本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種氣體管路。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體的制造過程中，大量的制程工藝中都會(huì)涉及氣體的運(yùn)用，相應(yīng)的，氣體管路在許多加工設(shè)備中也是一個(gè)必不可少的元件。例如，當(dāng)采用氣體作為反應(yīng)源時(shí)，則需配備相應(yīng)的氣體管路用于引進(jìn)氣體；或者，當(dāng)在制程中產(chǎn)生有尾氣時(shí)，則需配備相應(yīng)的氣體管路用于排出尾氣。其中，不論是在氣體的引進(jìn)過程或者尾氣的排出過程中，若此時(shí)氣體管路中出現(xiàn)堵塞，則都可能會(huì)擾亂工藝腔體中的氣體環(huán)境，進(jìn)而影響工藝參數(shù)的穩(wěn)定性。

尤其的，針對(duì)易產(chǎn)生凝結(jié)的氣體而言，由于所述氣體易于氣體管路中發(fā)生凝結(jié)并且析出的氣體凝結(jié)物會(huì)附著于管壁上，因此將更容易發(fā)生管路堵塞的現(xiàn)象。例如，在外延工藝中，通常需采用三氯硅烷(TCS)作為反應(yīng)源并于外延爐中進(jìn)行外延層的生長(zhǎng)。其中，外延層的生長(zhǎng)通常需在較高的溫度下進(jìn)行，例如為800～1100℃，因此，在執(zhí)行外延工藝的過程中，從外延爐中排放出的尾氣通常也具有較高的溫度。此外，從外延爐中排放出的尾氣中還包括部分未發(fā)生反應(yīng)的TCS氣體，而所述TCS氣體為極易發(fā)生凝結(jié)的氣體。因此，當(dāng)溫度較高的TCS氣體從尾氣管中排出時(shí)，極易于尾氣管中發(fā)生凝結(jié)而析出凝結(jié)物，并且凝結(jié)物在長(zhǎng)時(shí)間的堆積下會(huì)使尾氣管發(fā)生堵塞，從而影響外延爐中的氣體環(huán)境，并進(jìn)一步的對(duì)所形成的外延層的質(zhì)量造成影響。

為此，通常需在短期內(nèi)就對(duì)氣體管路進(jìn)行清潔保養(yǎng)，其中針對(duì)易產(chǎn)生凝結(jié)的氣體而言，則不得不通過增加氣體管路的保養(yǎng)頻率以確保氣體管路不被堵塞，而這勢(shì)必會(huì)對(duì)產(chǎn)品的生產(chǎn)效率造成影響，并且相應(yīng)的增加了保養(yǎng)的成本。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種可改善氣體流通管道堵塞的氣體管路，從而可有效延長(zhǎng)氣體管路的保養(yǎng)周期，節(jié)約成本。

為此，本實(shí)用新型提供一種氣體管路，包括一氣體流通管道以及一氣體冷凝裝置，所述氣體冷凝裝置包括一用于使氣體凝結(jié)的冷凝部件以及一用于盛放氣體凝結(jié)物的收集盒，所述冷凝部件安裝于所述收集盒上，所述收集盒與所述氣體流通管道連通。

可選的，所所述氣體管路還包括一分流管道，所述分流管道與所述氣體流通管道連接，所述收集盒通過所述分流管道與所述氣體流通管道連通。

可選的，所述分流管道以沿著氣體流通的逆向方向安裝于所述氣體流通管道上。

可選的，所述分流管道在沿著氣體流通的逆向方向上與所述氣體流通管道的夾角為30°～60°。

可選的，所述分流管道上還設(shè)置有一閥門。

可選的，所述氣體管路還包括一防護(hù)套件，所述防護(hù)套件具有一容置腔體以及一連接口，所述防護(hù)套件通過所述連接口可拆卸的安裝于所述分流管道上，所述氣體冷凝裝置位于所述容置腔體內(nèi)。

可選的，所述收集盒具有一開口，所述開口相對(duì)于所述防護(hù)套件的連接口，所述收集盒的開口的尺寸大于所述防護(hù)套件的連接口的尺寸。

可選的，所述氣體冷凝裝置還包括一用于檢測(cè)所述收集盒的重量的重量傳感器，所述重量傳感器設(shè)置于所述防護(hù)套件中容置腔體的底部。

可選的，所述收集盒具有一開口，所述收集盒通過所述開口可拆卸的安裝于所述分流管道上。

可選的，所述氣體冷凝裝置還包括一用于檢測(cè)位于所述收集盒內(nèi)的氣體凝結(jié)物的重量的重量傳感器，所述重量傳感器設(shè)置于收集盒內(nèi)。

可選的，所述收集盒的材質(zhì)為聚乙烯。

可選的，所述冷凝部件包括一冷凝管，所述冷凝管上設(shè)置有一冷卻液進(jìn)口和一冷卻液出口。

可選的，所述冷凝管部分位于所述收集盒的內(nèi)部，所述冷卻液進(jìn)口和冷卻液出口均由所述收集盒中伸出。

可選的，所述冷凝管螺旋盤繞于所述收集盒內(nèi)的底部。

可選的，所述冷卻液進(jìn)口與一冷卻液供給裝置連接,所述冷卻液出口與一冷卻液處理裝置連接。

可選的，所述氣體流通管道具有一彎曲部位，所述氣體冷凝裝置靠近所述彎曲部位。

在本實(shí)用新型提供的氣體管路中，具有一氣體冷凝裝置，所述氣體冷凝裝置可用于冷凝部分氣體，并將氣體冷凝物收集于收集盒中，由于其具有較快的冷凝速度，從而當(dāng)氣體進(jìn)行冷凝時(shí)，可優(yōu)先于所述氣體冷凝裝置中進(jìn)行冷凝，進(jìn)而可避免氣體冷凝物附著于氣體流通管道的管壁上；并且，由于氣體冷凝裝置分擔(dān)了一分部的氣體冷凝物，因此可有效改善氣體流通管道被氣體冷凝物堵塞的現(xiàn)象，從而可延長(zhǎng)氣體管路的保養(yǎng)周期，節(jié)約成本。進(jìn)一步的，在收集盒和氣體流通管道之間還可設(shè)置一閥門，通過控制所述閥門的開關(guān)，從而可在不影響氣體管路正常運(yùn)行的基礎(chǔ)上，對(duì)所述收集盒進(jìn)行拆卸及清洗。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例一中的氣體管路的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2a為當(dāng)分流管道以沿著氣體流通的方向安裝于氣體流通管道上時(shí)的氣體流通的示意圖；

圖2b為當(dāng)分流管道以沿著氣體流通的逆向方向安裝于氣體流通管道上時(shí)的氣體流通的示意圖；

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例一中的氣體管路的冷凝管的一種排布方式的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例一中的氣體管路的冷凝管的另一種排布方式的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例二中的氣體管路的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例三中的氣體管路的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

如背景技術(shù)所述，目前為改善氣體管路的堵塞現(xiàn)象，需定期對(duì)氣體管路進(jìn)行清洗保養(yǎng)，而其中針對(duì)易產(chǎn)生凝結(jié)現(xiàn)象的氣體而言，則需更為頻繁的對(duì)其流通的氣體管路進(jìn)行清潔保養(yǎng)，以確保工藝的穩(wěn)定。然而，頻繁的清潔保養(yǎng)不但會(huì)對(duì)產(chǎn)品的生產(chǎn)效率產(chǎn)生影響，同時(shí)還會(huì)增加清潔保養(yǎng)的成本。

為改善氣體流通管道易被堵塞的現(xiàn)象，本申請(qǐng)的發(fā)明人基于氣體可產(chǎn)生凝結(jié)的這一特性提供了一種氣體管路，所述氣體管路包括：一氣體流通管道以及一氣體冷凝裝置，所述氣體冷凝裝置包括一用于使氣體凝結(jié)的冷凝部件以及一用于盛放氣體凝結(jié)物的收集盒，所述冷凝部件安裝于所述收集盒上，所述收集盒與所述氣體流通管道連通。

本實(shí)用新型提供的氣體管路中，與氣體流通管道上安裝有一氣體冷凝裝置，所述氣體冷凝裝置可用于冷凝部分氣體，并將氣體冷凝物收集于收集盒中，由于其具有較快的冷凝速度，從而氣體可優(yōu)先于所述氣體冷凝裝置中進(jìn)行冷凝，進(jìn)而可避免氣體冷凝物附著于氣體流通管道的管壁上；并且，由于氣體冷凝裝置分擔(dān)了一分部的氣體冷凝物，因此可有效改善氣體流通管道被氣體冷凝物堵塞的現(xiàn)象，從而可延長(zhǎng)對(duì)氣體管路的保養(yǎng)周期，節(jié)約成本。

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型提出的氣體管路作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。

<實(shí)施例一>

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例一中的氣體管路的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所示，氣體管路包括一氣體流通管道100以及一氣體冷凝裝置200。其中，所述氣體冷凝裝置200包括一用于使氣體凝結(jié)的冷凝部件210和一用于盛放氣體凝結(jié)物的收集盒220，所述冷凝部件210安裝于所述收集盒220上，所述收集盒220與所述氣體流通管道100連通。

在氣體于氣體流通管道100中流通的過程中，一部分氣體會(huì)進(jìn)入氣體冷凝裝置的收集盒220中，并通過所述氣體冷凝部件210冷凝形成氣體凝結(jié)物10，所形成的氣體凝結(jié)物10即附著于收集盒220中。由于，所述氣體冷凝裝置提供了一個(gè)相對(duì)于氣體流通管道100具有更低溫度的環(huán)境，因此，氣體會(huì)優(yōu)先于所述氣體冷凝裝置中析出氣體凝結(jié)物，從而可改善氣體于氣體流通管道100上析出凝結(jié)物而造成管路堵塞的現(xiàn)象。優(yōu)選的，所述氣體冷凝裝置200為可拆卸安裝，進(jìn)而當(dāng)所述收集盒220收集到一定重量的氣體凝結(jié)物時(shí)，即可通過拆卸所述氣體冷凝裝置200以方便清洗。

繼續(xù)參考圖1所示，本實(shí)施例中，所述氣體管路還包括一分流管道300，所述分流管道300與所述氣體流通管道100連接，所述收集盒220通過所述分流管道300與所述氣體流通管道100連通。進(jìn)一步的，所述分流管道300以沿著氣體流通的逆向方向(圖1中的箭頭方向即為氣體流通的方向，圖1中與箭頭方向相反的方向即為氣體流通的逆向方向)安裝于所述氣體流通管道100上。也就是說，在氣體流通管道100中流通有氣體時(shí)，其中部分氣體沿著與其逆向方向進(jìn)入到分流管道300中；以及當(dāng)所述分流管道300中的氣體需進(jìn)入到氣體流通管道100中時(shí)，位于分流管道300中的氣體的流通方向與位于氣體流通管道100中的氣體的流通方向夾角較小。本領(lǐng)域技術(shù)人員知道，當(dāng)兩股以不同方向流通的氣體或者液體相遇時(shí)，則于相遇的區(qū)域會(huì)發(fā)生氣體或液體的擾流現(xiàn)象，從而使氣體或液體的流通環(huán)境產(chǎn)生波動(dòng)，進(jìn)而會(huì)對(duì)工藝腔體的環(huán)境造成影響。圖2a為當(dāng)分流管道以沿著氣體流通的方向安裝于氣體流通管道上時(shí)的氣體流通的示意圖，如圖2a所示，進(jìn)入到氣體冷凝裝置中的氣體只有部分會(huì)凝結(jié)并析出氣體凝結(jié)物，而其余未形成氣體凝結(jié)物的氣體則會(huì)繼續(xù)進(jìn)入氣體流通管道100中。而此時(shí)，由于分流管道300是沿著氣體流通的方向安裝于所述氣體流通管道100上，因此，所述氣體冷凝裝置中的氣體通過分流管道300進(jìn)入到氣體流通管道100中時(shí)，從分流管道300中流出的氣體是以相對(duì)于氣體流通管道100中的氣體的流通方向運(yùn)動(dòng)的，從而，在具有不同流通方向的兩股氣體相遇的區(qū)域內(nèi)極易產(chǎn)生擾流的現(xiàn)象(如圖2a中虛線框所示)。為此，本實(shí)施例中將所述分流管道300以沿著氣體流通的逆向方向安裝于所述氣體流通管道100上，圖2b為當(dāng)分流管道以沿著氣體流通的逆向方向安裝于氣體流通管道上時(shí)的氣體流通的示意圖，如圖2b所示的，由于從分流管道300中進(jìn)入到氣體路通管道100中的氣體的流通方向與氣體流通管道100中的氣體的流通方向的夾角較小，從而可有效避免氣體擾流的現(xiàn)象，進(jìn)而可減小對(duì)工藝環(huán)境的影響。其中，所述分流管道300在沿著氣體流通的逆向方向上與所述氣體流通管道100的夾角的優(yōu)選范圍為30°～60°。此外，為了在制造所述分流管道的過程中便于操作，可根據(jù)實(shí)際狀況選取最佳的角度，例如為了便于焊接，可根據(jù)焊接的默認(rèn)規(guī)則，選擇焊接角度為45°，即使所述分流管道300在沿著氣體流通的逆向方向上與所述氣體流通管道100的夾角為45°。

本實(shí)施例中，所述分流管道300上還設(shè)置有一閥門300a，通過所述閥門300a實(shí)現(xiàn)氣體流通管道100和氣體冷凝裝置200之間的氣體流動(dòng)，并且還可通過所述閥門300a控制氣體流動(dòng)的流量。本實(shí)施例中，當(dāng)需對(duì)收集盒220進(jìn)行清洗時(shí)，則可先將閥門300a關(guān)閉，然后再拆卸所述氣體冷凝裝置200，其不但可以避免氣體流通管道100中的氣體發(fā)生泄漏，并且，在對(duì)所述氣體冷凝裝置200進(jìn)行拆卸清洗時(shí)，氣體管路仍可正常的引入或排出氣體，進(jìn)而可在不影響設(shè)備正常運(yùn)行的基礎(chǔ)上，實(shí)現(xiàn)對(duì)收集盒220的清洗。

繼續(xù)參考圖1所示，所述氣體管路還包括一防護(hù)套件400，所述防護(hù)套件400具有一容置腔體以及一連接口，所述防護(hù)套件400通過所述連接口可拆卸的安裝于所述分流管道300上，并且，所述氣體冷凝裝置200位于所述容置腔體內(nèi)。如上所述，所述氣體冷凝裝置200由于具有一冷凝部件210，因此所述氣體冷凝裝置200的溫度比所述氣體流通管道100的溫度更低，而為了防止氣體流通管道100的溫度受到所述冷凝裝置200的影響，本實(shí)施例中，在所述氣體冷凝裝置200的外部設(shè)置所述防護(hù)套件400，其一方面可避免氣體流通管道100的溫度降低而導(dǎo)致氣體直接于所述氣體流通管道100上凝結(jié)析出，另一方面，也可更好的保護(hù)所述氣體冷凝裝置200。此外，所述防護(hù)套件400為可拆卸的安裝于所述分流管道300上的，因此當(dāng)需對(duì)氣體冷凝裝置200或所述防護(hù)套件400進(jìn)行清洗時(shí)，通過將防護(hù)套件400拆卸下，可更便于冷凝裝置200或防護(hù)套件400進(jìn)行清洗。

本實(shí)施例中，所述收集盒220具有一開口，所述開口相對(duì)于所述防護(hù)套件400的連接口，從而實(shí)現(xiàn)所述收集盒220與氣體流通管道100的連通。優(yōu)選的，所述收集盒220的開口的尺寸大于所述防護(hù)套件400的連接口的尺寸，進(jìn)而可最大化的保障位于氣體流通管道100的氣體可進(jìn)入到所述收集盒220中。

接著參考圖1所示，所述氣體冷凝裝置200還包括一用于檢測(cè)所述收集盒220的重量的重量傳感器230，所述重量傳感器230設(shè)置于所述防護(hù)套件400中容置腔體的底部。即，本實(shí)施例中，所述收集盒220為可活動(dòng)的放置于所述容置腔體410內(nèi)，隨著時(shí)間的延長(zhǎng)，位于收集盒220中的氣體凝結(jié)物的重量也越來越大，此時(shí)收集盒220將沿著所述容置腔體410的內(nèi)壁滑落，并對(duì)所述重量傳感器230施加一作用力，從而所述重量傳感器230即可根據(jù)所述作用力檢測(cè)所述收集盒220的重量。進(jìn)而，相關(guān)人員可根據(jù)收集盒220的重量，確認(rèn)是否需對(duì)收集盒220的進(jìn)行清潔保養(yǎng)。如上所述，所述防護(hù)套件400為可拆卸的安裝于所述氣體流通管道100上的，而位于所述防護(hù)套件400的收集盒220為可活動(dòng)的放置于其容置腔體410中，因此，在需進(jìn)行清洗時(shí)，可分別對(duì)所述防護(hù)套件400以及收集盒220進(jìn)行清洗。

在優(yōu)選的方案中，可根據(jù)所述重量傳感器230以及閥門300a設(shè)置一反饋系統(tǒng)，即：所述反饋系統(tǒng)中設(shè)置有一預(yù)定重量值，當(dāng)重量傳感器230檢測(cè)出收集盒220的重量達(dá)到所述預(yù)定重量值時(shí)，則所述反饋系統(tǒng)將自動(dòng)關(guān)閉閥門300a，并發(fā)出警報(bào)以通知相應(yīng)的人員對(duì)收集盒220進(jìn)行清洗，如此不僅可及時(shí)對(duì)收集盒220進(jìn)行清洗，并且還可避免在拆卸收集盒220時(shí)發(fā)生氣體泄漏。

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例一中的氣體管路的冷凝管的一種排布方式的結(jié)構(gòu)示意圖，結(jié)合圖1和圖3所示，本實(shí)施例中，冷凝部件210包括冷凝管211，于所述冷凝管211上還設(shè)置有一冷卻液進(jìn)口211a和一冷卻液出口211b。即，所述冷凝部件210通過采用相對(duì)于氣體具有較低溫度的冷卻液以降低所述氣體的溫度，從而使氣體冷凝析出氣體凝結(jié)物。優(yōu)選的，所述冷卻液的溫度可根據(jù)冷凝部件210的安裝位置進(jìn)行設(shè)置，使冷凝部件210的溫度大于或等于其安裝區(qū)域的環(huán)境溫度，以避免氣體冷凝裝置200的溫度低于環(huán)境溫度時(shí)，會(huì)在氣體冷凝裝置的表面產(chǎn)生水汽凝結(jié)的現(xiàn)象。進(jìn)一步的，所述冷凝部件210中的冷凝管211部分位于收集盒220的內(nèi)部，本實(shí)施例中，除了冷凝管211的冷卻液進(jìn)口211a以及冷卻液出口211b之外，其余部分的冷凝管211均位于所述收集盒220內(nèi)，從而不僅可為收集盒220提供一冷卻源，使所述收集盒220相對(duì)于位于氣體流通管道100具有更低的溫度，并且還可避免對(duì)氣體流通管道100的溫度造成影響，以利于氣體在所述收集盒220中凝結(jié)析出。其中，所述冷卻液進(jìn)口211a和冷卻液出口211b均由所述收集盒220中延伸出，以便于通過所述冷卻液進(jìn)口211a于所述冷凝管211中通入冷卻液，以及有利于冷卻液經(jīng)由冷卻液出口211b排出。如此，所述冷卻液進(jìn)口211a可直接與一冷卻液供給裝置(圖中未示出)連接，以及所述冷卻液出口211b可直接與一冷卻液處理裝置(圖中未示出)連接?？蛇x的，所述冷卻液供給裝置和所述冷卻液處理裝置可以為同一冷卻液加工設(shè)備，所述冷卻液加工設(shè)備可回收經(jīng)由冷卻液出口排放出的回收冷卻液，并對(duì)該回收冷卻液進(jìn)行冷卻，即所述冷卻液加工設(shè)備用于提供循環(huán)冷卻液，從而可最大化利用資源，節(jié)省成本。本實(shí)施例中，所述冷卻液進(jìn)口211a以及冷卻液出口211b還進(jìn)一步的從所述防護(hù)套件400中延伸出。此時(shí)，在所述防護(hù)套件400上相應(yīng)的開設(shè)有對(duì)應(yīng)所述冷卻液進(jìn)口211a以及冷卻液出口211b的通道，為了避免氣體經(jīng)過所述通道泄露出，所述冷凝管211與所述防護(hù)套件400之間采用密封連接。即，于冷凝管211與防護(hù)套件400連接的位置采用一密封組件500進(jìn)行密封。

繼續(xù)參考圖3所示，所冷凝管211的排布方式可根據(jù)所述收集盒220的結(jié)構(gòu)進(jìn)行設(shè)置。本實(shí)施例中，所述冷凝管211以螺旋狀的排布方式盤繞于所述收集盒220的底部，從而可增加冷凝管211與位于收集盒220中的氣體之間的能量交換的效率。當(dāng)然，所述冷凝管211也可采用其他盤繞方式，例如采用如圖4所示的S型的排布方式等。

<實(shí)施例二>

圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例二中的氣體管路的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖5所示，本實(shí)施例與實(shí)施例一的區(qū)別在于，所述氣體冷凝裝置200直接安裝于所述分流管道300上。具體的，所述收集盒220具有一開口，所述收集盒220通過所述開口可拆卸的安裝于所述分流管道300上。

本實(shí)施例中，所述冷凝部件210的安裝方式可參考實(shí)施例一所述，此處不再贅述。此外，需注意的是，由于所述氣體冷凝裝置200的外部未設(shè)置有防護(hù)套件，因此，當(dāng)冷凝管由所述收集盒220中延伸出時(shí)，其與所述收集盒220連接方式可采用如實(shí)施例一所述的密封連接的方式。即，在冷凝管和收集盒220的連接處設(shè)置一密封組件240，以避免位于收集盒220內(nèi)的氣體泄漏。進(jìn)一步的，本實(shí)施例中，由于所述氣體冷凝裝置200的外部未設(shè)置有防護(hù)套件，為避免氣體冷凝裝置200對(duì)所述氣體流通管道100的溫度造成影響，所述收集盒220的材質(zhì)優(yōu)選為導(dǎo)熱性差的聚乙烯。

繼續(xù)參考圖5所示，本實(shí)施例中，所述氣體冷凝裝置200也具有一重量傳感器230，所述重量傳感器230可用于檢測(cè)位于收集盒220內(nèi)的氣體凝結(jié)物的重量。具體的，所述重量傳感器230可安裝于所述收集盒220內(nèi)的底部位置，從而可直接感應(yīng)位于所述收集盒220內(nèi)的氣體凝結(jié)物的重量，以便于相關(guān)人員確認(rèn)是否需對(duì)收集盒220的進(jìn)行清潔保養(yǎng)。

<實(shí)施例三>

圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例三中的氣體管路的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖6所示，在本實(shí)施例中，所述氣體流通管道100具有一彎曲部位。本領(lǐng)域技術(shù)人員知道，氣體在一定的溫度條件下易發(fā)生凝結(jié)現(xiàn)象，尤其的，當(dāng)環(huán)境中存在有一彎曲部位時(shí)，則于所述彎曲位置更容易形成氣體凝結(jié)物，即，所述彎曲部位通常也是最易發(fā)生堵塞的位置之一。因此，針對(duì)具有彎曲部位的氣體流通管道而言，可將所述氣體冷凝裝置安裝于靠近所述彎曲部位的區(qū)域，以改善在彎曲位置上形成氣體凝結(jié)物的現(xiàn)象，從而可防止在短時(shí)間內(nèi)氣體通管道發(fā)生堵塞，進(jìn)而可延長(zhǎng)氣體管路的保養(yǎng)周期。

綜上所述，本實(shí)用新型提供的氣體管路中，由于具有一氣體冷凝裝置，所述氣體冷凝裝置可在氣體于氣體流通管道中發(fā)生凝結(jié)之前，優(yōu)選使氣體發(fā)生凝結(jié)，并采用收集盒收集氣體凝結(jié)物，從而可有效緩解氣體凝結(jié)物堆積于氣體流通管道中的速度，從而可相應(yīng)的延長(zhǎng)氣體管路的保養(yǎng)周期。進(jìn)一步的，在所述收集盒和氣體流通管道之間還設(shè)置有一閥門，通過控制所述閥門的開關(guān)，從而可在不影響氣體管路正常運(yùn)行的基礎(chǔ)上，對(duì)所述收集盒進(jìn)行拆卸及清洗。

本說明書中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見即可。

上述描述僅是對(duì)本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的描述，并非對(duì)本實(shí)用新型范圍的任何限定，本實(shí)用新型領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾，均屬于權(quán)利要求書的保護(hù)范圍。