本發(fā)明涉及機械自動化領域，更為具體地，涉及一種芯片全自動測試裝置。

背景技術：

目前對合格芯片的篩查多是采用晶圓測試探針臺來完成。晶圓測試探針坦是由顯微鏡、探針座、工作臺、承片臺、電工系統(tǒng)及界面顯示組成的，它搭配測試儀后完成對晶圓的電參數(shù)測試及功能測試。這種晶圓測試探針臺因為其探針及打點機構(gòu)的限制，電參數(shù)只能設置為兩檔(合格品與不合格品，不合格品打紅點)，電參數(shù)低于設置指標的只能作為不合格品歸為廢料，實際部分不合格品可以歸為下一檔(良品或中上品)，檢測設備的不合理造成了產(chǎn)品的浪費及成本增加。其次，在工作速度上因為需要手動換晶圓并校準以及晶圓平面移動需要x、y軸同動等方面限制，導致其每小時工作效率并不高。再次，晶圓測試完后需切割成芯片，切割過程中有可能會造成芯片的損傷，切割后需再次篩選一遍，導致成本增加和效率降低。

目前雖然也有多軌道進料檢測設備，能夠?qū)崿F(xiàn)同時取料，同時檢測和收納功能，大大提高了工作效率，但這類設備一次取料只能檢測一種參數(shù)，無法對待測產(chǎn)品性能做全面測試，也制約了其使用范圍。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種芯片測試分類機器人及其測試方法，改變傳統(tǒng)的芯片制造工序。通過振動盤搭配高速ddr馬達傳動以及多個測試工位，達到單測、順測、并測等多樣化測試方式，從而實現(xiàn)提高工作效率、降低人工及材料成本、降低勞動強度、優(yōu)化生產(chǎn)線等優(yōu)異效果。

一種芯片測試分類機器人，包括多軌振動上料組件1，篩選組件2，下壓組件3，多頭旋轉(zhuǎn)組件4和收料組件5；下壓組件3下方連接有多頭旋轉(zhuǎn)組件4；所述多頭旋轉(zhuǎn)組件4包括工作分度圓盤41、多個吸嘴組件42和真空分度盤43，真空分度盤43設置在工作分度圓盤41的軸心位置上，多個吸嘴組件42按照等分的間距設置在工作分度圓盤41上；多軌振動上料組件1，篩選組件2和收料組件5依次相鄰設置在多頭旋轉(zhuǎn)組件4的下方，且與吸嘴組件42的吸嘴425相對設置。

此外，優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是，多軌振動上料組件1包括圓軌上料震動組件11，圓軌上料震動組件11的上料出口端鄰接第一直軌上料振動組件12，第一直軌上料振動組件12的上料出口端鄰接第二直軌上料振動組件13，第二直軌上料振動組件13的上料出口端鄰接第三直軌上料振動組件15，第三直軌上料振動組件15的側(cè)下方設有直軌回料振動組件14，直軌回料振動組件14的上料出口端鄰接圓軌上料震動組件11的上料入口端。

此外，優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是，篩選組件2包括一個篩選底板23，篩選底板23上具有一個內(nèi)凹平臺，內(nèi)凹平臺內(nèi)依次相鄰設置多個測試組件22，每個測試組件22旁邊對應設置一個氮氣輸送組件21，篩選底板23的底部連接有高低調(diào)節(jié)組件24。

此外，優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是，下壓組件3包括下壓曲桿32，下壓曲桿32的一端連接有下壓桿31，下壓曲桿32上還設有多個下壓氣缸33，每個下壓氣缸33的底部連接有下壓膠頭。

此外，優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是，吸嘴組件42包括止轉(zhuǎn)桿426，止轉(zhuǎn)桿426固定在工作分度圓盤41上，止轉(zhuǎn)桿426上連接有止轉(zhuǎn)塊421，止轉(zhuǎn)塊421固定連接吸嘴導桿422，吸嘴導桿422穿過工作分度圓盤41，其下部通過直線軸承427連接吸嘴座424，吸嘴座424上設有吸嘴425，處于止轉(zhuǎn)塊421和工作分度圓盤41之間的吸嘴導桿422外部套裝有彈簧423。

此外，優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是，真空分度盤43包括固定分度盤431和旋轉(zhuǎn)分度盤432，固定分度盤431和旋轉(zhuǎn)分度盤432緊密貼合在一起，固定分度盤431上設有控制氣管接頭433，旋轉(zhuǎn)分度盤432上設有執(zhí)行氣管接頭434，執(zhí)行氣管接頭434通過氣管與吸嘴425連接。

此外，優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是，收料組件5包括料盒載體53，接料盒54收納在料盒載體53內(nèi)，料盒載體53上端設有接料口51，接料口51的出口通向接料盒54。

此外，優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是，還包括外部機架，多軌振動上料組件1，篩選組件2，下壓組件3，多頭旋轉(zhuǎn)組件4和收料組件5均設置在外部機架內(nèi)的平臺上。

此外，本發(fā)明還提供了利用上述芯片測試分類機器人進行檢測的方法，具體為：

1.通電后打開空壓泵及真空泵，待兩泵壓力表示數(shù)達到設定要求后開機。

2.點開觸摸屏進入控制系統(tǒng)進行系統(tǒng)設定，系統(tǒng)設定包括測試模式選擇、連續(xù)不良報警選擇、馬達設定、測試信號選擇。

3.參數(shù)設定后，返回自動運行界面，打開多軌上料組件1和敲擊氣缸。點擊開始，機器人自動運行，界面自動顯示工作狀態(tài)、每小時產(chǎn)能uph、收料組件5各接料盒54數(shù)量并顯示百分比、報警顯示。當收料組件5中數(shù)量達到設定值，機器人自動停止，蜂鳴器鳴笛，檢測工作結(jié)束。

此外，測試模式包括單站測試、兩站并測、三站并測、兩站順測和三站順測，具體為：

單站測試：選定一個測試組件22作為測試站，其他測試組件22下壓氣缸33不動作，吸嘴組件42吸取產(chǎn)品后轉(zhuǎn)動到相應測試站的上方，只有選定測試站對應下壓氣缸33動作；

兩站并測：選定兩個測試組件22作為測試站，兩個吸嘴組件42依次吸取產(chǎn)品后轉(zhuǎn)動到相應測試站的上方，并同時選定測試站對應下壓氣缸33動作；

三站并測：選定三個測試組件22作為測試站，三個吸嘴組件42依次吸取產(chǎn)品后轉(zhuǎn)動到相應測試站的上方，并同時選定測試站對應下壓氣缸33動作；

兩站順測：選定兩個測試組件22作為測試站，吸嘴組件42吸取產(chǎn)品轉(zhuǎn)動到第一個測試站，選定對應下壓氣缸33動作，測試完畢后，下壓氣缸33升起，吸嘴組件42吸取產(chǎn)品轉(zhuǎn)動到第二個測試站，選定對應下壓氣缸33動作，完成第二項測試項目的測試。

三站順測：選定三個測試組件22作為測試站，吸嘴組件42吸取產(chǎn)品依次轉(zhuǎn)動到每個測試站，選定對應下壓氣缸33動作，逐一完成每一個測試站的測試工作。

本發(fā)明的芯片測試分類機器人，由振動盤傳送芯片搭配ddr馬達高速傳動，不損傷芯片，節(jié)省人力；設置多個測試組件，可根據(jù)實際需求提供單站、雙站、三站及順測、并測等多樣化測試方式，達到工序的節(jié)省、操作控制使用簡便等效果，提高了工作效率。

附圖說明

通過參考以下結(jié)合附圖的說明，并且隨著對本發(fā)明的更全面理解，本發(fā)明的其它目的及結(jié)果將更加明白及易于理解。在附圖中：

圖1為根據(jù)本發(fā)明芯片測試分類機器人的結(jié)構(gòu)示意圖一；

圖2為根據(jù)本發(fā)明芯片測試分類機器人的結(jié)構(gòu)示意圖二；

圖3為多軌振動上料組件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為篩選組件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為下壓組件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為多頭旋轉(zhuǎn)組件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7為吸嘴組件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖8為真空分度盤的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖9為收料組件的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中的附圖標記包括：多軌振動上料組件1、篩選組件2、下壓組件3、多頭旋轉(zhuǎn)組件4、收料組件5、圓軌上料震動組件11、第一直軌上料振動組件12、第二直軌上料振動組件13、直軌回料振動組件14、第三直軌上料振動組件15、產(chǎn)品壓板16、氮氣輸送組件21、測試組件22、篩選底板23、高低調(diào)節(jié)組件24、下壓桿31、下壓曲桿32、下壓氣缸33、工作分度圓盤41、吸嘴組件42、真空分度盤43、接料口51、料盒到位開關52、止轉(zhuǎn)塊421、吸嘴導桿422、彈簧423、吸嘴座424、吸嘴425、止轉(zhuǎn)桿426、固定分度盤431、旋轉(zhuǎn)分度盤432、控制氣管接頭433、執(zhí)行氣管接頭434。

在所有附圖中相同的標號指示相似或相應的特征或功能。

具體實施方式

為詳細描述本發(fā)明實施例的木人樁結(jié)構(gòu)，以下將結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實施例進行詳細描述。

圖1和圖2分別從不同角度示出了本發(fā)明實施例的一種芯片測試分類機器人的結(jié)構(gòu)。

如圖1和圖2共同所示，一種芯片測試分類機器人，包括多軌振動上料組件1，篩選組件2，下壓組件3，多頭旋轉(zhuǎn)組件4和收料組件5；下壓組件3下方連接有多頭旋轉(zhuǎn)組件4；所述多頭旋轉(zhuǎn)組件4包括工作分度圓盤41、多個吸嘴組件42和真空分度盤43，真空分度盤43設置在工作分度圓盤41的軸心位置上，多個吸嘴組件42按照等分的間距設置在工作分度圓盤41上；多軌振動上料組件1，篩選組件2和收料組件5依次相鄰設置在多頭旋轉(zhuǎn)組件4的下方，且與吸嘴組件42的吸嘴425相對設置。

如圖6所示，多頭旋轉(zhuǎn)組件4由工作分度圓盤41帶動吸嘴組件42不間斷做360度圓周旋轉(zhuǎn)，通過配合下壓組件吸取和測試產(chǎn)品，并通過控制真空分度盤43把產(chǎn)品分配到不同的收料盒中。多頭數(shù)量可以通過放大圓盤直徑擴展到更多。

如圖8所示，真空分度盤43包括固定分度盤431和旋轉(zhuǎn)分度盤432，固定分度盤431和旋轉(zhuǎn)分度盤432緊密貼合在一起達到密封的效果，固定分度盤431上設有控制氣管接頭433，旋轉(zhuǎn)分度盤432上設有執(zhí)行氣管接頭434，執(zhí)行氣管接頭434通過氣管與吸嘴425連接。旋轉(zhuǎn)分度盤432轉(zhuǎn)動一次，執(zhí)行氣管接頭434就旋轉(zhuǎn)對應到下一個控制氣管接頭434，最終使真空和壓力空氣可以精確的控制到每一個氣路的通斷，從而控制吸嘴組件42吸料放料。

如圖3所示，多軌振動上料組件1包括圓軌上料震動組件11，圓軌上料震動組件11的上料出口端鄰接第一直軌上料振動組件12，第一直軌上料振動組件12的上料出口端鄰接第二直軌上料振動組件13，第二直軌上料振動組件13的上料出口端鄰接第三直軌上料振動組件15，第三直軌上料振動組件15的側(cè)下方設有直軌回料振動組件14，直軌回料振動組件14的上料出口端鄰接圓軌上料震動組件11的上料入口端。

多軌振動上料組件1將產(chǎn)品輸送到第三直軌上料振動組件15頂端，第三直軌上料振動組件15的頂端與多頭旋轉(zhuǎn)組件4的原點處吸嘴425對齊，下壓組件3下壓使吸嘴425吸住產(chǎn)品，并保證吸取時芯片只吸一顆產(chǎn)品，即做到產(chǎn)品不并排，不重疊，不反向。下壓組件3上升，吸嘴425抬起，多頭旋轉(zhuǎn)組件4將吸嘴425旋轉(zhuǎn)到篩選組件2處測試篩選，篩選完成后多頭旋轉(zhuǎn)組件4帶動吸嘴425將篩選完成的產(chǎn)品分類到相應的收料組件5中。

通過更換多軌振動上料組件1中的第三直軌上料振動組件15和多頭旋轉(zhuǎn)組件4中吸嘴組件42的吸嘴425，本設備可適用于44mil-150mil的芯片篩選，多軌振動上料組件1的位置可微調(diào)，調(diào)節(jié)范圍xyz：10*10*3mm。

如圖4所示，篩選組件2包括一個篩選底板23，篩選底板23上具有一個內(nèi)凹平臺，內(nèi)凹平臺內(nèi)依次相鄰設置三個測試組件22，每個測試組件22旁邊對應設置一個氮氣輸送組件21，篩選底板23的底部連接有高低調(diào)節(jié)組件24。氮氣輸送組件21可有效防止電火花，測試組件22其由鎢銅制作，耐磨損，篩選底板23可直觀的觀察到設備掉料率，并根據(jù)掉料率微調(diào)設備，同時防止掉料落入收料組件，高低調(diào)節(jié)組件24操作簡便，高效調(diào)整測試件的高低，提高產(chǎn)品測試成功率。

篩選組件2的篩選方式由測試組件22和程序控制下壓組件3的下壓氣缸33數(shù)量來選擇?？勺龅絾握緶y試、兩站并測、三站并測、兩站順測、三站順測等多種篩選方式。

本實施例中共設置了三個測試組件22，可分別記為a站、b站和c站。以下列舉幾種不同的篩選方式。

單站測試：選定abc三站中其中一站作為測試站，其他兩站下壓氣缸33不動作，只有選定測試站對應下壓氣缸33動作。其工作效率在同樣的工作環(huán)境和測試條件下，要比其他設備的uph高出1k。

兩站并測：選定abc三站中兩站組合(如ab、ac、bc)，選定測試站對應下壓氣缸33動作，效率高于單站測試2k每小時。

三站并測：abc三站同時測試，效率高于單站測試4k每小時。

兩站順測：選定abc三站中兩站組合(如ab、ac、bc)，選定測試站對應下壓氣缸33動作，如選定ab兩站，則a站測產(chǎn)品的1號參數(shù)，b站測產(chǎn)品的2號參數(shù)，不用因為產(chǎn)品需要兩種參數(shù)鑒定其優(yōu)劣，而重復測。

三站順測：abc三站都動作，原理和兩站順測一樣，多一種測試參數(shù)。

如圖5所示，下壓組件3包括下壓曲桿32，下壓曲桿32的一端連接有下壓桿31，下壓曲桿32上還設有多個下壓氣缸33，每個下壓氣缸33的底部連接有下壓膠頭。

下壓組件3實行高速往復運動，下壓桿31和下壓氣缸33通過下壓曲桿32實現(xiàn)同步運作，下壓桿31和下壓氣缸33通過下壓吸嘴組件42控制產(chǎn)品的吸取和測試，其中下壓氣缸33可由程序控制來實現(xiàn)篩選方式。下壓組件3的數(shù)量最大可以擴展到產(chǎn)品吸嘴數(shù)量的3/4。

吸嘴組件42包括止轉(zhuǎn)桿426，止轉(zhuǎn)桿426固定在工作分度圓盤41上，止轉(zhuǎn)桿426上連接有止轉(zhuǎn)塊421，止轉(zhuǎn)塊421固定連接吸嘴導桿422，吸嘴導桿422穿過工作分度圓盤41，其下部通過直線軸承427連接吸嘴座424，吸嘴座424上設有吸嘴425，處于止轉(zhuǎn)塊421和工作分度圓盤41之間的吸嘴導桿422外部套裝有彈簧423。吸嘴組件42為多頭旋轉(zhuǎn)送料組件4的重要組成部分，負責產(chǎn)品的吸取，運送和測試。吸嘴座424采用絕緣材料，杜絕漏電。

如圖9所示，收料組件5包括料盒載體53，接料盒54收納在料盒載體53內(nèi)，料盒載體53上端設有接料口51，接料口51的出口通向接料盒54。收料組件中接料口51、接料盒54都由偏軟性材料加工成，有效防止產(chǎn)品撞碎，接料盒54上還設有料盒到位開關52，用于防止接料盒54未放置到位。

該芯片測試分類機器人可實現(xiàn)全自動篩選，具體操作為：

1.通電后打開空壓泵及真空泵，待兩泵壓力表示數(shù)達到設定要求方可開機。

2.壓力表示數(shù)達標后，點開觸摸屏進入延時設定和系統(tǒng)設定；延時設定主要使機器人各部件聯(lián)系更緊密，工作動作更順暢，增加工作效率。系統(tǒng)設定包括測試模式選擇、連續(xù)不良報警選擇、馬達設定、測試信號選擇。測試模式選擇用于選定篩選方式，不同的篩選方式工作模式不同；連續(xù)不良報警的主要功能是若測試站出現(xiàn)多次連續(xù)不良報警那么意味著測試儀表或者測抓出問題，這樣設置方便檢修；設定ddr馬達各項參數(shù)，ddr馬達是機器人重要組成部分，其各項參數(shù)設定出廠前已設定，未經(jīng)工程師同意不要更改；測試信號選擇：配合測試儀表，分配優(yōu)良差品。

3.參數(shù)設定后，返回自動運行界面，打開多軌上料組件1和敲擊氣缸。點擊開始機器人自動運行，界面自動顯示工作狀態(tài)、每小時產(chǎn)能uph、收料組件5各接料盒54數(shù)量并顯示百分比、報警顯示。當收料組件5中數(shù)量達到設定值(比如10000)，機器人自動停止，蜂鳴器鳴笛，工作人員上前將已測好的產(chǎn)品裝入包裝袋，然后點擊開始機器人繼續(xù)運行。

如上參照附圖以示例的方式描述了根據(jù)本發(fā)明提出的一種芯片測試分類機器人。但是，本領域技術人員應當理解，對于上述本發(fā)明所提出的一種詠春拳實戰(zhàn)木人樁，還可以在不脫離本發(fā)明內(nèi)容的基礎上做出各種改進。因此，本發(fā)明的保護范圍應當由所附的權(quán)利要求書的內(nèi)容確定。