技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型提供一種稀有氣體干燥提純裝置，該裝置包括依次連接的氣瓶組、氣液分離模塊、干燥凈化模塊、稀有氣體檢漏模塊和用于對(duì)稀有氣體進(jìn)行高度提純的稀有氣體提純模塊，稀有氣體提純模塊的進(jìn)氣口與干燥凈化模塊的純化氣出口連通，稀有氣體提純模塊的出氣口以及所述稀有氣體檢漏模塊的出氣口分別與氣液分離模塊的進(jìn)氣口氣瓶組連通。本實(shí)用新型可以有效提高稀有氣體的純度，確保使用過(guò)程中稀有氣體的純度≥98％，同時(shí)本實(shí)用新型能提高稀有氣體使用效率5倍以上，還能提高設(shè)備使用壽命。

技術(shù)研發(fā)人員：李大明;段廣厚
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無(wú)錫聯(lián)合超濾凈化設(shè)備科技有限公司;西安聯(lián)合超濾凈化設(shè)備有限公司
文檔號(hào)碼：201720105263
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.26
技術(shù)公布日：2017.08.29