，所述外力為水的表面張 力和浮力。
18. 如權(quán)利要求17所述的納米結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，所述外力進(jìn)一步包括一 給金屬層遠(yuǎn)離粘膠層的整個(gè)表面所提供的均勻向上的力。
19. 如權(quán)利要求17所述的納米結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，所述外力進(jìn)一步包括一 給目標(biāo)基底遠(yuǎn)離粘膠層的整個(gè)表面提供一均勻向下的力。
20. -種納米結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移方法，包括以下步驟： 提供一第一基底，該第一基底的表面設(shè)置有一納米結(jié)構(gòu)層； 提供一第-基底，該第-基底的表面具有一粘I父層； 將該第二基底表面的粘膠層與所述第一基底表面的納米結(jié)構(gòu)層接觸； 通過(guò)移動(dòng)所述第一基底和所述第二基底中至少一個(gè)，使所述納米結(jié)構(gòu)層與所述第一基 底分離，分離后的納米結(jié)構(gòu)層至少部分從所述粘膠層暴露出來(lái)； 提供一第三基底，將所述第二基底和第三基底層疊設(shè)置，并使所述納米結(jié)構(gòu)層位于所 述第二基底和第三基底之間，所述至少部分從粘膠層暴露出來(lái)的納米結(jié)構(gòu)層與所述第三基 底的表面接觸；以及 提供一有機(jī)溶劑和水，將上述第二基底和第三基底層疊設(shè)置后的結(jié)構(gòu)先放入該有機(jī)溶 劑中再放入水中，使所述第二基底連同所述粘膠層與所述納米結(jié)構(gòu)層及第三基底分離，從 而使所述納米結(jié)構(gòu)層被轉(zhuǎn)移到所述第三基底的表面。
21. 如權(quán)利要求20所述的納米結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，將所述第二基底和第三 基底層疊設(shè)置后的結(jié)構(gòu)放入水中，給金屬層遠(yuǎn)離粘膠層的整個(gè)表面提供一均勻向上的力。
22. 如權(quán)利要求20所述的納米結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，將所述第二基底和第三 基底層疊設(shè)置后的結(jié)構(gòu)放入水中，給目標(biāo)基底遠(yuǎn)離粘膠層的表面提供一均勻向下的力。
23. 如權(quán)利要求20所述的納米結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，所述第二基底的厚度不 小于10納米。
24. 如權(quán)利要求20所述的納米結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，所述第二基底的材料為 欽、金、絡(luò)或錯(cuò)。
【專利摘要】一種納米結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移方法，包括以下步驟：提供一生長(zhǎng)基底，該生長(zhǎng)基底表面具有一納米結(jié)構(gòu)層；提供一粘膠層覆蓋所述納米結(jié)構(gòu)層；通過(guò)移動(dòng)所述粘膠層和所述生長(zhǎng)基底中至少一個(gè)，使所述粘膠層遠(yuǎn)離所述生長(zhǎng)基底，從而使所述納米結(jié)構(gòu)層與所述生長(zhǎng)基底分離，至少部分納米結(jié)構(gòu)層從所述粘膠層暴露出來(lái)；提供一目標(biāo)基底，將該粘膠層與所述目標(biāo)基底層疊設(shè)置，使所述納米結(jié)構(gòu)層位于所述粘膠層與所述目標(biāo)基底之間，并與所述目標(biāo)基底接觸設(shè)置；在所述粘膠層遠(yuǎn)離目標(biāo)基底的表面設(shè)置一金屬層；提供一有機(jī)溶劑，使該有機(jī)溶劑從所述粘膠層與納米結(jié)構(gòu)層接觸的界面滲透使所述粘膠層分解；采用外力使所述粘膠層連同所述金屬層與所述納米結(jié)構(gòu)層及目標(biāo)基底分離。
【IPC分類】B81C1-00
【公開(kāi)號(hào)】CN104876177
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410070781
【發(fā)明人】何宇俊, 李東琦, 李天一, 魏洋, 姜開(kāi)利, 范守善
【申請(qǐng)人】清華大學(xué), 鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司
【公開(kāi)日】2015年9月2日
【申請(qǐng)日】2014年2月28日
【公告號(hào)】US9138973, US20150246517