技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種逐級(jí)吸附提純氨氣的裝置及利用該裝置提純氨氣的方法，包括一號(hào)吸附柱、二號(hào)吸附柱、三號(hào)吸附柱、四號(hào)吸附柱、五號(hào)吸附柱、六號(hào)吸附柱，可以將較低純度的氨氣（99.8%）通過多級(jí)吸附提純到高純度甚至更高純度（99.999%?99.9995%）的氨氣。原料氨氣經(jīng)過不同類型的串聯(lián)型的吸附柱內(nèi)填充料進(jìn)行逐級(jí)吸附之后，去除了原料氨氣中的相關(guān)有害雜質(zhì)含量，雜質(zhì)含量包括大量的油脂、水份、氧、氮、二氧化碳、硫化物、顆粒等有害雜質(zhì)。去除完后最終達(dá)到了高純度的氨氣，進(jìn)而可滿足大陽能行業(yè)中為氮化硅薄膜提供氮源、以及集成電路制造、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器及更好地為清洗硅片而提供潔凈的工藝氣體氨氣，為更高純度的氨氣的提純提供非常好的工藝基礎(chǔ)。

技術(shù)研發(fā)人員：金向華;許軍州;陳琦峰;張億;鄭黎;孫浩杰;宗立冬
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州金宏氣體股份有限公司
文檔號(hào)碼：201611004702
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.15
技術(shù)公布日：2017.01.11