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ITO導電玻璃上集成增強基底的SERS微流控芯片及制備方法與流程

文檔序號:11411383閱讀:來源:國知局
ITO導電玻璃上集成增強基底的SERS微流控芯片及制備方法與流程

技術特征:
1.基于ITO導電玻璃上集成納米增強基底的SERS微流控芯片,其由集成SERS增強基底的ITO基片與PDMS蓋片鍵合而成;其特征在于:在PDMS蓋片上有多條平行微通道,微通道頂面開敞,在與ITO基片鍵合后封閉,每條通道兩端設置與通道尺寸匹配的進液口與出液口;在ITO基片上通過同步電化學沉積集成有SERS增強基底,在對應PDMS蓋片上每條微通道的位置至少形成一個SERS檢測區(qū);所述SERS檢測區(qū)通過同步電化學沉積有直徑在50~200nm范圍的納米金屬顆粒。2.根據權利要求1所述的基于ITO導電玻璃上集成納米增強基底的SERS微流控芯片,其特征在于,所述微通道寬度為50μm~300μm,深度為5~200μm。3.根據權利要求1所述的基于ITO導電玻璃上集成納米增強基底的SERS微流控芯片,其特征在于,對應同一通道設計的SERS檢測區(qū)相互平行,檢測區(qū)長1mm~10mm。4.權利要求1-3所述的SERS微流控芯片的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:(1)制備帶有多條平行微通道、進液口和出液口的PDMS蓋片;(2)制備集成SERS增強基底的ITO基片:(2.1)采用兩步計時電流沉積方法,以ITO基片為工作電極,直接在其表面電化學沉積制備納米金屬顆粒,得到金、銀或銅金屬納米粒子直徑在50~200nm范圍的增強介質層,形成SERS基底;(2.2)將SERS檢測區(qū)以外的納米增強基底去掉,僅保...
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