本發(fā)明涉及，尤其涉及一種三甲基鎵的精餾系統(tǒng)壓力平衡裝置。

背景技術(shù)：

高純?nèi)谆壍冉饘儆袡C(jī)化合物，是金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積技術(shù)(mocvd)、化學(xué)束外延(cbe)過程中生長光電子材最重要、用量最大的原料，廣泛應(yīng)用于生長氮化鎵(gan)，銦鎵砷氮(ingaasn)、銦鎵磷(ingap)等化合物半導(dǎo)體薄膜材料。純凈的三甲基鎵在室溫下為液體，當(dāng)用于mocvd時(shí)需要將三甲基鎵封裝在特殊設(shè)計(jì)制造的不銹鋼瓶內(nèi)，然后控制鋼瓶溫度，使其蒸汽氣壓達(dá)到一定值，再通過持續(xù)流動(dòng)的載氣，將在使用溫度下氣-液平衡狀態(tài)下氣相中的三甲基鎵帶入mocvd或cbe生長系統(tǒng)，現(xiàn)有的三甲基鎵的精餾系統(tǒng)中不能很好的控制壓力平衡，導(dǎo)致三甲基鎵精餾后的效果不好，設(shè)備復(fù)雜，使用不方便，安全性低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

基于背景技術(shù)存在的技術(shù)問題，本發(fā)明提出了一種三甲基鎵的精餾系統(tǒng)壓力平衡裝置。

本發(fā)明提出的一種三甲基鎵的精餾系統(tǒng)壓力平衡裝置，包括本體，所述本體包括前餾分裝置、成品裝置、返工裝置和分裝裝置，所述前餾分裝置包括餾分冷凝器和第一液封裝置，且餾分冷凝器和第一液封裝置之間通過管道連通，所述第一液封裝置的出口處通過第一氣管和第二氣管連接第一氣罐的進(jìn)氣口，所述第一氣管上安裝有壓力傳感器和第一電磁閥，且第二氣管上安裝有第二電磁閥，所述第一氣罐的出口處通過管道連接有第一冷肼和第二冷肼，且第一氣灌和第一冷肼的管道上安裝有第三電磁閥，所述第一氣罐的出口處通過管道連接有第二液封裝置，且第一氣灌和第二液封裝置之間的管道上安裝有第七電磁閥，所述第二液封裝置的末端通過管道連接淋洗塔，所述成品裝置中包括成品冷凝器，且成品冷凝器通過管道與第一液封裝置連通；

所述返工裝置包括返工冷凝器、返工氣罐、返工第一液封裝置和返工第二液封裝置，所述返工冷凝器的出口處通過管道連接返工氣罐，且返工氣罐的出口處通過管道連接返工第一液封裝置，所述返工第一液封裝置的出口處通過第一通氣管連接返工第二液封裝置，且第一通氣管上安裝有壓力傳感器和第四電磁閥，所述第二液封裝置的末端通過管道連接淋洗塔；

所述分裝裝置包括分裝冷凝器、分裝氣罐、分裝第一液封裝置和分裝第二液封裝置，所述分裝冷凝器的出口處設(shè)有分裝氣罐，且分裝氣罐的末端安裝有第一液封裝置，所述第一液封裝置的出口處通過第二通氣管連接有分裝第二液封裝置，且第二通氣管上安裝有壓力傳感器和第五電磁閥，所述分裝第二液封裝置的末端通過管道連接淋洗塔，且淋洗塔的進(jìn)口處安裝有壓力傳感器和第六電磁閥。

優(yōu)選地，所述第一氣罐的上端連接有壓力傳感器。

優(yōu)選地，所述第六電磁閥連接的管道為φ45不銹鋼管，且第一電磁閥、第二電磁閥、第三電磁閥、第四電磁閥、第五電磁閥和第七電磁閥連接的管道為φ19不銹鋼管道。

本發(fā)明中的有益效果：該發(fā)明在于自動(dòng)控制精餾過程中的反應(yīng)體系中的壓力平衡，使精餾生產(chǎn)過程中，操作更加簡易并增加了安全性，同時(shí)避免了接收前餾分時(shí)對(duì)成品的污染，在精餾過程中，系統(tǒng)壓力通過管道傳遞到壓力平衡裝置，壓力平衡裝置根據(jù)設(shè)定的程序，自動(dòng)控制系統(tǒng)的閥門開關(guān)，從而達(dá)到控制精餾系統(tǒng)的壓力平衡，該裝置中設(shè)有七個(gè)電磁閥分別安裝在不同階段的設(shè)備上，分段控制壓力，同時(shí)該裝置上設(shè)有五個(gè)壓力傳感器，能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)控整個(gè)過程的壓力情況，便于及時(shí)控制壓力平衡，操作簡單方便，省時(shí)省力，工作效率高。

附圖說明

附圖用來提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與本發(fā)明的實(shí)施例一起用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的限制。在附圖中：

圖1為本發(fā)明提出的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1第一液封裝置、2第一氣罐、3本體、31前餾分裝置、32成品裝置、33返工裝置、34分裝裝置、4第一冷肼、5第二冷肼、6返工氣罐、7返工第一液封裝置、8返工第二液封裝置、9分裝氣罐、10分裝第一液封裝置、11分裝第二液封裝置、12第一電磁閥、13第二電磁閥、14第三電磁閥、15第四電磁閥、16第五電磁閥、17第六電磁閥、18第七電磁閥、19壓力傳感器、20第二液封裝置、21餾分冷凝器、22成品冷凝器、23返工冷凝器、24分裝冷凝器、25第一氣管、26第二氣管、27第一通氣管、28第二通氣管。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步解說。

一種三甲基鎵的精餾系統(tǒng)壓力平衡裝置，包括本體3，所述本體3包括前餾分裝置31、成品裝置32、返工裝置33和分裝裝置34，所述前餾分裝置31包括餾分冷凝器21和第一液封裝置1，且餾分冷凝器21和第一液封裝置1之間通過管道連通，所述第一液封裝置1的出口處通過第一氣管25和第二氣管26連接第一氣罐2的進(jìn)氣口，所述第一氣管25上安裝有壓力傳感器19和第一電磁閥12，且第二氣管26上安裝有第二電磁閥13，所述第一氣罐2的出口處通過管道連接有第一冷肼4和第二冷肼5，且第一氣灌2和第一冷肼4的管道

上安裝有第三電磁閥14，所述第一氣罐2的出口處通過管道連接有第二液封裝置20，且第一氣灌2和第二液封裝置20之間的管道上安裝有第七電磁閥18，所述第二液封裝置20的末端通過管道連接淋洗塔，所述成品裝置32中包括成品冷凝器22，且成品冷凝器22通過管道與第一液封裝置1連通；

所述返工裝置33包括返工冷凝器23、返工氣罐6、返工第一液封裝置7和返工第二液封裝置8，所述返工冷凝器23的出口處通過管道連接返工氣罐，6且返工氣罐6的出口處通過管道連接返工第一液封裝置7，所述返工第一液封裝置7的出口處通過第一通氣管27連接返工第二液封裝置8，且第一通氣管27上安裝有壓力傳感器19和第四電磁閥15，所述返工第二液封裝置8的末端通過管道連接淋洗塔；

所述分裝裝置34包括分裝冷凝器24、分裝氣罐9、分裝第一液封裝置10和分裝第二液封裝置11，所述分裝冷凝器24的出口處設(shè)有分裝氣罐9，且分裝氣罐9的末端安裝有第一液封裝置10，所述第一液封裝置10的出口處通過第二通氣管28連接有分裝第二液封裝置11，且第二通氣管28上安裝有壓力傳感器19和第五電磁閥16，所述分裝第二液封裝置11的末端通過管道連接淋洗塔，且淋洗塔的進(jìn)口處安裝有壓力傳感器19和第六電磁閥17。

所述第一氣罐2的上端連接有壓力傳感器19，所述第六電磁閥連17接的管道為φ45不銹鋼管，且第一電磁閥12、第二電磁閥13、第三電磁閥14、第四電磁閥15、第五電磁閥16和第七電磁閥18連接的管道為φ19不銹鋼管道

工作流程：前餾分裝置31和成品裝置32中反應(yīng)生成的氣體經(jīng)過第一液封裝置1，當(dāng)?shù)谝粴夤?5上的壓力值0mbar時(shí)，第一電磁閥12自動(dòng)關(guān)閉，當(dāng)?shù)谝粴夤?5上的壓力值為10mbar時(shí)，第一電磁閥12自動(dòng)打開氣體進(jìn)入到第一氣罐2中，當(dāng)?shù)谝粴夤?上的壓力值為0mbar時(shí)第二電磁閥13打開，當(dāng)?shù)谝粴夤?上的壓力值為10mbar時(shí)第二電磁閥13關(guān)閉，當(dāng)?shù)谝粴夤?上的壓力值小于0mbar時(shí)，第七電磁閥18關(guān)閉，當(dāng)?shù)谝粴夤?上的壓力值大于10mbar時(shí)，第七電磁閥18打開，當(dāng)?shù)谝粴夤?上的壓力值大于200mbar時(shí)，第三電磁閥14打開氣體進(jìn)入到第一冷肼4和第二冷肼5中，且第七電磁閥18關(guān)閉，當(dāng)?shù)谝粴夤?上的壓力值小于100mbar時(shí)，第三電磁閥14關(guān)閉，且第七電磁閥18打開，氣體進(jìn)入到第二液封裝置20，當(dāng)淋洗塔上的壓力傳感器19檢測(cè)到壓力值大于100mbar時(shí)，第六電磁閥17關(guān)閉，當(dāng)淋洗塔上的壓力傳感器19檢測(cè)到壓力值小于20mbar時(shí)，第六電磁閥17打開，當(dāng)?shù)谝煌夤?7上的壓力值小于0mbar，第四電磁閥15關(guān)閉，第一通氣管27上的壓力值為10mbar，第四電磁閥15打開，第二通氣管28上的壓力值小于0mbar，第五電磁閥16關(guān)閉，第二通氣管28上的壓力值為10mbar，第五電磁閥16打開，分段控制不同裝置中的壓力，通過五個(gè)壓力傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)控整個(gè)壓力過程，及時(shí)控制壓力平衡。

以上所述，僅為本發(fā)明較佳的具體實(shí)施方式，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案及其發(fā)明構(gòu)思加以等同替換或改變，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。