1.等離子體與靜電吸附組合處理裝置，其特征在于：包括進(jìn)氣管(100)、等離子發(fā)生器(101)、連接氣管(102)、靜電除氣溶膠裝置(103)、電暈線(104)、集電極(105)、出氣管(106)，等離子發(fā)生器(101)一端與進(jìn)氣管(100)連接，另一端通過連接氣管(102)與靜電除氣溶膠裝置(103)一端連接，除氣溶膠裝置(103)另一端與出氣管(106)連接，靜電除氣溶膠裝置(103)由若干除氣溶膠管(107)組成，除氣溶膠管(107)包括電暈線(104)和集電極(105)，電暈線(104)和集電極(105)分別位于除氣溶膠管(107)中心和管壁上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體與靜電吸附組合處理裝置，其特征在于：所述靜電除氣溶膠裝置(103)包括4支均勻排列的除氣溶膠管(107)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的等離子體與靜電吸附組合處理裝置，其特征在于：所述除氣溶膠管(107)設(shè)置成圓柱形結(jié)構(gòu)，除氣溶膠管(107)還包括設(shè)在圓柱形結(jié)構(gòu)兩端的進(jìn)口端(108)和出口端(109)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的等離子體與靜電吸附組合處理裝置，其特征在于：所述電暈線(104)與除氣溶膠管(107)平行且橫穿于除氣溶膠管(107)中心。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的等離子體與靜電吸附組合處理裝置，其特征在于：所述連接氣管(102)末端與除氣溶膠管(107)的進(jìn)口端(108)連通，除氣溶膠管(107)的出口端(109)與出氣管(106)連通。