專利名稱：一種高速電鍍設(shè)備用雙向旋轉(zhuǎn)陰極機構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于高速電鍍設(shè)備制造領(lǐng)域，尤其是涉及一種高速電鍍設(shè)備用雙向旋轉(zhuǎn)陰極機構(gòu)。
背景技術(shù)：
微機電系統(tǒng)(MicroElectro Mechanical Systems,簡稱 MEMS)是 80 年代末期在國際上興起的一門交叉學(xué)科，廣泛地涉及到機械、電子、物理學(xué)、化學(xué)生物學(xué)等眾多學(xué)科。也會給人類帶來無窮的方便。MEMS的發(fā)展給三維微加工技術(shù)帶來了新機遇和新挑戰(zhàn)，微電鍍
是必不可少的。微電鍍設(shè)備是進行電鍍的基礎(chǔ)，采用現(xiàn)有的國產(chǎn)電鍍設(shè)備，沉積速度較慢，電鍍Imm厚度的微器件至少需要4 5天，生產(chǎn)效率低下。另外，在微電子行業(yè)中的許多電子元器件也需要電鍍技術(shù)，如半導(dǎo)體制造的后工程一電子封裝中的引線框架需要鍍金、鍍銀等。而且隨著生產(chǎn)效率的高速化，對電鍍的速度要求越來越高，如引線框架中的鍍銀需要I微米/秒。如此的高速度，一般電鍍設(shè)備是無法實現(xiàn)的。高新技術(shù)的快速發(fā)展，對電鍍設(shè)備提出了新要求。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的就是為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷而提供一種高速電鍍設(shè)備用雙向旋轉(zhuǎn)陰極機構(gòu)，更大程度改善了陰極附近的金屬離子分布狀況，有利于消除陰極表面氣泡的形成，提高了電鍍速度，保證鍍層質(zhì)量。本實用新型的目的可以通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)一種高速電鍍設(shè)備用雙向旋轉(zhuǎn)陰極機構(gòu)，該機構(gòu)設(shè)置在操作臺上，包括支架、馬達、聯(lián)軸器、陰極軸、導(dǎo)電機構(gòu)及試樣夾具組件，所述的支架經(jīng)螺栓連接固定在操作臺上，所述的馬達、聯(lián)軸器、導(dǎo)電機構(gòu)、陰極軸及試樣夾具組件依次連接，馬達設(shè)置在支架上，馬達接通電源后，可根據(jù)需要實現(xiàn)單向雙向旋轉(zhuǎn)。所述的支架上設(shè)有調(diào)整試樣與陽極的相對距離及試樣與水平方向夾角的絲杠。所述的馬達經(jīng)聯(lián)軸器與陰極軸驅(qū)動連接。所述的導(dǎo)電機構(gòu)由電刷、彈簧及支撐板構(gòu)成。所述的試樣夾具組件與陰極軸經(jīng)螺栓連接，方便拆裝，試樣夾具組件根據(jù)試樣的大小進行更換。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下優(yōu)點I.可實現(xiàn)雙向旋轉(zhuǎn)模式，改變鍍液在鍍槽中的流動模型，減小鍍液流動死區(qū)，使得鍍液中預(yù)鍍離子更均勻，減少陰極濃差極化現(xiàn)象；提高極限電流密度；有效消除試樣表面氣泡的形成，提高電鍍速度，保證鍍層質(zhì)量。2.陰極與水平呈約45°夾角，并可進行微調(diào)，能更好的防止陰極表面雜質(zhì)的沉積和氣泡的形成，結(jié)構(gòu)相對簡單，方便試樣的安裝，適合電鍍中隨時觀察鍍層狀況。[0014]3.支架利用絲杠可根據(jù)需要調(diào)整試樣與陽極的距離，有利于提高電鍍速度，保證
鍍層質(zhì)量。

圖I為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中，I為支架、2為馬達、3為聯(lián)軸器、4為導(dǎo)電機構(gòu)、5為陰極軸、6為試樣夾具組件、7為操作臺。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型進行詳細說明。實施例一種高速電鍍設(shè)備用雙向旋轉(zhuǎn)陰極機構(gòu)，其結(jié)構(gòu)如圖I所示，該機構(gòu)設(shè)置在操作臺7上，包括支架I、馬達2、聯(lián)軸器3、導(dǎo)電機構(gòu)4、陰極軸5及試樣夾具組件6，支架I經(jīng)螺栓連接固定在操作臺7上，馬達2、聯(lián)軸器3、導(dǎo)電機構(gòu)4、陰極軸5及試樣夾具組件6依次連接。在支架I上設(shè)有調(diào)整試樣與陽極的相對距離及試樣與水平方向夾角的絲杠。馬達2設(shè)置在支架I上，馬達2接通電源后，可根據(jù)需要實現(xiàn)單向雙向旋轉(zhuǎn)，馬達2經(jīng)聯(lián)軸器3與陰極軸5驅(qū)動連接。導(dǎo)電機構(gòu)4由電刷、彈簧及支撐板構(gòu)成。試樣夾具組件6與陰極軸5經(jīng)螺栓連接，方便拆裝。另外，試樣夾具組件6還可以根據(jù)試樣的大小進行更換。本實用新型的工作原理如下電鍍設(shè)備操作臺7保持靜止，馬達2接通電源后，可根據(jù)需要實現(xiàn)單向雙向旋轉(zhuǎn)，帶動陰極軸5及試樣夾具組件6旋轉(zhuǎn)，實現(xiàn)機械攪拌；導(dǎo)電機構(gòu)4與電鍍電源接通，繼而電刷通電，使陰極軸5與陽極產(chǎn)生電位差，實現(xiàn)電鍍。
權(quán)利要求1.一種高速電鍍設(shè)備用雙向旋轉(zhuǎn)陰極機構(gòu)，該機構(gòu)設(shè)置在操作臺上，其特征在于，包括支架、馬達、聯(lián)軸器、陰極軸、導(dǎo)電機構(gòu)及試樣夾具組件，所述的支架經(jīng)螺栓連接固定在操作臺上，所述的馬達、聯(lián)軸器、導(dǎo)電機構(gòu)、陰極軸及試樣夾具組件依次連接，馬達設(shè)置在支架上。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種高速電鍍設(shè)備用雙向旋轉(zhuǎn)陰極機構(gòu)，其特征在于，所述的支架上設(shè)有調(diào)整試樣與陽極的相對距離及試樣與水平方向夾角的絲杠。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種高速電鍍設(shè)備用雙向旋轉(zhuǎn)陰極機構(gòu)，其特征在于，所述的馬達經(jīng)聯(lián)軸器與陰極軸驅(qū)動連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種高速電鍍設(shè)備用雙向旋轉(zhuǎn)陰極機構(gòu)，其特征在于，所述的導(dǎo)電機構(gòu)由電刷、彈簧及支撐板構(gòu)成。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種高速電鍍設(shè)備用雙向旋轉(zhuǎn)陰極機構(gòu)，其特征在于，所述的試樣夾具組件與陰極軸經(jīng)螺栓連接，試樣夾具組件根據(jù)試樣的大小進行更換。
專利摘要本實用新型涉及一種高速電鍍設(shè)備用雙向旋轉(zhuǎn)陰極機構(gòu)，用于高速電鍍裝置中，包括馬達、依靠馬達驅(qū)動的陰極軸、套固在陰極軸上的試樣夾具組件、導(dǎo)電機構(gòu)和固定支架。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型可實現(xiàn)雙向旋轉(zhuǎn)模式，通過驅(qū)動馬達實現(xiàn)陰極軸的正向或反向旋轉(zhuǎn)，采用這種結(jié)構(gòu)可更大程度改善了陰極附近的金屬離子分布狀況，有利于消除陰極表面氣泡的形成，提高了電鍍速度，保證鍍層質(zhì)量。
文檔編號B81C1/00GK202576613SQ201220174659
公開日2012年12月5日 申請日期2012年4月23日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月23日
發(fā)明者周玉鳳, 彭騰 申請人:上海工程技術(shù)大學(xué)