1.一種用于單晶生長(zhǎng)爐的真空除塵設(shè)備，其安裝在單晶爐真空管道與真空泵之間，能有效過(guò)濾拉晶過(guò)程中產(chǎn)生的揮發(fā)物，實(shí)現(xiàn)在線(xiàn)清灰，降低真空油的污染，極大的延長(zhǎng)了真空泵的連續(xù)工作時(shí)間從而延長(zhǎng)了單晶爐連續(xù)運(yùn)行時(shí)間。
2.依據(jù)權(quán)利要求1所述的用于單晶生長(zhǎng)爐的真空除塵設(shè)備，其特征在于，其包括除塵器罐體、自動(dòng)清灰裝置、除塵器過(guò)濾袋、防燃燒冷卻器、側(cè)開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)及控制系統(tǒng)；除塵器罐體內(nèi)部安裝除塵器過(guò)濾布袋和自動(dòng)清灰裝置，并能夠在內(nèi)部2帕負(fù)壓條件長(zhǎng)時(shí)間正常工作；除塵器罐體罐體底部安裝進(jìn)氣口，頂部安裝出氣口，通過(guò)除塵器過(guò)濾布袋過(guò)濾單晶爐排出的粉塵，除塵器過(guò)濾布袋與自動(dòng)清灰裝置和連接，通過(guò)控制柜控制依次抖動(dòng)除塵器過(guò)濾布袋，避免同時(shí)運(yùn)行對(duì)爐壓造成影響，保證了單晶硅的正常生長(zhǎng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于單晶生長(zhǎng)爐的真空除塵設(shè)備，其特征在于，
1)自動(dòng)清灰裝置：用于清理除塵器過(guò)濾袋吸附的粉塵顆粒，電磁線(xiàn)圈通電時(shí)，電磁線(xiàn)圈產(chǎn)生電磁力把除塵器過(guò)濾布袋壓縮，使除塵器過(guò)濾布袋內(nèi)粉塵產(chǎn)生振動(dòng)；斷電時(shí)，電磁力消失，彈簧把線(xiàn)圈鐵芯拉回原位，振動(dòng)除塵器過(guò)濾布袋抻直，使除塵器過(guò)濾布袋內(nèi)粉塵產(chǎn)生再次振動(dòng)；
3)除塵器過(guò)濾袋：用于過(guò)濾單晶爐排出的粉塵，PTFE覆膜除塵器過(guò)濾布袋，過(guò)濾效率≥99.99％；
4)防燃燒冷卻器：能夠收集管道內(nèi)易燃性粉塵，防止易燃性粉塵進(jìn)入除塵罐內(nèi)，防止濾袋燃燒，防燃燒冷卻器采用迷宮式粉塵冷卻，吸附易燃燒粉塵，防止易燃燒粉塵進(jìn)入除塵罐內(nèi)，易燃燒粉塵過(guò)濾效率達(dá)到95％以上；
5)側(cè)開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)：用于現(xiàn)場(chǎng)更換除塵器過(guò)濾布袋及除塵器過(guò)濾布袋檢查清灰維護(hù)，方便維護(hù)檢修門(mén)；
6)控制系統(tǒng)：用于控制除塵系統(tǒng)的正常運(yùn)轉(zhuǎn)，對(duì)主機(jī)電磁線(xiàn)圈和自動(dòng)泄壓閥進(jìn)行控制。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于單晶生長(zhǎng)爐的真空除塵設(shè)備，其特征在于，除塵器罐體(1-1)為圓筒型結(jié)構(gòu)，在罐體(1-1)的底面(1-7)安裝有四個(gè)方形地腳(1-6)，底面(1-7)上方是盛灰室(3-1)，盛灰室(3-1)將除塵器內(nèi)所有粉塵收集到里邊；盛灰室(3-1)側(cè)壁設(shè)有進(jìn)氣口(1-2)，進(jìn)氣口(1-2)接口尺寸與單晶真空爐管路出口相配合，并用螺栓(1-8)連接，在盛灰室(3-1)的另一個(gè)側(cè)壁設(shè)部清灰口(1-3)，清灰口(1-3)一側(cè)用折頁(yè)(1-9)進(jìn)行連接，使設(shè)備清灰更方便,清灰口(1-3)四周用蝶形螺母(1-10)把緊，清灰口(1-3)左側(cè)焊接1個(gè)把手(1-11)，方便清灰，清灰口(1-3)與進(jìn)氣口(1-2)與清灰口(1-3)成90度夾角設(shè)計(jì)，在罐體(1-1)的下部與盛灰室(3-1)之間有一個(gè)花板(3-2)，花板(3-2)是用于安裝除塵器過(guò)濾布袋的連接口，該花板(3-2)將罐體(1-1)分割為上部過(guò)濾室(3-3)及下部盛灰室(3-1)，花板(3-2)上端與除塵器過(guò)濾袋(3-4)下端相連，在殼體的上部設(shè)有出氣口(1-4)、出氣口(1-4)位置在進(jìn)氣口(1-2)的斜上方，使進(jìn)氣與出氣更通暢，出氣口(1-4)尺寸與真空泵管路接口尺寸相配合，并用螺栓(1-8)連接，罐體(1-1)側(cè)面焊接J型吊耳(1-15)方便設(shè)備運(yùn)輸和拆裝，罐體(1-1)上方設(shè)有法蘭(1-14)和上蓋(1-12)，法蘭(1-14)和上蓋(1-12)之間用螺栓(1-13)連接，上蓋(1-12)上面設(shè)有壓力表(3-5)，用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)罐體內(nèi)部壓力，壓力表(3-5)旁邊設(shè)有自動(dòng)泄壓閥(3-6)保證設(shè)備運(yùn)行平穩(wěn),設(shè)備整體運(yùn)行由控制系統(tǒng)(1-5)進(jìn)行控制，上蓋(1-12)上方有拉筋(2-2)和吊環(huán)螺釘(2-3)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于單晶生長(zhǎng)爐的真空除塵設(shè)備，其特征在于，自動(dòng)清灰裝置內(nèi)腔設(shè)有多組電磁振動(dòng)器，電磁振動(dòng)器內(nèi)部采用電磁線(xiàn)圈(4-1)結(jié)構(gòu)，通過(guò)通斷線(xiàn)圈產(chǎn)生吸力原理，使線(xiàn)圈鐵芯(4-4)可以在線(xiàn)圈內(nèi)部活動(dòng)，鐵芯(4-4)上方是一個(gè)可以活動(dòng)的彈簧(4-3)，鐵芯(4-4)底部連接一根推桿(4-5)，推桿(4-5)下方用螺栓(4-6)固定，電磁線(xiàn)圈(4-1)上方用端蓋(4-7)密封，端蓋(4-7)四周用螺栓(4-8)把緊，電磁線(xiàn)圈(4-1)采用真空環(huán)氧灌注技術(shù)，使線(xiàn)圈絕緣達(dá)到H級(jí)，耐壓2000V以上，使線(xiàn)圈在工作溫度100℃工作環(huán)境達(dá)到同樣的振動(dòng)清灰效果；電磁線(xiàn)圈(4-1)沒(méi)有通電時(shí)，套在鐵芯(4-4)上的彈簧(4-3)會(huì)將鐵芯移出線(xiàn)圈中心位置，當(dāng)電磁線(xiàn)圈(4-1)將通電時(shí)，電磁線(xiàn)圈產(chǎn)生電磁力彈簧(4-3)壓縮，使鐵芯歸位，這樣連接在鐵芯(4-4)底部的推桿就會(huì)向下移動(dòng)，把底部除塵器過(guò)濾布袋(3-4)壓縮，斷電時(shí)，電磁力消失，彈簧(4-3)把線(xiàn)圈鐵芯拉回原位，振動(dòng)除塵器過(guò)濾布袋抻直，使除塵器過(guò)濾布袋內(nèi)粉塵產(chǎn)生振動(dòng)，這樣使電磁線(xiàn)圈反復(fù)通電和斷電，來(lái)回運(yùn)動(dòng)，使電磁推桿反復(fù)動(dòng)作，實(shí)現(xiàn)除塵器過(guò)濾布袋的自動(dòng)清灰功能。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于單晶生長(zhǎng)爐的真空除塵設(shè)備，其特征在于，除塵器過(guò)濾布袋用于過(guò)濾單晶爐排出的粉塵，除塵器過(guò)濾袋(5-2)采用PTFE覆膜材料，PTFE即聚四氟乙烯；除塵器過(guò)濾布袋除塵器的工作機(jī)理是含塵煙氣通過(guò)過(guò)濾材料，塵粒被過(guò)濾下來(lái)，過(guò)濾材料捕集粗粒粉塵主要靠慣性碰撞作用，捕集細(xì)粒粉塵主要靠擴(kuò)散和篩分作用，除塵器過(guò)濾布袋的上部設(shè)有安裝環(huán)(5-1)，與設(shè)備自動(dòng)清灰裝置(2-1)相連，下端設(shè)有環(huán)顧與設(shè)備花板(3-2)密封，使除塵器過(guò)濾布袋內(nèi)部與外部形成兩個(gè)腔體。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于單晶生長(zhǎng)爐的真空除塵設(shè)備，其特征在于，冷卻器外部采用水套(6-1)循環(huán)將腔內(nèi)粉塵降溫，冷卻器整體采用圓柱形罐體結(jié)構(gòu)；冷卻器罐體一端與單晶爐出塵口管道相配合，接口處用螺栓(6-6)連接，另一端安裝一個(gè)清灰門(mén)(6-3)；冷卻器罐體內(nèi)部采用迷宮式濾芯(6-2)，迷宮式濾芯(6-2)外尺寸與圓柱形罐體相配合，清灰時(shí)，將清灰門(mén)打開(kāi)，濾芯從清灰門(mén)(6-3)口取出，將濾芯吸附的易燃燒粉塵清理干凈，防止易燃燒粉塵進(jìn)入除塵罐內(nèi)，清灰門(mén)(6-3)采用O型圈進(jìn)行密封，罐體底部支撐架(6-4)結(jié)構(gòu)為2個(gè)立起的槽鋼結(jié)構(gòu)，將冷卻器固定在地面上，出灰口(6-5)與除塵器罐體的進(jìn)灰口(1-3)對(duì)接。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于單晶生長(zhǎng)爐的真空除塵設(shè)備，其特征在于，其采用兩組側(cè)開(kāi)門(mén)(7-1)結(jié)構(gòu)，側(cè)開(kāi)門(mén)(7-1)為圓形結(jié)構(gòu)，與設(shè)備罐體(1-1)相貫焊接，在筒體(7-3)兩側(cè)對(duì)稱(chēng)焊接，側(cè)面有折頁(yè)支撐架(7-2)，門(mén)板上有兩個(gè)把手(7-4)，側(cè)開(kāi)門(mén)(7-1)四周用螺栓(7-5)與罐體連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于單晶生長(zhǎng)爐的真空除塵設(shè)備，其特征在于，控制系統(tǒng)包括主回路和控制回路，主回路由現(xiàn)場(chǎng)三相交流電源電壓經(jīng)過(guò)斷路器QF1的主觸點(diǎn)、隔離變壓器TC1之后通過(guò)交流接觸器KM1、KM2、KM3的常開(kāi)觸點(diǎn)連接到整流模塊VC1、VC2、VC3輸入端，整流模塊VC1、VC2、VC3輸出直流電壓給勵(lì)磁線(xiàn)圈YA1、YA2、YA3供電；控制回路由變壓器TC1次級(jí)輸出端經(jīng)過(guò)熔斷器FU1后分成三路，經(jīng)繼電器KA2的常開(kāi)觸點(diǎn)及KA1的常開(kāi)觸點(diǎn)并聯(lián)后接電磁開(kāi)關(guān)Y1；經(jīng)轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)SA1后分為二路，一路經(jīng)按鈕SB1、按鈕SB2與繼電器KA1常開(kāi)觸點(diǎn)并聯(lián)后連接繼電器KA1的線(xiàn)圈；另一路經(jīng)繼電器KA1常開(kāi)觸點(diǎn)與集控信號(hào)S1的常閉點(diǎn)與常開(kāi)點(diǎn)之后接繼電器KA2線(xiàn)圈。最后一路通過(guò)電源指示HL1、1#勵(lì)磁指示KM1的線(xiàn)圈、1#勵(lì)磁運(yùn)行指示燈HL2、2#勵(lì)磁運(yùn)行KM2的線(xiàn)圈、2#勵(lì)磁運(yùn)行指示燈HL3、3#勵(lì)磁運(yùn)行KM3的線(xiàn)圈以及3#勵(lì)磁運(yùn)行指示燈HL4并聯(lián)后與PLC相連接。