本發(fā)明涉及到風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元，尤其是一種風(fēng)機(jī)化學(xué)過(guò)濾單元。

背景技術(shù)：
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隨著半導(dǎo)體、液晶面板、硬盤等電子設(shè)備行業(yè)產(chǎn)品加工尺寸的細(xì)微化，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境清潔度的要求進(jìn)一步嚴(yán)格。除了一直以來(lái)已被關(guān)注的塵埃微粒污染之外，AMC（即分子狀物質(zhì)污染）最近已被 IC 生產(chǎn)廠商高度關(guān)注，更被認(rèn)為是某些加工工序或工序間晶片傳送及存放過(guò)程中影響成品率的重要因素?；瘜W(xué)污染AMC劃分成：分子酸（MA）、分子堿（MB）、分子凝縮劑（MC）、分子添加劑（MD）、分子金屬（MM）等種類。

當(dāng)今的過(guò)濾技術(shù)可以將潔凈室的粉塵濃度降低到近乎為零，在芯片上的線寬小到0.5μm時(shí)，人們發(fā)現(xiàn)空氣中的化學(xué)污染成了影響成品率的主要危害，于是化學(xué)過(guò)濾器被芯片廠家普遍應(yīng)用。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
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針對(duì)以上技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明設(shè)計(jì)了一種風(fēng)機(jī)化學(xué)過(guò)濾單元，包括箱體，箱體的上端面設(shè)置有進(jìn)風(fēng)口，下端面設(shè)置有出風(fēng)口，在箱體上端面上位于進(jìn)風(fēng)口的一側(cè)設(shè)置有控制盒，所述進(jìn)風(fēng)口處設(shè)置有葉輪，所述葉輪由軸向連接在葉輪下方的電機(jī)驅(qū)動(dòng)，所述進(jìn)風(fēng)口上方設(shè)有安裝在箱體上的引流板，所述引流板上層疊式安裝第一初效過(guò)濾器、第二初效過(guò)濾器和化學(xué)過(guò)濾器，所述化學(xué)過(guò)濾器設(shè)置在第一初效過(guò)濾器和第二初效過(guò)濾器之間；所述出風(fēng)口的下端安裝有連接在箱體底部的高效過(guò)濾器。

進(jìn)一步地，所述化學(xué)過(guò)濾器為活性炭過(guò)濾器，且第一初效過(guò)濾器、第二初效過(guò)濾器和化學(xué)過(guò)濾器的尺寸相等。通過(guò)對(duì)活性碳進(jìn)行有針對(duì)性的化學(xué)處理，能夠增強(qiáng)對(duì)有特定污染物的吸附能力；第一初效過(guò)濾器和第二初效過(guò)濾器分別設(shè)置在化學(xué)過(guò)濾器的上方和下方，能夠防止空氣中大顆粒塵埃粒子堵住化學(xué)過(guò)濾器的進(jìn)風(fēng)端和化學(xué)過(guò)濾器的出風(fēng)端產(chǎn)生顆粒。

進(jìn)一步地，所述葉輪為葉片后傾式的三維立體形狀，符合物體在離心力作用下的運(yùn)動(dòng)方向，空氣在葉片間的流道中逐漸擴(kuò)大，可比較平穩(wěn)的增壓和加速，能量損失小。

進(jìn)一步地，所述風(fēng)機(jī)為直流電機(jī)，由于直流電機(jī)效率很高有助于葉輪克服由第一初效過(guò)濾器、第二初效過(guò)濾器和化學(xué)過(guò)濾器形成的高阻力。

更進(jìn)一步地，所述引流板具有弧形開(kāi)口。

再進(jìn)一步的，所述箱體上表面安裝有兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的把手，便于安裝和搬運(yùn)整個(gè)風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益之處是：能夠有效的過(guò)濾空氣中化學(xué)污染物；通過(guò)葉片為后傾式的三維立體狀葉輪進(jìn)行工作時(shí)，大曲率半徑的葉片能夠符合物體在離心力作用下的運(yùn)動(dòng)方向，空氣在葉片間的流道中逐漸擴(kuò)大，可比較平穩(wěn)的增壓和加速，具有高效率、高靜壓、低能耗等特點(diǎn)，確保了本風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元在使用壽命內(nèi)所產(chǎn)生的風(fēng)速和風(fēng)壓。

附圖說(shuō)明：

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明。

圖1是本發(fā)明主視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明左視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、箱體；2、進(jìn)風(fēng)口；3、出風(fēng)口；4、控制盒；5、葉輪；6、電機(jī)；7、引流板；8、第一初效過(guò)濾器；9、第二初效過(guò)濾器；10、化學(xué)過(guò)濾器；11、高效過(guò)濾器；12、把手。

具體實(shí)施方式：

如圖1、圖2和圖3所示的一種風(fēng)機(jī)化學(xué)過(guò)濾單元，包括箱體1，箱體1的上端面設(shè)置有進(jìn)風(fēng)口2，下端面設(shè)置有出風(fēng)口3，在箱體1上端面上位于進(jìn)風(fēng)口2的一側(cè)設(shè)置有控制盒4，而且在箱體1上表面安裝有兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的把手12，便于安裝和搬運(yùn)該風(fēng)機(jī)化學(xué)過(guò)濾單元；所述進(jìn)風(fēng)口2處設(shè)置有葉輪5，所述葉輪5由軸向連接在葉輪5下方的電機(jī)（6）驅(qū)動(dòng)，所述進(jìn)風(fēng)口2上方設(shè)有安裝在箱體1上的引流板7，所述引流板7具有弧形開(kāi)口，可以充分的將空氣引入風(fēng)機(jī)化學(xué)過(guò)濾單元中進(jìn)行過(guò)濾；所述引流板7上層疊式安裝第一初效過(guò)濾器8、第二初效過(guò)濾器9和化學(xué)過(guò)濾器10，所述化學(xué)過(guò)濾器10設(shè)置在第一初效過(guò)濾器8和第二初效過(guò)濾器9之間；所述出風(fēng)口3的下端安裝有連接在箱體1底部的高效過(guò)濾器11，所述化學(xué)過(guò)濾器10為活性炭過(guò)濾器且第一初效過(guò)濾器8、第二初效過(guò)濾器9和化學(xué)過(guò)濾器10的尺寸相等。顆?；钚蕴季哂袕V譜吸附性，通過(guò)對(duì)活性碳進(jìn)行有針對(duì)性的化學(xué)處理，能夠增強(qiáng)對(duì)有特定污染物的吸附能力；第一初效過(guò)濾器8和第二初效過(guò)濾器9分別設(shè)置在化學(xué)過(guò)濾器10的上方和下方，能夠防止空氣中大顆粒塵埃粒子堵住化學(xué)過(guò)濾器10的進(jìn)風(fēng)端和化學(xué)過(guò)濾器10的出風(fēng)端產(chǎn)生顆粒而影響過(guò)濾效果。

另外，所述葉輪5為葉片后傾式的三維立體形狀，所述電機(jī)6為直流電機(jī)。由于第一初效過(guò)濾器8、第二初效過(guò)濾器9和化學(xué)過(guò)濾器10為層疊式所以在過(guò)濾空氣過(guò)程中阻力較大，而直流電機(jī)效率高有助于葉輪5克服阻力；該葉輪5葉片曲率半徑大，呈立體三維形狀，符合物體在離心力作用下的運(yùn)動(dòng)方向，空氣在葉片間的流道中逐漸擴(kuò)大，可比較平穩(wěn)的增壓和加速，能量損失小，因此具有高效率、高靜壓、低能耗等特點(diǎn)。

需要強(qiáng)調(diào)的是：以上僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制，凡是依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。