一種化學(xué)液混合裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及化學(xué)清洗技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種化學(xué)液混合裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體工藝清洗設(shè)備中，針對(duì)化學(xué)液回收的情況，在工藝過(guò)程中，有一部分化學(xué)液不經(jīng)過(guò)工藝腔室而直接回到儲(chǔ)液罐中，另一部分化學(xué)液做完工藝之后需要回收到儲(chǔ)液罐中，而不是直接排掉。當(dāng)化學(xué)液到達(dá)一定的壽命時(shí)間之后，就把化學(xué)液整體排掉，然后再重新補(bǔ)充新鮮的化學(xué)液，對(duì)化學(xué)液進(jìn)行溫度處理和循環(huán)之后再開始下一輪的工藝過(guò)程。
[0003]針對(duì)回收后的化學(xué)液粘度相對(duì)工藝之前有所增加，為了確保在一定的時(shí)間內(nèi)正常完成工藝，需要在工藝過(guò)程中補(bǔ)充因揮發(fā)而造成的水分丟失。目前采取的解決方案是在工藝過(guò)程中定時(shí)定量補(bǔ)充超純水，但是存在的問題是補(bǔ)充后的水都浮在儲(chǔ)液罐內(nèi)的化學(xué)液上表面，原因是化學(xué)液本身粘度比較大，超純水很難混合在化學(xué)液中，經(jīng)過(guò)比較長(zhǎng)一段時(shí)間，可以很明顯發(fā)現(xiàn)補(bǔ)充后的超純水大多都浮在化學(xué)液表面上，從而造成儲(chǔ)液罐內(nèi)的化學(xué)液在工藝過(guò)程中并不是處于相對(duì)均勻的狀態(tài)。不能夠?qū)⑷N液體進(jìn)行均勻的混合，因此縮短了化學(xué)液的使用壽命。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn)，而提出的一種化學(xué)液混合裝置。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案:
[0006]一種化學(xué)液混合裝置，其特征在于:包括化學(xué)液儲(chǔ)罐，在化學(xué)液儲(chǔ)罐的上側(cè)連接一個(gè)注入管、下側(cè)連接一個(gè)輸出管，在所述注入管上連接一個(gè)控制閥門，在所述輸出管上連接一個(gè)輸出泵，所述化學(xué)液儲(chǔ)罐通過(guò)第二輸入管連接化學(xué)液混合罐，設(shè)置在所述化學(xué)液混合罐的第二輸入管為第二螺旋管，在所述化學(xué)液儲(chǔ)罐內(nèi)還設(shè)有一個(gè)螺旋出氣管，所述螺旋出氣管連接氣源，在螺旋出氣管的側(cè)壁上設(shè)有一組出氣孔，所述化學(xué)液混合罐分別連接化學(xué)液返回管和化學(xué)液回收管，所述化學(xué)液混合罐還通過(guò)第一輸入管連接從補(bǔ)充液緩沖罐，設(shè)置在所述補(bǔ)充液緩沖罐的第一輸入管為第一螺旋管，在所述第二輸入管和第一輸入管上均連接一個(gè)輸出泵，在所述第一螺旋管和第二螺旋管的末端均封堵且在管壁上均設(shè)有一組開孔。
[0007]優(yōu)選地，所述螺旋出氣管設(shè)置在第二螺旋管的螺旋內(nèi)。
[0008]優(yōu)選地，所述化學(xué)液儲(chǔ)罐的側(cè)面連接一組用于感測(cè)化學(xué)液的液位傳感器。
[0009]優(yōu)選地，所述液位傳感器連接在所述化學(xué)液儲(chǔ)罐的同一側(cè)面，且任意上、下相鄰的兩個(gè)液位傳感器之間的距離相等。
[0010]優(yōu)選地，所述化學(xué)液混合罐的側(cè)面連接一組用于感測(cè)化學(xué)液的液位傳感器。
[0011]優(yōu)選地，所述液位傳感器連接在所述化學(xué)液混合罐的同一側(cè)面，且任意上、下相鄰的兩個(gè)液位傳感器之間的距離相等。
[0012]優(yōu)選地，所述化學(xué)液返回管和化學(xué)液回收管的出液口均設(shè)置在所述化學(xué)液混合罐內(nèi)的底部，
[0013]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于:本化學(xué)液混合裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，成本低，可以有效解決現(xiàn)有半導(dǎo)體工藝設(shè)備中存在的補(bǔ)液不均勻問題，它混料均勻，混料速度快。
【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1是本實(shí)用新型的基本結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
[0016]如圖1所示，本實(shí)用新型提供的一種化學(xué)液混合裝置，其特征在于:包括化學(xué)液儲(chǔ)罐1，在化學(xué)液儲(chǔ)罐I的上側(cè)連接一個(gè)注入管3、下側(cè)連接一個(gè)輸出管6，在所述注入管3上連接一個(gè)控制閥門4，在所述輸出管6上連接一個(gè)輸出泵7，所述化學(xué)液儲(chǔ)罐I通過(guò)第二輸入管8連接化學(xué)液混合罐2，設(shè)置在所述化學(xué)液混合罐2的第二輸入管8為第二螺旋管8.1，在所述化學(xué)液儲(chǔ)罐I內(nèi)還設(shè)有一個(gè)螺旋出氣管5，所述螺旋出氣管5連接氣源12，在螺旋出氣管5的側(cè)壁上設(shè)有一組出氣孔，所述螺旋出氣管5設(shè)置在第二螺旋管8.1的螺旋內(nèi)。
[0017]所述化學(xué)液混合罐2分別連接化學(xué)液返回管10和化學(xué)液回收管11，所述化學(xué)液返回管10和化學(xué)液回收管11的出液口均設(shè)置在所述化學(xué)液混合罐2內(nèi)的底部，所述化學(xué)液混合罐2還通過(guò)第一輸入管13連接從補(bǔ)充液緩沖罐9，設(shè)置在所述補(bǔ)充液緩沖罐17的第一輸入管13為第一螺旋管13.1，在所述第二輸入管8和第一輸入管13上均連接一個(gè)輸出泵7，在所述第一螺旋管13.1和第二螺旋管8.1的末端均封堵且在管壁上均設(shè)有一組開孔。
[0018]在化學(xué)液儲(chǔ)罐I和化學(xué)液混合罐2的側(cè)面均連接三個(gè)用于感測(cè)化學(xué)液的液位傳感器14，所述液位傳感器14對(duì)應(yīng)連接在所述化學(xué)液儲(chǔ)罐I和化學(xué)液混合罐2的同一側(cè)面，且任意上、下相鄰的兩個(gè)液位傳感器14之間的距離相等。
[0019]作業(yè)時(shí)首先打開控制閥門4，向化學(xué)液存儲(chǔ)容器I中注入化學(xué)液，直到它上的液位傳感器14感測(cè)到化學(xué)液，然后關(guān)閉控制閥門4。此時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)輸出泵7將化學(xué)液輸送到相應(yīng)的工藝單元，化學(xué)返回液和化學(xué)回收液分別由化學(xué)液返回管10和化學(xué)液回收管11流入化學(xué)液混合罐2中，同時(shí)補(bǔ)充液由第一輸入管13經(jīng)過(guò)第一輸入管13導(dǎo)入化學(xué)液混合罐2中，由于第一輸入管13的出液側(cè)為螺旋狀的第一螺旋管13.1，在補(bǔ)充液進(jìn)入化學(xué)液混合罐2中時(shí)可對(duì)化學(xué)液進(jìn)行初步的混合，將所述初步混合后的液體經(jīng)過(guò)第二輸入管8上的輸出泵7將化學(xué)液混合罐2中的液體泵入化學(xué)液儲(chǔ)罐I中，由于第一螺旋管13.1的螺旋狀和在化學(xué)液儲(chǔ)罐I通入氣體可將化學(xué)液完全充分的混合。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種化學(xué)液混合裝置，其特征在于:包括化學(xué)液儲(chǔ)罐(I)，在化學(xué)液儲(chǔ)罐(I)的上側(cè)連接一個(gè)注入管(3)、下側(cè)連接一個(gè)輸出管(6)，在所述注入管(3)上連接一個(gè)控制閥門(4)，在所述輸出管(6)上連接一個(gè)輸出泵(7)，所述化學(xué)液儲(chǔ)罐(I)通過(guò)第二輸入管(8)連接化學(xué)液混合罐(2)，設(shè)置在所述化學(xué)液混合罐(2)的第二輸入管(8)為第二螺旋管(8.1)，在所述化學(xué)液儲(chǔ)罐(I)內(nèi)還設(shè)有一個(gè)螺旋出氣管(5)，所述螺旋出氣管(5)連接氣源(12)，在螺旋出氣管(5)的側(cè)壁上設(shè)有一組出氣孔，所述化學(xué)液混合罐(2)分別連接化學(xué)液返回管(10)和化學(xué)液回收管(11)，所述化學(xué)液混合罐(2)還通過(guò)第一輸入管(13)連接從補(bǔ)充液緩沖罐(9)，設(shè)置在所述補(bǔ)充液緩沖罐(17)的第一輸入管(13)為第一螺旋管(13.1)，在所述第二輸入管(8)和第一輸入管(13)上均連接一個(gè)輸出泵(7)，在所述第一螺旋管(13.1)和第二螺旋管(8.1)的末端均封堵且在管壁上均設(shè)有一組開孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種化學(xué)液混合裝置，其特征在于:所述螺旋出氣管(5)設(shè)置在第二螺旋管(8.1)的螺旋內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種化學(xué)液混合裝置，其特征在于:所述化學(xué)液儲(chǔ)罐(I)的側(cè)面連接一組用于感測(cè)化學(xué)液的液位傳感器(14)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種化學(xué)液混合裝置，其特征在于:所述液位傳感器(14)連接在所述化學(xué)液儲(chǔ)罐(I)的同一側(cè)面，且任意上、下相鄰的兩個(gè)液位傳感器(14)之間的距離相等。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種化學(xué)液混合裝置，其特征在于:所述化學(xué)液混合罐(2)的側(cè)面連接一組用于感測(cè)化學(xué)液的液位傳感器(14)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種化學(xué)液混合裝置，其特征在于:所述液位傳感器(14)連接在所述化學(xué)液混合罐(2)的同一側(cè)面，且任意上、下相鄰的兩個(gè)液位傳感器(14)之間的距離相等。
7.根據(jù)權(quán)利要求1、2、4或6所述的一種化學(xué)液混合裝置，其特征在于:所述化學(xué)液返回管(10)和化學(xué)液回收管(11)的出液口均設(shè)置在所述化學(xué)液混合罐(2)內(nèi)的底部。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種化學(xué)液混合裝置，其特征在于：包括連接注入管和輸出管的化學(xué)液儲(chǔ)罐，化學(xué)液儲(chǔ)罐通過(guò)第二輸入管連接化學(xué)液混合罐，在化學(xué)液混合罐內(nèi)設(shè)有連接氣源且側(cè)壁設(shè)有出氣孔的螺旋出氣管，化學(xué)液混合罐分別連接化學(xué)液返回管和化學(xué)液回收管，化學(xué)液混合罐通過(guò)第一輸入管連接從補(bǔ)充液緩沖罐，設(shè)置在第二輸入管和第一輸入管上均連接輸出泵，在第一螺旋管和第二螺旋管的末端均封堵且在管壁上均設(shè)有一組開孔。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)：本裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，成本低，可以有效解決現(xiàn)有半導(dǎo)體工藝設(shè)備中存在的補(bǔ)液不均勻問題，它混料均勻，混料速度快。
【IPC分類】B01F13-10, B01F13-02, B01F3-08
【公開號(hào)】CN204307587
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420784878
【發(fā)明人】胡敬毅
【申請(qǐng)人】胡敬毅
【公開日】2015年5月6日
【申請(qǐng)日】2014年12月12日