本實(shí)用新型屬于環(huán)保裝置技術(shù)領(lǐng)域,具體而言,本實(shí)用新型涉及一種便攜式多組分氣體稀釋裝置,用于在污染源現(xiàn)場(chǎng)、實(shí)驗(yàn)室等場(chǎng)地發(fā)生特定濃度單組份或多組分混合氣體裝置,尤其適用于以高純氮或潔凈空氣作為背景氣的分氣體稀釋。
背景技術(shù):
污染源排放廢氣監(jiān)測(cè)管理中會(huì)使用標(biāo)準(zhǔn)濃度氣體對(duì)監(jiān)測(cè)裝置或系統(tǒng)的線性、漂移、準(zhǔn)確性等性能參數(shù)進(jìn)行測(cè)試質(zhì)控管理,現(xiàn)有通常情況下標(biāo)準(zhǔn)濃度氣體都采用鋼瓶氣,而隨著發(fā)電機(jī)組超低排放改造的逐步推廣,污染源特別是燃煤電廠廢氣濃度降至超低限值,如SO2:35mg/Nm3、NOx:50mg/Nm3?,F(xiàn)場(chǎng)就需要低濃度的標(biāo)準(zhǔn)氣體對(duì)超低排放系統(tǒng)進(jìn)行質(zhì)控管理,而配置瓶裝低濃度氣體存在制備難度大、成本高、穩(wěn)定性差以及現(xiàn)場(chǎng)攜帶不便等問題。若使用便攜式氣體稀釋裝置,即可按照現(xiàn)場(chǎng)需要以配置出不同濃度氣體,滿足現(xiàn)場(chǎng)不同濃度標(biāo)準(zhǔn)氣的需求。
現(xiàn)有標(biāo)準(zhǔn)氣體稀釋裝置多采用兩路質(zhì)量流量控制器來實(shí)現(xiàn),原理為采用一路高純氮或壓縮空氣為背景氣對(duì)另一路已知高濃度氣體進(jìn)行比例稀釋,得到特定濃度氣體。此類氣體稀釋裝置存在功能單一、抗干擾能力差、便攜性差、配置精度低、流量計(jì)漂移大、操作不便等問題。
因此,需要提供一種針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)不足的改進(jìn)技術(shù)方案。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本實(shí)用新型的目的在于提供一種便攜式多組分氣體稀釋裝置,以至少解決現(xiàn)有技術(shù)中標(biāo)準(zhǔn)氣體稀釋裝置存在的便攜性能差的技術(shù)問題,同時(shí)能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的操作不便的技術(shù)問題。
為了解決上述問題,本實(shí)用新型提供一種便攜式多組分氣體稀釋裝置,其技術(shù)方案如下:
一種便攜式多組分氣體稀釋裝置,包括稀釋管路,用于輸送稀釋氣體;第一待稀釋管路,用于輸送第一待稀釋氣體;第二待稀釋管路,用于輸送第二待稀釋氣體;在所述第一待稀釋管路上設(shè)有第二兩位三通電磁閥,所述第二兩位三通電磁閥的第一連接口和第二連接口均連接在所述第一待稀釋管路上;在所述第二待稀釋管路上設(shè)有第三兩位三通電磁閥,所述第三兩位三通電磁閥的第一連接口和第二連接口均連接在所述第二待稀釋管路上;在所述稀釋管路上設(shè)有分流三通閥,所述分流三通閥的第一連接口和第二連接口均連接在所述稀釋管路上,所述分流三通閥的第三連接口通過第一支路連接到所述第三兩位三通電磁閥的第三連接口上;在所述第一支路上設(shè)有匯流三通閥,所述匯流三通閥的第一連接口和第二連接口均連接在所述第一支路上,所述匯流三通閥的第三連接口通過第二支路連接到所述第二兩位三通電磁閥的第三連接口上;在所述稀釋管路上設(shè)有第一質(zhì)量流量計(jì),在所述第一待稀釋管路上設(shè)有第二質(zhì)量流量計(jì),在所述第二待稀釋管路上設(shè)有第三質(zhì)量流量計(jì);所述稀釋管路、所述第一待稀釋管路和所述第二待稀釋管路的尾端匯流在出口管路上通過標(biāo)準(zhǔn)氣出口輸出。
如上述的便攜式多組分氣體稀釋裝置,進(jìn)一步優(yōu)選為:還包括深冷加熱控溫恒溫盒,對(duì)所述第一質(zhì)量流量計(jì)、所述第二質(zhì)量流量計(jì)和所述第三質(zhì)量流量計(jì)進(jìn)行恒溫控制。
如上述的便攜式多組分氣體稀釋裝置,進(jìn)一步優(yōu)選為:還包括空氣管路;空氣干燥裝置,安裝在所述空氣管路的首端;過濾器,安裝在所述空氣管路上并位于所述空氣干燥裝置的后方;高壓抽氣泵,安裝在所述空氣管路上并位于所述過濾器的后方;和第一兩位三通電磁閥,安裝在所述稀釋管路上,所述第一兩位三通電磁閥的第一連接口和第二連接口均連接在所述稀釋管路上,所述空氣管路的尾端連接到所述第一兩位三通電磁閥的第三連接口上。
如上述的便攜式多組分氣體稀釋裝置,進(jìn)一步優(yōu)選為:所述第一兩位三通電磁閥位于所述分流三通閥的前方。
如上述的便攜式多組分氣體稀釋裝置,進(jìn)一步優(yōu)選為:還包括標(biāo)準(zhǔn)流量發(fā)生裝置,分別與所述第一質(zhì)量流量計(jì)、所述第二質(zhì)量流量計(jì)和所述第三質(zhì)量流量計(jì)相連,用于實(shí)現(xiàn)所述第一質(zhì)量流量計(jì)、所述第二質(zhì)量流量計(jì)和所述第三質(zhì)量流量計(jì)的校準(zhǔn)。
如上述的便攜式多組分氣體稀釋裝置,進(jìn)一步優(yōu)選為:還包括混氣裝置,安裝在所述出口管路上,用于將氣體混合均勻。
如上述的便攜式多組分氣體稀釋裝置,進(jìn)一步優(yōu)選為:所述混氣裝置為強(qiáng)擾流匯流罐。
如上述的便攜式多組分氣體稀釋裝置,進(jìn)一步優(yōu)選為:所述強(qiáng)擾流匯流罐包括罐體,用于提供容納空間;進(jìn)氣管,位于所述罐體前側(cè)的側(cè)壁下部位置;出氣管,位于所述罐體后側(cè)的側(cè)壁上部位置;第一擾流板,安裝在所述罐體內(nèi),所述第一擾流板的前壁與罐體的前側(cè)內(nèi)壁貼合,所述第一擾流板的后壁與罐體的后側(cè)內(nèi)壁之間形成過氣通道,氣體由第一擾流板與罐體之間的過氣通道向上流動(dòng);和第二擾流板,安裝在所述罐體內(nèi)并位于所述第一擾流板的上方,第二擾流板的后壁與罐體的后側(cè)內(nèi)壁貼合,第二擾流板的前壁與罐體的前側(cè)內(nèi)壁之間形成過氣通道,氣體由第二擾流板與罐體之間的過氣通道向上流動(dòng)。
如上述的便攜式多組分氣體稀釋裝置,進(jìn)一步優(yōu)選為:還包括第一調(diào)壓閥,設(shè)置在所述稀釋管路上,并位于所述第一兩位三通電磁閥的前方,用于調(diào)壓;第二調(diào)壓閥,設(shè)置在所述第一待稀釋管路上,并位于所述第二兩位三通電磁閥的前方,用于調(diào)壓;第三調(diào)壓閥,設(shè)置在所述第二待稀釋管路上,并位于所述第三兩位三通電磁閥的前方,用于調(diào)壓。
如上述的便攜式多組分氣體稀釋裝置,進(jìn)一步優(yōu)選為:還包括第一流量計(jì)前恒壓裝置,設(shè)置在所述稀釋管路上,并位于所述第一質(zhì)量流量計(jì)的前方;第二流量計(jì)前恒壓裝置,設(shè)置在所述第一待稀釋管路上,并位于所述第二質(zhì)量流量計(jì)的前方;第三流量計(jì)前恒壓裝置,設(shè)置在所述第二待稀釋管路上,并位于所述第三質(zhì)量流量計(jì)的前方。
分析可知,與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和有益效果在于:本實(shí)用新型具有集成度高,結(jié)構(gòu)緊湊,體積小和攜帶方便的優(yōu)點(diǎn)。本實(shí)用新型采用的深冷加熱控溫恒溫盒具有高精度恒溫控制功能,避免電氣路溫漂對(duì)配氣精度的影響;智能化程度高,采用工控平板作為主控器,穩(wěn)定度高;可實(shí)現(xiàn)多組分同時(shí)發(fā)生標(biāo)準(zhǔn)濃度,解決多組分交叉干擾的研究難題;自帶高壓抽氣泵作為采用泵,可以自產(chǎn)生潔凈空氣作為稀釋氣背景氣和全流程的防腐蝕吹掃,現(xiàn)場(chǎng)適應(yīng)性強(qiáng)。多質(zhì)量流量計(jì)配合也可實(shí)現(xiàn)單一組分寬稀釋比的配氣。
附圖說明
圖1為本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的便攜式多組分氣體稀釋裝置的框架示意圖;
圖2為本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的強(qiáng)擾流匯流罐的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖3為圖2的俯視圖;
圖4為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例的外殼的框架示意圖;
圖中:1-稀釋氣體;2-第一待稀釋氣體;3-第二待稀釋氣體;41-第一調(diào)壓閥;42-第二調(diào)壓閥;43-第三調(diào)壓閥;51-第一兩位三通電磁閥;52-第二兩位三通電磁閥;53-第三兩位三通電磁閥;6-匯流三通閥;7-分流三通閥;81-第一質(zhì)量流量計(jì);82-第二質(zhì)量流量計(jì);83-第三質(zhì)量流量計(jì);91-第一流量計(jì)前恒壓裝置;91-第二流量計(jì)前恒壓裝置;93-第三流量計(jì)前恒壓裝置;10-強(qiáng)擾流匯流罐;101-進(jìn)氣管;102-出氣管;103-第一擾流板;104-第二擾流板;11-出氣恒壓裝置;12-空氣干燥裝置;13-過濾器;14-高壓抽氣泵;15-深冷加熱控溫恒溫盒;16-標(biāo)準(zhǔn)氣出口;17-外殼。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)說明。需要說明的是,在不沖突的情況下,本實(shí)用新型中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。
在本實(shí)用新型的描述中,術(shù)語(yǔ)“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系,僅是為了便于描述本實(shí)用新型而不是要求本實(shí)用新型必須以特定的方位構(gòu)造和操作,因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。本實(shí)用新型中使用的術(shù)語(yǔ)“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解,例如,可以是固定連接,也可以是可拆卸連接;可以是直接相連,也可以通過中間部件間接相連,對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)的具體含義。
如圖1、圖2和圖3所示,本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的便攜式多組分氣體稀釋裝置主要包括稀釋管路(未圖示),用于輸送稀釋氣體1;第一待稀釋管路(未圖示),用于輸送第一待稀釋氣體2;第二待稀釋管路(未圖示),用于輸送第二待稀釋氣體3;在第一待稀釋管路上設(shè)有第二兩位三通電磁閥52,第二兩位三通電磁閥52的第一連接口和第二連接口均連接在第一待稀釋管路上;在第二待稀釋管路上設(shè)有第三兩位三通電磁閥53,第三兩位三通電磁閥53的第一連接口和第二連接口均連接在第二待稀釋管路上;在稀釋管路上設(shè)有分流三通閥7,分流三通閥7的第一連接口和第二連接口均連接在稀釋管路上,分流三通閥7的第三連接口通過第一支路連接到第三兩位三通電磁閥53的第三連接口上;在第一支路上設(shè)有匯流三通閥6,匯流三通閥6的第一連接口和第二連接口均連接在第一支路上,匯流三通閥6的第三連接口通過第二支路連接到第二兩位三通電磁閥52的第三連接口上;在稀釋管路上設(shè)有第一質(zhì)量流量計(jì)81,在第一待稀釋管路上設(shè)有第二質(zhì)量流量計(jì)82,在第二待稀釋管路上設(shè)有第三質(zhì)量流量計(jì)83;稀釋管路、第一待稀釋管路和第二待稀釋管路的尾端匯流在出口管路上通過標(biāo)準(zhǔn)氣出口16輸出。
總而言之,本實(shí)用新型提供的便攜式多組分氣體稀釋裝置通過設(shè)置多路待稀釋管路和稀釋氣體,如第一待稀釋氣體2為二氧化硫,第二待稀釋氣體3為一氧化氮,第三待稀釋氣體為其他,稀釋氣體1為高純氮或者啟動(dòng)采樣泵抽入空氣;這樣可以同時(shí)配置多種目標(biāo)濃度氣體;并可以同時(shí)配置多組分氣體,解決了煙氣檢測(cè)領(lǐng)域氣體交叉干擾的研究難題;再者本實(shí)用新型設(shè)置的匯流三通閥6和分流三通閥7結(jié)合稀釋氣體1為空氣時(shí),可以通過空氣對(duì)第一質(zhì)量流量計(jì)81、第二質(zhì)量流量計(jì)82和第三質(zhì)量流量計(jì)83進(jìn)行吹掃和校準(zhǔn);又能對(duì)第一待稀釋管路和第二待稀釋管路進(jìn)行清理。
為了能夠使質(zhì)量流量計(jì)處于適宜溫度范圍,如圖1所示,本實(shí)用新型還包括深冷加熱控溫恒溫盒15,對(duì)第一質(zhì)量流量計(jì)81、第二質(zhì)量流量計(jì)82和第三質(zhì)量流量計(jì)83及控制電路部分進(jìn)行恒溫控制。在本實(shí)用新型中,第一質(zhì)量流量計(jì)81、第二質(zhì)量流量計(jì)82和第三質(zhì)量流量計(jì)83位于同一豎直位置,即第一質(zhì)量流量計(jì)81、第二質(zhì)量流量計(jì)82和第三質(zhì)量流量計(jì)83呈并列排列且位于不同高度的同一豎直位置。本實(shí)用新型采用深度制冷加熱控溫技術(shù),對(duì)質(zhì)量流量計(jì)及控制電路部分采用窄幅恒溫控制,溫度控制精度可達(dá)0.1攝氏度,減少因不同區(qū)域溫差對(duì)電路造成的溫度漂移影響,使得質(zhì)量流量計(jì)工作時(shí)條件于校準(zhǔn)時(shí)條件一致,解決了溫度漂移對(duì)配氣精度的影響。
本實(shí)用新型采用數(shù)字通訊方式對(duì)第一質(zhì)量流量計(jì)81、第二質(zhì)量流量計(jì)82和第三質(zhì)量流量計(jì)83進(jìn)行流量設(shè)定和閉環(huán)反饋流量監(jiān)測(cè);具有控制精度更高、穩(wěn)定性更高,響應(yīng)更快速的特點(diǎn),數(shù)字通信方式在現(xiàn)場(chǎng)抗干擾型更強(qiáng),可實(shí)現(xiàn)在工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)復(fù)雜電磁干擾條件下長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定配氣;在本實(shí)用新型中,選用研華工控平板進(jìn)行數(shù)字通訊。
本實(shí)用新型在稀釋過程中,有時(shí)可以采用潔凈空氣作為稀釋氣體,或者利用潔凈空氣對(duì)本實(shí)用新型的全氣路進(jìn)行吹掃功能,基于此,如圖1所示,本實(shí)用新型還包括空氣管路(未圖示),空氣干燥裝置12,安裝在空氣管路的首端;過濾器13,安裝在空氣管路上并位于空氣干燥裝置12的后方;高壓抽氣泵14,安裝在空氣管路上并位于過濾器13的后方;和第一兩位三通電磁閥51,安裝在稀釋管路上,第一兩位三通電磁閥51的第一連接口和第二連接口均連接在稀釋管路上,空氣管路的尾端連接到第一兩位三通電磁閥51的第三連接口上。優(yōu)選為第一兩位三通電磁閥51位于分流三通閥7的前方。本實(shí)用新型配置高壓力抽氣泵14,可利用潔凈空氣作為背景氣進(jìn)行配氣稀釋或全氣路吹掃功能,①由于稀釋氣體主要以高純氮為背景氣,消耗量巨大,在不考慮氧氣條件下可使用空氣作為背景氣來稀釋目標(biāo)濃度氣;②配氣時(shí)往往是使用高濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體如SO2、NO等,都具有一定的腐蝕型,本實(shí)用新型將第一兩位三通電磁閥51設(shè)置在分流三通閥7的前方,在本實(shí)用新型使用結(jié)束后的可以進(jìn)行全流程潔凈空氣吹掃功能,避免殘留氣體對(duì)質(zhì)量流量計(jì)及各個(gè)管路造成腐蝕損傷。
在本實(shí)用新型中,還包括標(biāo)準(zhǔn)流量發(fā)生裝置(未圖示),分別與第一質(zhì)量流量計(jì)81、第二質(zhì)量流量計(jì)82和第三質(zhì)量流量計(jì)83相連,用于實(shí)現(xiàn)第一質(zhì)量流量計(jì)81、第二質(zhì)量流量計(jì)82和第三質(zhì)量流量計(jì)83的校準(zhǔn)。即實(shí)現(xiàn)質(zhì)量流量控制器軟件校準(zhǔn)功能,在硬件直接校準(zhǔn)不方便時(shí),可使用標(biāo)準(zhǔn)流量發(fā)生裝置與軟件結(jié)合進(jìn)行校準(zhǔn)。
為了能夠?qū)崿F(xiàn)不同流量下快速均勻混氣,確保發(fā)生的標(biāo)準(zhǔn)氣濃度均勻,如圖1所示,本實(shí)用新型還包括混氣裝置,安裝在出口管路上,用于將氣體混合均勻。如圖1所示,本實(shí)用新型的混氣裝置為強(qiáng)擾流匯流罐10。如圖2和圖3所示,優(yōu)選為,強(qiáng)擾流匯流罐10包括罐體,用于提供容納空間;進(jìn)氣管101,位于罐體前側(cè)的側(cè)壁下部位置;出氣管102,位于罐體后側(cè)的側(cè)壁上部位置;第一擾流板103,安裝在罐體內(nèi),第一擾流板103的前壁與罐體的前側(cè)內(nèi)壁貼合,第一擾流板103的后壁與罐體的后側(cè)內(nèi)壁之間形成過氣通道,氣體由第一擾流板103與罐體之間的過氣通道向上流動(dòng);和第二擾流板104,安裝在罐體內(nèi)并位于第一擾流板103的上方,第二擾流板104的后壁與罐體的后側(cè)內(nèi)壁貼合,第二擾流板104的前壁與罐體的前側(cè)內(nèi)壁之間形成過氣通道,氣體由第二擾流板104與罐體之間的過氣通道向上流動(dòng)。在本實(shí)用新型中,進(jìn)氣管101位于最下方,往上依次為第一擾流板103、第二擾流板104和出氣口102。為了能夠進(jìn)一步起到均勻的效果,本實(shí)用新型的進(jìn)氣管101所在的直線與罐體的中心線之間形成夾角,優(yōu)選夾角的角度為45°;同理本實(shí)用新型的出氣管102所在的直線與罐體的中心線之間形成夾角,優(yōu)選夾角的角度為45°。本實(shí)用新型的混氣裝置內(nèi)部采用強(qiáng)擾流結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)不同流量下快速均勻混氣,確保發(fā)生的標(biāo)準(zhǔn)氣濃度均勻。
為了便于對(duì)稀釋氣體1的壓力控制,如圖1所示,本實(shí)用新型還包括第一調(diào)壓閥41,設(shè)置在稀釋管路上,并位于第一兩位三通電磁閥51的前方,用于調(diào)壓。同理,本實(shí)用新型還包括第二調(diào)壓閥42,設(shè)置在第一待稀釋管路上,并位于第二兩位三通電磁閥52的前方,用于調(diào)壓。本實(shí)用新型還包括第三調(diào)壓閥43,設(shè)置在第二待稀釋管路上,并位于第三兩位三通電磁閥53的前方,用于調(diào)壓。
在稀釋氣體1進(jìn)入第一質(zhì)量流量計(jì)81之前,需要對(duì)稀釋氣體1進(jìn)行恒壓,基于此,如圖1所示,本實(shí)用新型還包括第一流量計(jì)前恒壓裝置91,設(shè)置在稀釋管路上,并位于第一質(zhì)量流量計(jì)81的前方。具體設(shè)置中,第一流量計(jì)前恒壓裝置91位于分流三通閥7的后方。同理,本實(shí)用新型還包括第二流量計(jì)前恒壓裝置92,設(shè)置在第一待稀釋管路上,并位于第二質(zhì)量流量計(jì)82的前方。本實(shí)用新型還包括第三流量計(jì)前恒壓裝置93,設(shè)置在第二待稀釋管路上,并位于第三質(zhì)量流量計(jì)83的前方。
為了能夠確保稀釋后的氣體處于穩(wěn)壓狀態(tài),如圖1所示,本實(shí)用新型還包括出氣恒壓裝置11,設(shè)置在出口管路上,并位于混氣裝置的后方。
本實(shí)用新型設(shè)置的匯流三通閥6和分流三通閥7可以實(shí)現(xiàn)通入標(biāo)氣的兩路質(zhì)量流量計(jì)組態(tài)使用,確保稀釋氣的配氣精度。
在實(shí)際運(yùn)用中,本實(shí)用新型的質(zhì)量流量計(jì)采用七星華創(chuàng)CS100系列數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì),量程分別為A為2L/min、B為500ml/min、C為2L/min,根據(jù)稀釋比于流量限制、此次稀釋運(yùn)算中只涉及到2L/min高純氮一路和500ml/min一路的二氧化硫參與稀釋;本實(shí)用新型使用的高濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體為6000mg/M3二氧化硫,背景氣為高純氮(99.999%);配置流量為1L/min、濃度為200mg/M3、100mg/M3、50mg/M3、25mg/M3;恒溫控制在25℃±0.1℃;使用江蘇計(jì)量院校準(zhǔn)合格后儀表作為基準(zhǔn)點(diǎn)。
如圖4所示,本實(shí)用新型還包括外殼17,用于容納調(diào)壓閥、兩位三通電磁閥、匯流三通閥、分流三通閥、質(zhì)量流量計(jì)、流量計(jì)前恒壓裝置、強(qiáng)擾流匯流罐、出氣恒壓裝置、空氣干燥裝置、過濾器、高壓抽氣泵、深冷加熱控溫恒溫盒;本實(shí)用新型在外殼17的頂端設(shè)有手提把手(未圖示)。本實(shí)用新型通過外殼17將其他部件容納其內(nèi),使本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)緊湊,體積小和攜帶方便的特點(diǎn)。
分析可知,與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和有益效果在于:本實(shí)用新型具有集成度高,結(jié)構(gòu)緊湊,體積小和攜帶方便的優(yōu)點(diǎn)。本實(shí)用新型采用的深冷加熱控溫恒溫盒15具有高精度恒溫控制功能,避免電氣路溫漂對(duì)配氣精度的影響;智能化程度高,采用工控平板作為主控器,穩(wěn)定度高;可實(shí)現(xiàn)多組分同時(shí)發(fā)生標(biāo)準(zhǔn)濃度,解決多組分交叉干擾的研究難題;自帶高壓抽氣泵14作為采用泵,可以自產(chǎn)生潔凈空氣作為稀釋氣背景氣和全流程的防腐蝕吹掃,現(xiàn)場(chǎng)適應(yīng)性強(qiáng)。多質(zhì)量流量計(jì)配合也可實(shí)現(xiàn)單一組分寬稀釋比的配氣。
由技術(shù)常識(shí)可知,本實(shí)用新型可以通過其它的不脫離其精神實(shí)質(zhì)或必要特征的實(shí)施方案來實(shí)現(xiàn)。因此,上述公開的實(shí)施方案,就各方面而言,都只是舉例說明,并不是僅有的。所有在本實(shí)用新型范圍內(nèi)或在等同于本實(shí)用新型的范圍內(nèi)的改變均被本實(shí)用新型包含。