專利名稱：Apparatus and methods for supplying fuel employed by abatement systems to ...的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般相關(guān)于電子裝置制造減排系統(tǒng)，尤其是藉由該減排系統(tǒng)供應(yīng)燃料以減 排排出物。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)電子裝置制造減排系統(tǒng)對(duì)排出物進(jìn)行消減，以減少排出物的毒性、易燃性或 其它不良特性。該排出物可能通過電子裝置制造設(shè)備(如，顯示平板、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能等) 所制造。一些傳統(tǒng)減排系統(tǒng)可在燃燒區(qū)對(duì)排出物進(jìn)行消減處理，該燃燒區(qū)燃燒燃料以提供 對(duì)排出物進(jìn)行消減所需的熱量。傳統(tǒng)的減排系統(tǒng)通常可使用一個(gè)以上的噴嘴來將燃料噴灑至燃燒區(qū)內(nèi)，而且往往 這種傳統(tǒng)減排系統(tǒng)可能不具有均勻的燃燒區(qū)或區(qū)域。不均勻的燃燒區(qū)可能不足以消減排出 物，這可能會(huì)導(dǎo)致減排單元排出不期望的化合物。因此，需要用以改善減排系統(tǒng)的燃燒區(qū)或區(qū)域的均勻性的方法和設(shè)備。

發(fā)明內(nèi)容
一方面，提供了一種設(shè)備，用于將燃料引入電子裝置制造排出物減排工具，包括 歧管；燃料源，其適于將燃料通過燃料管道供應(yīng)至所述歧管；和多個(gè)噴嘴，其適于從所述歧 管接收燃料；其中，所述歧管適于將燃料以高于火焰速度的燃料速度供應(yīng)至所述噴嘴。另一方面，提供了一種方法，用于操作電子裝置制造減排系統(tǒng)，包括以下步驟使 燃料從燃料供應(yīng)器通過燃料管道流入歧管；和使所述燃料從所述歧管流經(jīng)多個(gè)噴嘴；其 中，所述歧管適于使燃料以高于火焰速度的燃料速度流至所述噴嘴?？山逵杀景l(fā)明以下詳細(xì)說明、所附權(quán)利要求、以及附圖來明白本發(fā)明的其它特征 和方面。


圖1描繪了根據(jù)本發(fā)明的減排系統(tǒng)的實(shí)施例的示意性側(cè)視圖。圖IB描繪了根據(jù)本發(fā)明的燃料歧管頭的實(shí)施例的仰視圖。圖IC描繪了根據(jù)本發(fā)明的排出物入口 /燃料噴嘴簇的實(shí)施例的仰視圖。圖2描繪了根據(jù)本發(fā)明的燃料歧管的實(shí)施例的側(cè)剖視圖。圖3描繪了根據(jù)本發(fā)明的燃料歧管的實(shí)施例內(nèi)燃料管的立體圖。圖4是描述了操作本發(fā)明的電子裝置制造減排系統(tǒng)的方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式如上所述，傳統(tǒng)的燃料燃燒減排系統(tǒng)可能有多個(gè)噴嘴，以將燃料或燃料/氧化劑 混合物供應(yīng)至燃燒區(qū)。為便于說明，這些噴嘴在下文中稱作“噴嘴”或“燃料噴嘴”，但請(qǐng)注意它們可以讓燃料/氧化劑混合物流過，或者只讓燃料流過。傳統(tǒng)減排系統(tǒng)的燃料噴嘴往 往使燃料不均勻地流動(dòng)，因此使燃燒區(qū)的溫度分布不均勻。例如，一個(gè)噴嘴可能以比其它燃 料噴嘴高或低的壓力來噴灑燃料。壓力上的差異可能導(dǎo)致噴流型式不同于其它噴嘴的噴流 型式。壓力的差異也可能導(dǎo)致從一個(gè)噴嘴噴灑出的燃料量不同于從其它噴嘴噴灑出的燃料 量。從不同噴嘴噴灑出的不同噴流型式或不同燃料量可能導(dǎo)致燃燒區(qū)的不均勻溫度分布。在傳統(tǒng)減排單元中，對(duì)于以不同方式將燃料供應(yīng)至數(shù)個(gè)燃料噴嘴存在幾個(gè)原因。 例如，通常通過供應(yīng)管路、管道或管線，將燃料供應(yīng)給噴嘴。這些供應(yīng)線路可能有不同的長(zhǎng) 度、構(gòu)造、截面形狀、內(nèi)部光滑度、并可能有其它差異。此外，傳統(tǒng)的燃料燃燒減排系統(tǒng)通常 在每個(gè)燃料管線上采用逆燃阻止器。通過防止火焰前緣從燃燒區(qū)通過噴嘴返回至燃料管線 或燃料源，這種逆燃阻止器可以防止位于逆燃阻止器上游的燃料被點(diǎn)燃。每個(gè)逆燃阻止器 可能彼此略有不同，且在每個(gè)燃料管配有逆燃阻止器可能使燃料不均勻地分配至燃燒區(qū)。 因此，因?yàn)樯鲜龊推渌睦碛?，燃燒區(qū)可能不具有均勻溫度分布。由于這種非均勻燃燒，有些排出物可能從燃燒區(qū)散逸而未被消減。例如，燃燒區(qū)溫 度分布可能具有在燃燒區(qū)的一側(cè)形成較冷區(qū)的形狀。在燃燒區(qū)中較熱部分的排出物的化學(xué) 物可被有效地消減，而在燃燒區(qū)中較冷部分的排出物的化學(xué)物則無法被有效地消減。因此， 在不均勻燃燒的減排單元中，一些未被消減的化學(xué)物可能離開燃燒區(qū)，并進(jìn)入排放設(shè)施。因此，有必要在電子裝置制造排出物減排系統(tǒng)的燃燒區(qū)中提供更均勻的溫度分 布。本發(fā)明提供的方法和設(shè)備系用以平衡流入多個(gè)將燃料噴灑至減排系統(tǒng)的燃燒區(qū) 內(nèi)的燃料噴嘴的燃料流量和燃料壓力。藉由平衡化，意在即使這樣做并沒有使兩燃料流率 和/或兩燃料壓力真正變成平等，但也減少了在兩燃料流率和/或兩燃料壓力間的差異。因 此，利用本發(fā)明，減排工具可實(shí)現(xiàn)燃燒區(qū)中更加均勻的溫度分布。來自各個(gè)噴嘴的燃料流的 幾個(gè)方面可被平衡。舉例來說，可平衡從各個(gè)噴嘴噴出的燃料的壓力和/或流率。附加地 或可選地，可平衡從各個(gè)噴嘴噴出的燃料流的噴流分布和/或型式?？善胶鈴母鱾€(gè)噴嘴噴 出的燃料流的其它參數(shù)，以達(dá)成更均勻的燃燒區(qū)。為了達(dá)成多個(gè)噴嘴之間更加均勻的分布，本發(fā)明提供了一種具有多個(gè)燃料管線的 燃料歧管，這些燃料管線適于均等地或基本均等地將燃料供應(yīng)至多個(gè)噴嘴中的每一者。燃 料管線可能是在維度(例如，長(zhǎng)度、周長(zhǎng)等)方面均等，這樣，每個(gè)管線中的燃料可沿著類似 通道行進(jìn)均等距離。另外，可為不同長(zhǎng)度的燃料管線選擇除長(zhǎng)度以外的維度，使得來自歧管 的燃料在均衡的流率和/或壓力下到達(dá)噴嘴。附加地或可選地，為了進(jìn)一步促進(jìn)流至各個(gè) 噴嘴的燃料流的均勻度，可通過單一燃料入口，將燃料提供給燃料歧管中的各個(gè)燃料管線。 例如，單一燃料入口可分支為二個(gè)或二個(gè)以上分立的燃料管線，各個(gè)燃料管線連接至不同 噴嘴。在一個(gè)實(shí)施例中，該單一燃料入口可以包括逆燃阻止器。在這樣的實(shí)施例中，該逆 燃阻止器可耦合至燃料入口，無需對(duì)每個(gè)燃料管線均裝設(shè)逆燃阻止器，并排除了可能因?yàn)?對(duì)各個(gè)燃料管線使用不同的逆燃阻止器所造成的燃料流變化。因此，燃料可以通過具有本 發(fā)明特征的多個(gè)噴嘴更平衡地供應(yīng)至燃燒區(qū)內(nèi)。因此，在燃燒區(qū)中的溫度分布可以比在傳 統(tǒng)減排系統(tǒng)中更均勻。請(qǐng)參考圖1-4，本發(fā)明的諸多方面介紹如下。
圖1以側(cè)視圖描繪了根據(jù)本發(fā)明提供的減排系統(tǒng)100的實(shí)施例。一般情況下，減 排系統(tǒng)100可以是燃燒/濕洗處理減排系統(tǒng)，包括減排單元101，其可使燃料/氧化劑混合 物燃燒以達(dá)成高溫，使得排出物/氧化劑混合物可以在燃燒區(qū)102燃燒以形成經(jīng)過消減的 排出物。經(jīng)過消減的排出物而后可傳遞至淬火區(qū)104，其中它可被冷卻和/或凈化，然后可 通過出口 106排出減排單元。從出口 106，減排排出物可被進(jìn)一步處理、凈化或排放至大氣。可從排出物源108將要被消減的排出物提供至減排系統(tǒng)100。排出物源108可以是 一個(gè)或多個(gè)任何類型的電子裝置制造處理單元(以下簡(jiǎn)稱為“處理單元”)，其排放出可被 減排系統(tǒng)100消減的處理氣體。排出物源108可能含有一個(gè)以上的處理室(未顯示)。減 排系統(tǒng)100可從一個(gè)以上的排出物源108(如2、3、4、5、6、或更多個(gè)的源)接收排出物。來 自排出物源108的排出物可通過排出物入口 110提供給減排單元101?？墒褂靡粋€(gè)以上的 排出物入口 110，并且每個(gè)排出物入口可以連接到一或多個(gè)排出物源108。如圖所示，雖然 排出物入口 110適于將排出物通過減排單元那側(cè)引至燃燒區(qū)102，但是在另一實(shí)施例(未顯 示)中，排出物入口 110可將排出物經(jīng)過燃料歧管頭112引至燃燒區(qū)102(詳見下文)。燃 料歧管頭112可包括燃料歧管113，如圖1所示，其被包含在燃料歧管頭112內(nèi)。可從燃料源116將燃料提供給減排單元101，該燃料源116可供應(yīng)氫氣、甲烷或任 何其它合適的燃料。燃料可從燃料源116通過管道118進(jìn)入燃料歧管113的燃料入口 119。 在一些實(shí)施例中，燃料源116可包括，適于加壓燃料的泵(未顯示)。在一些實(shí)施例中，逆燃 阻止器126可設(shè)在燃料源116與燃料入口 119之間，并在這些實(shí)施例中，燃料必須在進(jìn)入燃 料歧管113之前流經(jīng)逆燃阻止器126?？蓮难趸瘎┰?20將氧化劑提供給減排單元101。氧化劑源120可以供應(yīng)清潔干 燥的空氣、氧氣、富氧空氣、或任何其它合適的氧化劑。在一些實(shí)施例中，來自氧化劑源120 的氧化劑可與來自燃料源116的燃料混合，以提高燃燒區(qū)上層部分的溫度。基于安全的理 由，與減排單元外的燃料混合的氧化劑的量可被限定為一個(gè)量，該量使燃料/空氣混合物 有足夠含量的燃料，而在沒有增加更多的氧氣進(jìn)入減排單元101的情況下不易燃。在一些 實(shí)施例中，氧化劑可進(jìn)入歧管(未顯示)，在歧管當(dāng)中氧化劑與燃料混合。在一些實(shí)施例中， 氧化劑可通過管道124提供給減排單元101。通過管道124提供給減排單元101的氧化劑 可被引入燃燒區(qū)102，在燃燒區(qū)102當(dāng)中氧化劑與燃料和排出物混合，以形成易燃混合物。 在一些實(shí)施例中，氧化劑源120可包括適于加壓氧化劑的泵(未顯示)。燃料歧管113可通過燃料入口 119接收燃料或燃料/空氣混合物。為便于說明， “燃料”和“燃料/空氣混合物”在下文中可簡(jiǎn)稱為“燃料”。通過燃料入口 119接收的燃料 可被分送至燃料歧管113的多個(gè)燃料管線(見圖2)，且可被提供給燃料噴嘴114a-d?？捎?燃料噴嘴114a-d將燃料噴灑到燃燒區(qū)102，在燃燒區(qū)當(dāng)中，排出物和燃料可以與氧化劑結(jié) 合而與其反應(yīng)或燃燒。燃料噴嘴114a_d可噴灑燃料至燃燒區(qū)102，不過也可使用任何可提供燃料至燃燒 區(qū)102的合適設(shè)備。燃料噴嘴114a-d可包含機(jī)加工鋁材，其選擇性地具有機(jī)加工輸出孔， 以達(dá)成理想的噴流分布。如圖所示，燃料噴嘴114a-d可以局部地置于燃燒區(qū)102內(nèi)。然而， 燃料噴嘴114a-d可完全置于燃料歧管頭112內(nèi)，而僅其燃料噴灑輸出部曝露于燃燒區(qū)102 的內(nèi)部部分?？梢赃x擇燃料噴嘴114a_d的布置方式，使得不僅能有效地消減排出物，而且 還可以防止在燃料歧管113內(nèi)的燃料起火。燃料噴嘴114a-d通過燃料歧管113接收經(jīng)過逆
5燃阻止器126的燃料，逆燃阻止器126可提供額外的保護(hù)，以防止燃料源116的燃料起火。多個(gè)燃料噴嘴114可適于采用期望的方式來噴灑燃料。例如，可能期望，多個(gè)燃料 噴嘴114a_d的每一者以一扇形(例如，三角形截面)的噴流分布來噴灑燃料。在這樣的實(shí) 施例中，從多個(gè)燃料噴嘴114a-d中的每一者噴灑的燃料會(huì)在到達(dá)燃燒區(qū)102之前重疊。附 加地或可選地，多個(gè)燃料噴嘴114可適于在給定燃料壓力下，形成具有特定燃料速度的燃 料噴灑。這種燃料速度可比在燃燒區(qū)102的火焰速度更快。燃燒區(qū)的火焰速度可以是火焰 傳播的速度。因此，燃料可將火焰推離多個(gè)燃料噴嘴114，以確保點(diǎn)燃的燃料(火焰)不會(huì) “逆燃”到燃料歧管113內(nèi)。這種燃料速度也會(huì)受到其它參數(shù)影響，例如，燃料粘度、壓力等。 這些其它參數(shù)也會(huì)受到燃料歧管113的影響，將在后文詳述。逆燃阻止器126可以是任何合適的逆燃阻止器。圖IB描繪了根據(jù)本發(fā)明的燃料歧管頭112的實(shí)施例的仰視圖。燃料歧管頭112 可包括一或多個(gè)排出物入口 /燃料噴嘴簇150a-d。如圖IB所示，燃料歧管頭112具有四個(gè) 排出物入口 /燃料噴嘴簇150a-d，但應(yīng)該理解的是，燃料歧管頭112可以只具有一個(gè)排出 物入口 /燃料噴嘴簇，或可以具有多達(dá)二、三、五、六、七、八或更多個(gè)排出物入口 /燃料噴嘴 簇。虛線A表示圖IB中被圖IC進(jìn)一步描繪的部分。圖IC描述根據(jù)本發(fā)明的排出物入口 /燃料噴嘴簇150的實(shí)施例的仰視圖。排出 物入口 /燃料噴嘴簇150可包括排出物入口 152。在一些實(shí)施例中，排出物入口 152可通過 歧管頭112 (亦可在某些情況下通過歧管113)進(jìn)入減排單元101。如圖IC所示，排出物入 口 152可被四個(gè)燃料噴嘴114a-d圍繞。但是應(yīng)該理解，可以用更多或更少的燃料噴嘴114。圖2是示意圖，其描繪了本發(fā)明的燃料歧管113的一個(gè)實(shí)施例。如上文所述，來自 燃料源116的燃料可流經(jīng)管道118，并可選地通過逆燃阻止器126流入燃料入口 119。燃料歧管113適于采用經(jīng)選擇的、相等的、或幾乎相等的流率和壓力，來提供燃料 給燃料噴嘴114a_d。上述經(jīng)選擇的、相等的、或幾乎相等地提供燃料給燃料噴嘴114a_d的 方式可使燃料噴嘴以經(jīng)選擇的、相等的、或幾乎相等的噴流型式將燃料噴灑至減排單元101 內(nèi)，具體而言噴灑至燃燒區(qū)102內(nèi)。這樣噴灑的燃料可產(chǎn)生相較于傳統(tǒng)減排單元中的燃燒 區(qū)而言具有更均勻溫度分布的燃燒區(qū)，或者以經(jīng)選擇的非均勻溫度分布來產(chǎn)生燃燒區(qū)。在 一些實(shí)施例中，相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的燃料歧管可減少多個(gè)燃料噴嘴之間的流動(dòng)差異。 此外，燃料歧管可適于在經(jīng)選擇的不相等流率和/或壓力下，向燃料噴嘴114a_d提供燃料， 以在燃燒區(qū)102中創(chuàng)造期望的均勻或不均勻的溫度分布。在一些實(shí)施例中，本發(fā)明可以通過包含針對(duì)各個(gè)燃料噴嘴114a_d的各燃料管線 202a-d,并要求每個(gè)燃料管線202a-d在長(zhǎng)度、橫截面面積、和/或其它參數(shù)方面彼此相等， 來提供更加均勻的燃料供應(yīng)(體積和壓力)。應(yīng)當(dāng)明白的是，燃料管線可包含多個(gè)區(qū)段。例 如，燃料管線202a可包括初級(jí)區(qū)段204、次級(jí)區(qū)段206a和三級(jí)區(qū)段208a。同樣地，燃料管 202b可包括初級(jí)區(qū)段204、次級(jí)區(qū)段206a和三級(jí)區(qū)段208b。應(yīng)明白的是，可使用更多或更 少的區(qū)段，這取決于噴嘴114和燃料入口 119的數(shù)量。亦應(yīng)當(dāng)明白，雖然燃料管線202a-d 顯示為直線，但是燃料管線可以是任何合適的形狀，例如，彎曲或圓形。在一些實(shí)施例中，從 燃料入口分支而來的每個(gè)區(qū)段層級(jí)(即，初級(jí)區(qū)段和次級(jí)區(qū)段等等)可具有不同的橫截面 面積，其將在后文更詳細(xì)討論。在一些實(shí)施例中，一或多個(gè)區(qū)段層級(jí)可以具有沿著區(qū)段層級(jí) 的長(zhǎng)度而變化的截面。
在可選實(shí)施例中，本發(fā)明可通過包括針對(duì)各個(gè)燃料噴嘴114a_d的各個(gè)燃料管線 202a-d,并通過選擇各個(gè)燃料管202a-d的參數(shù)，例如，長(zhǎng)度、截面面積等等，使得各個(gè)燃料 噴嘴以所選擇的速度和所選擇的壓力來接收所選擇量的燃料，來提供經(jīng)選擇的燃料供應(yīng)。在一些實(shí)施例中，燃料管線202a_d可具有平滑的或拋光的內(nèi)表面，以減少對(duì)流經(jīng) 燃料管線的燃料的摩擦力的差異?？梢圆捎媚軌蚴箒碜苑侨紵齾^(qū)102的每一者的燃料流的幾何形態(tài)相等，來形成 (例如，加工、鍛造等)初級(jí)燃料管線區(qū)段204、次級(jí)燃料管線區(qū)段206a，b和三級(jí)燃料管線 區(qū)段208a_d的每一者。例如，每個(gè)燃料噴嘴114a_d到次級(jí)燃料管線區(qū)段206a，b的寬度和 長(zhǎng)度可以是相等的。此外，次級(jí)燃料管區(qū)段206a，b的每一者的其它幾何形狀(例如，圓角 半徑、內(nèi)徑表面粗糙度等)也可以是相等的。這種等化的幾何形狀也可用于三級(jí)燃料管區(qū) 段208a-d。在一些實(shí)施例中，本發(fā)明的燃料歧管113可以具有比圖1和圖2中所示更多的 燃料噴嘴114。例如，本發(fā)明的一些燃料歧管可達(dá)到約24或更多個(gè)燃料噴嘴。讀者可明白， 更多的燃料噴嘴可能需要更多數(shù)量的燃料管線區(qū)段層級(jí)，即超過圖2所示的三個(gè)燃料管線 區(qū)段層級(jí)(初級(jí)、次級(jí)和三級(jí))。圖1和2所示的燃料噴嘴114a_d在燃料歧管頭112的底部以下向下延伸。在一些 實(shí)施例中(未顯示)，燃料噴嘴可以被機(jī)加工或者以其它方式線形成在燃料歧管頭112內(nèi)。 在這種實(shí)施例中，噴嘴可能不會(huì)延伸在燃料歧管頭112的底部以下。圖3是示意圖，其描繪了本發(fā)明的燃料歧管113的一個(gè)實(shí)施例。具體來說，圖3是 一截?cái)嗔Ⅲw圖，其描繪了根據(jù)本發(fā)明的燃料歧管113的內(nèi)部空間300，包括可與內(nèi)部空間 300流體連通的燃料噴嘴114。從本質(zhì)上說，圖3繪示了可形成在燃料歧管113的本體中的 燃料管線的空的空間的表面輪廓。圖3所示的結(jié)構(gòu)可包括初級(jí)燃料管線區(qū)段204，其可以與 燃料入口 119(圖1)并與次級(jí)燃料線管區(qū)段206a流體連通。然后，次級(jí)燃料管線區(qū)段206a 可與三級(jí)燃料管線區(qū)段208b流體連通，三級(jí)燃料管線區(qū)段208b可與燃料噴嘴114a-d流 體連通。內(nèi)部空間300可被機(jī)加工、鍛造或鑄造出燃料歧管113(圖3未顯示)。內(nèi)部空間 300可包括三級(jí)燃料管線區(qū)段208b，其雖然在圖中被顯示為沿線A-A截?cái)?，但可以是終端燃 料分配管線308a的鏡像。內(nèi)部空間300適于使排出物入口 110(圖3未顯示)通過藉由三級(jí)燃料管線區(qū)段 208a形成在燃料歧管113中的環(huán)302，穿過燃料歧管113。該燃料入口可鄰近或靠近燃料噴 嘴114a-d地終止于減排單元101，以使排出物從噴嘴114a-d噴灑到多個(gè)燃料噴灑器間的減 排單元101。燃料歧管頭112可以是鋁塊，該鋁塊具有被機(jī)加工到鋁塊內(nèi)的燃料管線，但亦可 使用任何合適的燃料歧管頭112。燃料歧管頭112可由陽(yáng)極氧化鋁制成，其被制造(例如， 機(jī)加工、鍛造、鑄造等)成包括燃料管線，例如，燃料管線204、206和208。燃料歧管頭112 也可被制造為包括額外特征部，例如螺栓(未顯示)以用于耦合燃料歧管頭112與減排單 元101。其它材料亦可用于形成燃料歧管頭112。在可選實(shí)施例中，如圖2和圖3所示的被包含在歧管頭112內(nèi)的分支燃料管線可 位于歧管頭112外側(cè)(未顯示)。經(jīng)過最后的分支，燃料管線可以簡(jiǎn)單地直接通過歧管頭 112并終止于燃料噴嘴114。在工作時(shí)，參照?qǐng)D1和圖2，燃料可從燃料源116經(jīng)過逆燃阻止器126和燃料入口119供應(yīng)至燃料歧管113。在一些實(shí)施例中，可提供與單一的逆燃阻止器126連接的單一燃 料入口 119。該逆燃阻止器126可適于防止在上游(例如，在燃料源116)燃料起火。例如， 萬一在燃料歧管113內(nèi)的燃料起火，逆燃阻止器126可以防止這種起火引起逆燃阻止器126 上游的燃料起火。因此，除了將在后文更詳細(xì)說明的在燃料歧管113中已有的安全措施之 外，逆燃阻止器126還可提供安全特性。燃料在通過逆燃阻止器126并進(jìn)入燃料歧管113之后，可以在燃料管線202a_d間 平均分配，燃料管線202a-d終止于燃料噴嘴114a_d。根據(jù)本發(fā)明，多個(gè)燃料管線202a-d可 在一或多個(gè)屬性(例如，長(zhǎng)度、橫截面面積、角度、內(nèi)部表面粗糙度等)方面具有可控并/或 可選擇的差異。因此，燃料可被提供至歧管112和藉由相同或幾乎相同的燃料管線202a-d 以相同或幾乎相同或相似的流率和/或壓力分配至燃料噴嘴114a-d。在一些實(shí)施例中，燃 料噴嘴114的數(shù)量可等于燃料管線202的數(shù)量。燃料可以通過作為燃料歧管113的一部分 和/或與燃料歧管113耦合的燃料噴嘴114a-d進(jìn)入燃燒區(qū)102。因此，由于燃料噴嘴114a_d 處的燃料流率和壓力可比傳統(tǒng)減排單元更均勻，所以來自多個(gè)燃料噴嘴114a_d的燃料噴 流亦可更加均勻。此外，燃料歧管113可影響將燃料從燃料噴嘴114a_d噴灑到燃燒區(qū)102內(nèi)的其它 參數(shù)。例如，從燃料噴嘴114a-d噴灑的燃料的燃料速度預(yù)計(jì)會(huì)受到初級(jí)燃料管線區(qū)段204、 次級(jí)燃料管線區(qū)段206a，b和三級(jí)燃料管線區(qū)段208a-d的特征的影響。例如，若高階燃料 管線區(qū)段(即更靠近燃料噴嘴114)具有比低階燃料管線區(qū)段(即更靠近燃料入口 119)更 窄的直徑，則當(dāng)燃料流入高階燃料管線區(qū)段和燃料噴嘴114內(nèi)時(shí)，會(huì)導(dǎo)致燃料速度升高。因 此，藉由適當(dāng)?shù)剡x擇初級(jí)燃料管線區(qū)段204、次級(jí)燃料管線區(qū)段206a，b和三級(jí)燃料管線區(qū) 段208a-d的維度，可將燃料速度設(shè)定為高于在燃燒區(qū)102中的排出物、燃料和氧化劑混合 物的火焰速度。當(dāng)減排單元使用的燃料速度高于已經(jīng)從燃料噴嘴114噴灑的燃料燃燒的火 焰速度，則火焰前緣將無法接近多個(gè)燃料噴嘴114，而因此可防止火焰返回燃料噴嘴114。圖4是示意圖，其描繪了本發(fā)明的方法400。該方法始于步驟402，其中使燃料從 燃料供應(yīng)器通過管道流入歧管。在步驟404，使燃料從歧管以高于火焰速度的燃料速度流經(jīng) 多個(gè)噴嘴。方法400可擴(kuò)充可選的步驟406和408。在步驟406，從燃料供應(yīng)器流入歧管的 燃料是流經(jīng)單一燃料入口的。在步驟408，從燃料供應(yīng)器流入歧管的燃料流經(jīng)單一的逆燃阻 止器。上述說明只揭示本發(fā)明的示例性實(shí)施例。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將明白落入本發(fā)明的 范疇內(nèi)的對(duì)以上揭示的設(shè)備和方法的修改。例如，如果燃料歧管113被設(shè)計(jì)為不需要逆燃 阻止器126，則可以不使用逆燃阻止器126。因此，雖然本發(fā)明藉由示例性實(shí)施例得到了揭 示，但是應(yīng)明白，其它實(shí)施例亦可以落入如權(quán)利要求所界定的本發(fā)明的主旨和范疇內(nèi)。
權(quán)利要求
一種設(shè)備，用于將燃料引入電子裝置制造排出物減排工具，包括歧管；燃料源，其適于將燃料通過燃料管道供應(yīng)至所述歧管；和多個(gè)噴嘴，其適于從所述歧管接收燃料；其中，所述歧管適于將燃料以高于火焰速度的燃料速度供應(yīng)至所述噴嘴。
2.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，還包括位于所述歧管與所述燃料源之間的單一逆燃阻止 器，所述逆燃阻止器適于防止火焰從所述歧管向所述燃料源傳播。
3.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中，所述歧管還適于使具有最低燃料速度的噴嘴與具 有最高燃料速度的噴嘴之間的燃料速度的不同減小為比所述最高燃料速度的約20%更小。
4.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中，所述歧管還適于使具有最低燃料速度的噴嘴與 具有最高燃料速度的噴嘴之間的燃料速度的不同減小為比所述最高燃料速度的約10%更
5.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中，所述燃料速度是所述火焰速度的至少三倍。
6.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中，所述燃料速度是所述火焰速度的至少五倍。
7.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中，所述歧管還適于通過單一燃料入口接收燃料。
8.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中，所述歧管還包括燃料管線，所述燃料管線具有的屬 性經(jīng)選擇來減小所述噴嘴的燃料速度和壓力的不同。
9.一種方法，用于操作電子裝置制造減排系統(tǒng)，包括以下步驟使燃料從燃料供應(yīng)器通過燃料管道流入歧管；和使所述燃料從所述歧管流經(jīng)多個(gè)噴嘴；其中，所述歧管適于使燃料以高于火焰速度的燃料速度流至所述噴嘴。
10.如權(quán)利要求9所述的方法，還包括以下步驟使燃料流經(jīng)逆燃阻止器，所述逆燃阻 止器位于所述歧管與所述燃料源之間，并適于防止火焰從所述歧管向所述燃料源傳播。
11.如權(quán)利要求9所述的方法，還包括以下步驟使具有最低燃料速度的噴嘴與具有最 高燃料速度的噴嘴之間的燃料速度的不同減小為比所述最高燃料速度的約20%更小。
12.如權(quán)利要求9所述的方法，還包括以下步驟使具有最低燃料速度的噴嘴與具有最 高燃料速度的噴嘴之間的燃料速度的不同減小為比所述最高燃料速度的約10%更小。
13.如權(quán)利要求9所述的方法，還包括以下步驟使所述燃料以至少為所述火焰速度三 倍的速度流經(jīng)所述燃料噴嘴。
14.如權(quán)利要求9所述的方法，還包括以下步驟使所述燃料以至少為所述火焰速度五 倍的速度流經(jīng)所述燃料噴嘴。
15.如權(quán)利要求9所述的方法，其中，使所述燃料從所述燃料供應(yīng)器通過所述燃料管道 流入所述歧管的步驟還包括以下步驟使所述燃料從所述燃料供應(yīng)器通過單一歧管燃料入 口流入所述歧管。
全文摘要
文檔編號(hào)F02C1/00GK101952933SQ20098010558
公開日2011年1月19日 申請(qǐng)日期2009年2月17日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月18日
發(fā)明者Daniel O Clark, Shaun W Crawford, Allen G Fox, Robbert M Vermeulen 申請(qǐng)人:Applied Materials Inc