半導(dǎo)體靜電吸附裝置制造方法
【專利摘要】一種半導(dǎo)體靜電吸附裝置，包括吸附模塊，吸附模塊接通正負(fù)電極，并形成有電場吸附區(qū)，吸附模塊的進(jìn)風(fēng)側(cè)設(shè)置有放電針，放電針接通正負(fù)電極，并形成電場極化區(qū)，空氣中的吸附物經(jīng)過放電針的電場極化區(qū)后帶上電荷，并隨著氣流進(jìn)入吸附模塊的電場吸附區(qū)后吸附。本發(fā)明設(shè)置有包裹半導(dǎo)體石墨電極的絕緣塑料吸附片,通過吸附片的尖端靠攏,產(chǎn)生均勻的電磁場，電磁場吸附面積通過尖端微電流的作用，不但讓電磁場產(chǎn)生更均勻，還增加了吸附面積，吸附模塊輸入的直流高壓遠(yuǎn)遠(yuǎn)小過現(xiàn)有技術(shù)的高壓，不但節(jié)能環(huán)保，在電場均勻度同等情況下還能增大吸附面積，另外本裝置完全無臭氧產(chǎn)生,只是單純的吸附顆粒物,而且可以多次循環(huán)使用，實(shí)用性強(qiáng)。
【專利說明】半導(dǎo)體靜電吸附裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體靜電吸附裝置。

【背景技術(shù)】
[0002] 在現(xiàn)有技術(shù)中，為了去除空氣中的微小灰塵顆粒，技術(shù)人員往往使用靜電除塵技 術(shù)來實(shí)現(xiàn)，即使空氣通過接通負(fù)高壓的極板，使空氣中攜帶的灰塵攜帶負(fù)電荷，然后經(jīng)過接 通正電壓的極板，使灰塵被吸附在正極板上。但是，仍然存在正極板對微小灰塵顆粒吸附不 徹底以及效率低的問題，同時正負(fù)極板間隙小，容易引起灰塵聚積引起正負(fù)極板間短路問 題，而且結(jié)構(gòu)復(fù)雜，生產(chǎn)成本高，制造難度大，安全系數(shù)小。因此，有必要進(jìn)一步改進(jìn)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本發(fā)明的目的旨在提供一種結(jié)構(gòu)簡單合理，性能可靠，制造成本低，易生產(chǎn)，易實(shí) 現(xiàn)且吸附能強(qiáng)的半導(dǎo)體靜電吸附裝置，以克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處。
[0004] 按此目的設(shè)計的一種半導(dǎo)體靜電吸附裝置，包括吸附模塊，其特征在于：吸附模塊 接通正負(fù)電極，并形成有電場吸附區(qū)，吸附模塊的進(jìn)風(fēng)側(cè)設(shè)置有放電針，放電針接通正負(fù)電 極，并形成電場極化區(qū)，空氣中的吸附物經(jīng)過放電針的電場極化區(qū)后帶上電荷，并隨著氣流 進(jìn)入吸附模塊的電場吸附區(qū)后吸附。
[0005] 所述吸附模塊包括若干的直線排列的吸附片，相鄰的兩塊吸附片分別接通正負(fù)電 極，并形成電場吸附區(qū)。
[0006] 所述吸附片為具有韌性的絕緣塑料制成，并在內(nèi)部設(shè)置有半導(dǎo)體石墨電極；相鄰 的兩塊吸附片分別通過半導(dǎo)體石墨電極接通正負(fù)電極，其中，接通正電極的吸附片設(shè)置有 凸部、且通過凸部與接通負(fù)電極的吸附片接觸。
[0007] 所述相鄰的兩塊吸附片之間形成有空氣通道，空氣通道上形成有尖端。
[0008] 所述空氣通道的寬度d為1毫米以上。
[0009] 所述接通半導(dǎo)體石墨電極的正負(fù)電極電壓為DC5000V以上。
[0010] 本發(fā)明通過上述結(jié)構(gòu)的改良，在吸附模塊的進(jìn)風(fēng)側(cè)設(shè)置有放電針，放電針接通正 負(fù)電極，并形成電場極化區(qū)，放電針對空氣放電，使空氣中的微小顆粒物通過電場極化區(qū)后 瞬間帶上電荷，再隨著氣流進(jìn)入吸附模塊的電場吸附區(qū)后吸附，大大地提高了吸附裝置吸 附效率的同時，設(shè)置有包裹半導(dǎo)體石墨電極的絕緣塑料吸附片，通過吸附片的尖端靠攏， 產(chǎn)生均勻的電磁場，電磁場吸附面積通過尖端微電流的作用，不但讓電磁場產(chǎn)生的更均勻， 而且大大地增加了吸附面積，并且吸附模塊輸入的直流高壓遠(yuǎn)遠(yuǎn)小過現(xiàn)有技術(shù)的高壓，不 但節(jié)能環(huán)保，在電場均勻度同等的情況下還能增大吸附面積，所以能夠達(dá)到更好的吸附效 果，另外本裝置完全無臭氧產(chǎn)生，只是單純的吸附顆粒物，而且可以多次循環(huán)使用。其具 有結(jié)構(gòu)簡單合理，性能可靠，制造成本低，易生產(chǎn)，易實(shí)現(xiàn)且吸附能強(qiáng)等特點(diǎn)，實(shí)用性強(qiáng)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0011] 圖1為本發(fā)明一實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012] 圖2為本發(fā)明一實(shí)施例工作原理結(jié)構(gòu)不意圖。
[0013] 圖3為本發(fā)明一實(shí)施例的應(yīng)用例結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0014] 下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步描述。
[0015] 參見圖1-圖3,本半導(dǎo)體靜電吸附裝置，包括吸附模塊1，吸附模塊1接通正負(fù)電 極，并形成有電場吸附區(qū)2,吸附模塊1的進(jìn)風(fēng)側(cè)設(shè)置有放電針3,放電針3接通正負(fù)電極， 并形成電場極化區(qū)4,空氣中的吸附物經(jīng)過放電針3的電場極化區(qū)4后帶上電荷，并隨著氣 流流動方向A進(jìn)入吸附模塊1的電場吸附區(qū)2后吸附。
[0016] 具體地講，吸附模塊1包括若干的直線排列的吸附片，相鄰的兩塊吸附片分別接 通正負(fù)電極，并形成電場吸附區(qū)2。所述吸附片為具有韌性的絕緣塑料制成，并在內(nèi)部設(shè)置 有半導(dǎo)體石墨電極7,相鄰的兩塊吸附片分別通過半導(dǎo)體石墨電極7接通正負(fù)電極，其中， 接通正電極的吸附片8設(shè)置有凸部8. 1、且通過凸部8. 1與接通負(fù)電極的吸附片9接觸而不 直接連接在一起。
[0017] 相鄰的兩塊吸附片之間形成有空氣通道5,空氣通道5上形成有尖端6?？諝馔ǖ?5的寬度d為1毫米以上。接通半導(dǎo)體石墨電極7的正負(fù)電極電壓為DC5000V以上，本實(shí)施 例優(yōu)選10000伏左右。
[0018] 其工作原理是：
[0019] 空氣經(jīng)過放電針3,放電針3的針尖、針尾放電后形成電場極化區(qū)4,使空氣中的飄 塵、污染物、小分子顆粒物被迅速極化，極化后的飄塵、污染物、小分子顆粒物再隨著氣流流 動方向A進(jìn)入吸附模塊1的電場吸附區(qū)2,正負(fù)高電壓通過增加有半導(dǎo)添加劑的吸附片時， 通過尖端6靠攏，會產(chǎn)生均勻的電磁場，將從空氣通道5中通過的、且被極化的飄塵、污染 物、小分子顆粒吸附在吸附片上，達(dá)到去除空氣中顆粒的目的。除塵率在百分之九十以上， 同時還可有效去除0. 01微米以上的飄塵。本結(jié)構(gòu)的靜電吸附裝置同時兼有去除異味的功 能，空氣中的異味主要是通過飄塵、氣溶膠等空氣中的介質(zhì)傳播的，不管是何種介質(zhì)，只要 進(jìn)入電場極化區(qū)4,均被靜電場極化、吸集，可有效清除空氣中的異味。
[0020] 科學(xué)實(shí)驗(yàn)表明，細(xì)胞的胞囊是帶負(fù)電荷，在進(jìn)入電場極化區(qū)4時，首先被極化，再 進(jìn)入電場吸附區(qū)2被高壓正電場吸集，細(xì)菌的胞囊即被中和分解，從而達(dá)到殺滅細(xì)菌的目 的，因此在有效的空間能有最大的集塵面積，可廣泛運(yùn)用于無菌室、潔凈室、層流室，而且成 本低，可以對已建大樓中的中央空調(diào)安裝凈化滅菌裝置，使整個大樓都能達(dá)到滅菌、凈化、 去異味，以解決大空間的空氣質(zhì)量，同時還使中央空調(diào)的管道中不積留灰塵。
[0021] 上述為本發(fā)明的優(yōu)選方案，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員對其簡單的變型或改造，均落在 本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1. 一種半導(dǎo)體靜電吸附裝置，包括吸附模塊（1)，其特征在于：吸附模塊（1)接通正負(fù) 電極，并形成有電場吸附區(qū)（2)，吸附模塊（1)的進(jìn)風(fēng)側(cè)設(shè)置有放電針（3)，放電針（3)接通 正負(fù)電極，并形成電場極化區(qū)（4)，空氣中的吸附物經(jīng)過放電針（3)的電場極化區(qū)（4)后帶 上電荷，并隨著氣流進(jìn)入吸附模塊（1)的電場吸附區(qū)（2)后吸附。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體靜電吸附裝置，其特征在于所述吸附模塊（1)包括若 干的直線排列的吸附片，相鄰的兩塊吸附片分別接通正負(fù)電極，并形成電場吸附區(qū)（2)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體靜電吸附裝置，其特征在于所述吸附片為具有韌性的 絕緣塑料制成，并在內(nèi)部設(shè)置有半導(dǎo)體石墨電極（7);相鄰的兩塊吸附片分別通過半導(dǎo)體 石墨電極（7)接通正負(fù)電極，其中，接通正電極的吸附片（8)設(shè)置有凸部（8. 1)、且通過凸部 (8. 1)與接通負(fù)電極的吸附片（9)接觸。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體靜電吸附裝置，其特征在于所述相鄰的兩塊吸附片之 間形成有空氣通道（5)，空氣通道（5)上形成有尖端（6)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體靜電吸附裝置，其特征在于所述空氣通道（5)的寬度 d為1毫米以上。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體靜電吸附裝置，其特征在于所述接通半導(dǎo)體石墨電極 (7)的正負(fù)電極電壓為DC5000V以上。
【文檔編號】B03C3/45GK104084309SQ201410317745
【公開日】2014年10月8日 申請日期:2014年7月3日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月3日
【發(fā)明者】王健 申請人:王健