本發(fā)明涉及一種氣液分離裝置，特別是涉及一種用于濕法工藝設(shè)備的氣液分離裝置。

背景技術(shù)：

濕法工藝設(shè)備廣泛用在半導(dǎo)體元件的制造。在濕法工藝中濕法工藝設(shè)備須采用大量的化學(xué)藥液，其大多為具有酸性或堿性等腐蝕性的物質(zhì)。因此，從濕法工藝設(shè)備內(nèi)流出的化學(xué)性氣液混合物中往往帶有具有腐蝕性的化學(xué)液體?；诃h(huán)境保護(hù)與安全的考量，必須將濕法工藝設(shè)備內(nèi)的化學(xué)性氣液混合物加以處理將化學(xué)性氣液混合物中的化學(xué)液體分離后才可排放。

請(qǐng)參照?qǐng)D1，其顯示一種現(xiàn)有的氣液分離裝置10的示意圖。所述氣液分離裝置10包含一輸入通道p1、一位在底部的排液通道p2和一位在上方的排氣通道p3，其中所述氣液分離裝置10的所述輸入通道p1與一濕法工藝設(shè)備20連接、所述排液通道p2與一液體回收裝置30連接、以及所述排氣通道p3與一氣體處理裝置40連接。在使用時(shí)，所述濕法工藝設(shè)備20內(nèi)的化學(xué)性氣液混合物50通過(guò)所述輸入通道p1進(jìn)入所述氣液分離裝置10內(nèi)。所述化學(xué)性氣液混合物50進(jìn)入所述氣液分離裝置10后，所述化學(xué)性氣液混合物50中的化學(xué)液體51會(huì)自然地向下方滴落，并且通過(guò)在所述氣液分離裝置10底部的所述排液通道p2收集到所述液體回收裝置30內(nèi)。另一方面，剩余的廢氣52則會(huì)通過(guò)位在所述氣液分離裝置10上方的所述排氣通道p3收集至所述氣體處理裝置40內(nèi)。

然而，由于所述氣液分離裝置10內(nèi)的空間有限，容易發(fā)生化學(xué)性氣液混合物50還沒(méi)有被氣液分離完全時(shí)就已經(jīng)被送入所述排氣通道p3中，使得進(jìn)入所述氣體處理裝置40的廢氣52中依然帶有大量的化學(xué)液體，進(jìn)而導(dǎo)致所述氣體處理裝置40內(nèi)的元件受到腐蝕而損壞。另一方面，當(dāng)化學(xué)性氣液混合物50中的化學(xué)液體51被分離且被收集至所述液體回收裝置30后，可將所述液體回收裝置30內(nèi)回收的化學(xué)液體51經(jīng)處理后再次使用。也就是說(shuō)，若是能增加所述氣液分離裝置10的氣液分離的效能即可有效地減少生產(chǎn)成本。因此，為了增強(qiáng)所述氣液分離裝置10的氣液分離的效能，現(xiàn)有的做法是通過(guò)在所述氣液分離裝置10內(nèi)設(shè)置拉西環(huán)或者是菜瓜布…等元件，以增加化學(xué)性氣液混合物50在所述氣液分離裝置10內(nèi)的行經(jīng)路徑。然而，上述方法對(duì)于增加氣液分離的效果有限，有鑒于此有必要提供一種氣液分離裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一種氣液分離裝置，其內(nèi)部設(shè)置有螺旋桿，位在所述氣液分離裝置的輸入通道和排氣通道之間。因此，當(dāng)化學(xué)性氣液混合物通過(guò)所述螺旋桿時(shí)，所述化學(xué)性氣液混合物中的所述化學(xué)液體會(huì)凝結(jié)且附著在所述螺旋桿上，使得所述螺旋桿能有效地增加化學(xué)性氣液混合物在所述氣液分離裝置內(nèi)的行經(jīng)路徑，進(jìn)而增強(qiáng)氣液分離的功效。

為達(dá)成上述目的，本發(fā)明提供一種用于濕法工藝設(shè)備的氣液分離裝置，包含：一輸入通道，與一濕法工藝設(shè)備連接，用于將所述濕法工藝設(shè)備的一化學(xué)性氣液混合物輸入所述氣液分離裝置內(nèi)；一螺旋桿，設(shè)置在所述氣液分離裝置的內(nèi)部，用于將所述化學(xué)性氣液混合物分離為一廢氣和一化學(xué)液體；一排液通 道，位于所述濕法工藝設(shè)備的底部，與一用于收集所述化學(xué)液體的液體回收裝置連接；以及一排氣通道，用于將所述廢氣排出。

于本發(fā)明其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述螺旋桿設(shè)置在所述化學(xué)性氣液混合物從所述輸入通道前往所述排氣通道的行經(jīng)路徑之間。

于本發(fā)明其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述螺旋桿包含一軸桿和多個(gè)形成在所述軸桿上的葉片。

于本發(fā)明其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述螺旋桿的所述軸桿與一馬達(dá)連接以接收所述馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)，使得所述多個(gè)葉片與所述軸桿一同旋轉(zhuǎn)。

于本發(fā)明其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述螺旋桿的所述軸桿包含一中心空穴和多個(gè)從所述中心空穴連通至所述軸桿外部的開(kāi)孔，并且所述軸桿與一外部氣體供應(yīng)設(shè)備連接，用于將一氣體輸入所述軸桿的所述中心空穴內(nèi)。

于本發(fā)明其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述螺旋桿的所述軸桿與所述氣液分離裝置的側(cè)壁平行。

于本發(fā)明其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述氣液分離裝置還包含一多孔元件，設(shè)置在所述氣液分離裝置的側(cè)壁上。

于本發(fā)明其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述多孔元件為金屬網(wǎng)。

于本發(fā)明其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述多孔元件為鐵絲網(wǎng)。

本發(fā)明還提供一種用于濕法工藝設(shè)備的氣液分離裝置，包含：一輸入通道設(shè)于所述氣液分離裝置的一側(cè)壁，與一濕法工藝設(shè)備連接，用于將所述濕法工藝設(shè)備的一化學(xué)性氣液混合物輸入所述氣液分離裝置內(nèi)；一排氣通道設(shè)于所述氣液分離裝置的另一側(cè)壁并和一氣體處理裝置連接；一螺旋桿具有葉片，設(shè)置在所述氣液分離裝置的內(nèi)部，和所述二側(cè)壁平行設(shè)置并位于所述輸入通道和所述排氣通道之間，用于將所述化學(xué)性氣液混合物分離為一廢氣和一化學(xué)液體， 所述廢氣通過(guò)所述排氣通道來(lái)排入所述氣體處理裝置中；一排液通道，位于所述濕法工藝設(shè)備的底部，與一用于收集所述化學(xué)液體的液體回收裝置連接。

于本發(fā)明其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述氣液分離裝置更包含一馬達(dá)用以驅(qū)動(dòng)所述螺旋桿的轉(zhuǎn)動(dòng)。

于本發(fā)明其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述氣液分離裝置更包含一外部氣體供應(yīng)設(shè)備可提供氣體至所述氣液分離裝置中，用以吹動(dòng)附著在所述葉片上的所述化學(xué)液體使其朝向所述氣液分離裝置的所述側(cè)壁移動(dòng)。

于本發(fā)明其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述螺旋桿包含一軸桿，所述軸桿包含一中心空穴和多個(gè)從所述中心空穴連通至所述軸桿外部的開(kāi)孔，并且所述軸桿與所述外部氣體供應(yīng)設(shè)備連接，用于將所述氣體輸入所述軸桿的所述中心空穴內(nèi)并通過(guò)所述開(kāi)孔來(lái)吹動(dòng)附著在所述葉片上的所述化學(xué)液體。

附圖說(shuō)明

圖1顯示一種現(xiàn)有的氣液分離裝置的示意圖；

圖2顯示一種本發(fā)明第一優(yōu)選實(shí)施例的氣液分離裝置的示意圖；以及

圖3顯示一種本發(fā)明第二優(yōu)選實(shí)施例的氣液分離裝置的示意圖。

具體實(shí)施方式

為了讓本發(fā)明的上述及其他目的、特征、優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文將特舉本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例，并配合附圖，作詳細(xì)說(shuō)明如下。

請(qǐng)參照?qǐng)D2，其顯示一種本發(fā)明第一優(yōu)選實(shí)施例的氣液分離裝置100的示意圖。所述氣液分離裝置100包含一設(shè)置在一側(cè)邊的輸入通道p1、設(shè)置在底部的一排液通道p2、和設(shè)置在相對(duì)所述輸入通道p1的另一側(cè)邊的排氣通道p3。所述 氣液分離裝置100的所述輸入通道p1與一濕法工藝設(shè)備20連接，并且所述濕法工藝設(shè)備20內(nèi)的化學(xué)性氣液混合物50通過(guò)所述輸入通道p1進(jìn)入所述氣液分離裝置100內(nèi)。所述氣液分離裝置100的所述排液通道p2與一液體回收裝置30連接，以及所述排氣通道p3與一氣體處理裝置40連接。在運(yùn)作時(shí)，當(dāng)所述化學(xué)性氣液混合物50進(jìn)入所述氣液分離裝置100后，所述氣液分離裝置100是用于將所述化學(xué)性氣液混合物50氣液分離為化學(xué)液體51和廢氣52，并且通過(guò)所述排液通道p2將所述化學(xué)液體51收集到所述液體回收裝置30內(nèi)，以及通過(guò)所述排氣通道p3將所述廢氣52排入所述氣體處理裝置40內(nèi)。

如圖2所示，所述氣液分離裝置100還包含一螺旋桿110，設(shè)置在所述氣液分離裝置100的內(nèi)部，并且是位于所述化學(xué)性氣液混合物50從所述輸入通道p1前往所述排氣通道p3的行經(jīng)路徑之間。當(dāng)所述化學(xué)性氣液混合物50通過(guò)所述螺旋桿110時(shí)，所述化學(xué)性氣液混合物50中的所述化學(xué)液體51會(huì)凝結(jié)且附著在所述螺旋桿110上，使得所述螺旋桿110達(dá)到將所述化學(xué)性氣液混合物50氣液分離為所述化學(xué)液體51和所述廢氣52的功效。所述螺旋桿110包含一中央的軸桿111和多個(gè)形成在所述軸桿111上的葉片112，其中所述軸桿111與所述氣液分離裝置100的側(cè)壁102平行，及和所述氣液分離裝置100的上壁和下壁相互垂直。優(yōu)選地，所述多個(gè)葉片112是與所述軸桿111一體成型，并且設(shè)計(jì)為延伸至靠近所述氣液分離裝置100的所述側(cè)壁102和所述上壁和下壁，使得所述螺旋桿110在所述氣液分離裝置100內(nèi)的有限空間中形成足夠大的總表面積。因此，在所述化學(xué)性氣液混合物50從所述輸入通道p1前往所述排氣通道p3的行經(jīng)過(guò)程中發(fā)生與所述螺旋桿110可有充分的接觸，進(jìn)而有效地達(dá)到所述氣液分離裝置100有增強(qiáng)氣液分離的效能。

另一方面，當(dāng)所述化學(xué)性氣液混合物50中的所述化學(xué)液體51被分離且被收 集至所述液體回收裝置30后，可將所述液體回收裝置30內(nèi)回收的所述化學(xué)液體51經(jīng)處理后再次使用。因此，由于所述氣液分離裝置100的所述螺旋桿110的設(shè)置，有效地增強(qiáng)氣液分離的效能，進(jìn)而增加可回收再利用的所述化學(xué)液體51的量，如此使得生產(chǎn)成本有效地降低。

請(qǐng)參照?qǐng)D3，其顯示一種本發(fā)明第二優(yōu)選實(shí)施例的氣液分離裝置200的示意圖。所述氣液分離裝置200包含一設(shè)置在一側(cè)邊的輸入通道p1、設(shè)置在底部的一排液通道p2、和設(shè)置在相對(duì)所述輸入通道p1的另一側(cè)邊的排氣通道p3。所述氣液分離裝置200的所述輸入通道p1與一濕法工藝設(shè)備20連接，并且所述濕法工藝設(shè)備20內(nèi)的化學(xué)性氣液混合物50通過(guò)所述輸入通道p1進(jìn)入所述氣液分離裝置200內(nèi)。所述氣液分離裝置200的所述排液通道p2與一液體回收裝置30連接，以及所述排氣通道p3與一氣體處理裝置40連接。在運(yùn)作時(shí)，當(dāng)所述化學(xué)性氣液混合物50進(jìn)入所述氣液分離裝置200后，所述氣液分離裝置200是用于將所述化學(xué)性氣液混合物50氣液分離為化學(xué)液體51和廢氣52，并且通過(guò)所述排液通道p2將所述化學(xué)液體51收集到所述液體回收裝置30內(nèi)，以及通過(guò)所述排氣通道p3將所述廢氣52排入所述氣體處理裝置40內(nèi)。

如圖3所示，所述氣液分離裝置200還包含一螺旋桿210，設(shè)置在所述氣液分離裝置200的內(nèi)部，并且是位于所述化學(xué)性氣液混合物50從所述輸入通道p1前往所述排氣通道p3的行經(jīng)路徑之間。當(dāng)所述化學(xué)性氣液混合物50通過(guò)所述螺旋桿210時(shí)，所述化學(xué)性氣液混合物50中的所述化學(xué)液體51會(huì)凝結(jié)且附著在所述螺旋桿210上，使得所述螺旋桿210達(dá)到將所述化學(xué)性氣液混合物50氣液分離為所述化學(xué)液體51和所述廢氣52的功效。再者，所述螺旋桿210包含一中央的軸桿211和多個(gè)形成在所述軸桿211上的葉片212，其中所述軸桿211與所述氣液分離裝置200的側(cè)壁202平行，及和所述氣液分離裝置200的上壁和下壁相互垂 直。優(yōu)選地，所述多個(gè)葉片212是與所述軸桿211一體成型，并且設(shè)計(jì)為延伸至靠近所述氣液分離裝置200的所述側(cè)壁202和所述上壁和下壁，使得所述螺旋桿210在所述氣液分離裝置200內(nèi)的有限空間中形成足夠大的總表面積。因此，在所述化學(xué)性氣液混合物50從所述輸入通道p1前往所述排氣通道p3的行經(jīng)過(guò)程中可與所述螺旋桿210有充分的接觸，進(jìn)而有效地達(dá)到所述氣液分離裝置200有增強(qiáng)氣液分離的效能。

如圖3所示，所述氣液分離裝置200還包含一馬達(dá)60，與所述螺旋桿210的所述軸桿211連接用于驅(qū)動(dòng)所述軸桿211轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)所述多個(gè)葉片212與所述軸桿211一同旋轉(zhuǎn)。通過(guò)所述馬達(dá)60驅(qū)使所述螺旋桿210轉(zhuǎn)動(dòng)，使得凝結(jié)于所述螺旋桿210上的所述化學(xué)液體51產(chǎn)生一離心力，使所述化學(xué)液體51甩向所述氣液分離裝置200的側(cè)壁202的方向，接著所述化學(xué)液體51會(huì)沿著垂直的側(cè)壁202向下流動(dòng)，進(jìn)而增加所述化學(xué)液體51被收集至所述液體回收裝置30內(nèi)的效率。

如圖3所示，所述氣液分離裝置200的所述側(cè)壁202設(shè)置有一多孔元件220，其中所述多孔元件220優(yōu)選為金屬網(wǎng)，例如是鐵絲網(wǎng)。通過(guò)所述多孔元件220的設(shè)置一方面能有效地捕捉住到達(dá)所述側(cè)壁202的所述化學(xué)液體51，另一方面還可增長(zhǎng)所述化學(xué)性氣液混合物50沿著所述側(cè)壁202移動(dòng)時(shí)的行經(jīng)路徑，進(jìn)而增強(qiáng)氣液分離的效果。此外，所述螺旋桿210的所述軸桿211包含一中心空穴213和多個(gè)從所述中心空穴213連通至所述軸桿211外部的開(kāi)孔214。所述軸桿211的所述中心空穴213連通至一外部氣體供應(yīng)設(shè)備70。在運(yùn)作時(shí)，所述外部氣體供應(yīng)設(shè)備70會(huì)提供一氣體至所述軸桿211的所述中心空穴213內(nèi)，并且所述氣體通過(guò)所述多個(gè)開(kāi)孔214噴發(fā)至所述軸桿211的外部。因此，原先附著在所述軸桿211和所述葉片212上的所述化學(xué)液體51會(huì)因所述氣體噴發(fā)時(shí)產(chǎn)生的作用力而將所 述化學(xué)液體51被吹向所述氣液分離裝置200的側(cè)壁202，進(jìn)而有效地增加所述化學(xué)液體51被收集至所述液體回收裝置30內(nèi)的效率。再者，通過(guò)所述氣體的作用可使所述氣液分離裝置200內(nèi)的所述化學(xué)性氣液混合物50朝向位于所述側(cè)壁202的所述多孔元件220流動(dòng)，進(jìn)而使得所述化學(xué)液體51凝結(jié)于所述多孔元件220上，故能進(jìn)一步的增加氣液分離的效率。

雖然本發(fā)明已用優(yōu)選實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視后附的權(quán)利要求所界定者為準(zhǔn)。