技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種超疏水微納復(fù)合結(jié)構(gòu)的全參數(shù)可控制備方法，屬于微納結(jié)構(gòu)制備技術(shù)領(lǐng)域。該方法是將微米結(jié)構(gòu)和納米結(jié)構(gòu)制備結(jié)合起來(lái)，通過(guò)分層制備，即通過(guò)光刻實(shí)現(xiàn)微米結(jié)構(gòu)制備，通過(guò)膠體軟刻蝕和體硅刻蝕實(shí)現(xiàn)納米結(jié)構(gòu)制備，微米和納米結(jié)構(gòu)的復(fù)合是通過(guò)納米微球掩膜與微米結(jié)構(gòu)陣列復(fù)合來(lái)實(shí)現(xiàn)的。該方法為微納結(jié)構(gòu)超疏水表面的科學(xué)研究和工程實(shí)踐提供了研究基礎(chǔ)，有效的將材料表面的宏觀現(xiàn)象與微觀結(jié)構(gòu)聯(lián)系起來(lái)，為定量、定性的探索超疏水表面的物理化學(xué)性質(zhì)提供了基礎(chǔ)。該方法是將膠體軟刻蝕與體硅刻蝕結(jié)合起來(lái)，工藝可控性強(qiáng)，操作簡(jiǎn)單，成本低廉，加工精度高。

技術(shù)研發(fā)人員：呂湘連;曾行昌;何洋;苑偉政;楊儒元;徐玉坤;朱寶;劉少維;周慶慶;姜澄宇;陶于金;王亮;武偉超;王丹;李沛峰;孫智偉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：西北工業(yè)大學(xué)
文檔號(hào)碼：201610585459
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.22
技術(shù)公布日：2016.12.07