自動(dòng)配料工作站的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及自動(dòng)配料工作站，包括機(jī)體、電控箱、增壓泵、預(yù)溶藥桶、預(yù)溶藥液輸出口、萬(wàn)向輪、支撐架、連接管道，本實(shí)用新型通過(guò)螺旋式可調(diào)節(jié)支撐架與萬(wàn)向輪結(jié)合，在需要移動(dòng)時(shí)，將支撐架調(diào)短，使萬(wàn)向輪著地，需要進(jìn)行配料輸出時(shí)，將支撐架調(diào)長(zhǎng)，使萬(wàn)向輪離地，機(jī)臺(tái)主要靠支撐架支撐，這樣可以節(jié)省藥液輸送的管道，而且可以多臺(tái)設(shè)備共用一臺(tái)配料工作站。另外，本實(shí)用新型通過(guò)將四個(gè)預(yù)溶藥桶兩兩并排設(shè)置在機(jī)體內(nèi)，節(jié)省了空間，而且四個(gè)預(yù)溶藥桶已經(jīng)能滿足大部分工廠主要藥液配比需求。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便。
【專利說(shuō)明】
自動(dòng)配料工作站

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，具體是自動(dòng)配料工作站。

【背景技術(shù)】
[0002]在硅片生產(chǎn)及其他一些自動(dòng)化設(shè)備工作過(guò)程中，藥液的添加一般分為微量添加與定量添加兩種，其中定量添加主要用于對(duì)設(shè)備槽體配液，設(shè)備配液時(shí)，會(huì)根據(jù)設(shè)定好的藥液配比進(jìn)行大容積定量添加，定量添加的體積在調(diào)試時(shí)已經(jīng)確定，正常生產(chǎn)時(shí)不可調(diào)整，定量添加可以是混合藥液，也可以是單一藥液，對(duì)于配方固定的生產(chǎn)過(guò)程，理論上不需要進(jìn)行微量添加，但考慮到某些客戶可能需要對(duì)槽體進(jìn)行手動(dòng)微量添加，從而調(diào)整槽體藥液配方，因此有實(shí)現(xiàn)0.r30L之間的任意體積藥水添加的需求，因此有些設(shè)備特別設(shè)置有微量添加功倉(cāng)泛。
[0003]但是，對(duì)于連續(xù)性較強(qiáng)的流水線生產(chǎn)過(guò)程中的藥液添加，則需要自動(dòng)化程度較高的自動(dòng)控制設(shè)備對(duì)藥液添加過(guò)程進(jìn)行精密監(jiān)控?，F(xiàn)在市場(chǎng)上解決此技術(shù)問(wèn)題多是采用PLC單片機(jī)對(duì)單個(gè)藥液的供給實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化精準(zhǔn)控制，這樣造成的后果是設(shè)備復(fù)雜程度高，操作起來(lái)比較繁瑣，而且，日常維護(hù)也比較困難。
[0004]其實(shí)在某些藥液配比要求不是很嚴(yán)格的場(chǎng)合，只需要對(duì)較大用量的藥液進(jìn)行單獨(dú)監(jiān)控，并通過(guò)增壓泵實(shí)現(xiàn)定量供給，就足以解決流水線的連續(xù)性生產(chǎn)問(wèn)題。但目前還沒(méi)有一種可以對(duì)藥液實(shí)施預(yù)配，并按設(shè)定的比例對(duì)規(guī)定各類的藥液按配比進(jìn)行定量輸出的自動(dòng)配料工作站。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型正是針對(duì)以上技術(shù)問(wèn)題，提供一種可以對(duì)藥液實(shí)施預(yù)配，并按設(shè)定的比例對(duì)規(guī)定各類的藥液按配比進(jìn)行定量輸出的自動(dòng)配料工作站。
[0006]本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)。
[0007]自動(dòng)配料工作站，包括機(jī)體、電控箱、增壓泵、預(yù)溶藥桶、預(yù)溶藥液輸出口、萬(wàn)向輪、支撐架、連接管道，其特征在于預(yù)溶藥桶為多個(gè)，多個(gè)預(yù)溶藥桶分布在機(jī)體內(nèi)，預(yù)溶藥桶頂部設(shè)置有藥液添加孔，預(yù)溶藥桶通過(guò)連接管道與增壓泵連接，并經(jīng)增壓泵通過(guò)設(shè)置在增壓泵一側(cè)的預(yù)溶藥液輸出口進(jìn)行預(yù)溶藥液的輸出，增壓泵上方設(shè)置有電控箱，增壓泵與電控箱連接，機(jī)體下方四角位置設(shè)置有萬(wàn)向輪，機(jī)體下方的每個(gè)萬(wàn)向輪旁邊設(shè)置有一個(gè)支撐架。預(yù)溶藥桶為四個(gè)。電控箱通過(guò)控制增壓泵的動(dòng)力對(duì)增壓泵進(jìn)行控制。預(yù)溶藥液輸出口設(shè)置在增壓泵下方。
[0008]本實(shí)用新型通過(guò)螺旋式可調(diào)節(jié)支撐架與萬(wàn)向輪結(jié)合，在需要移動(dòng)時(shí)，將支撐架調(diào)短，使萬(wàn)向輪著地，需要進(jìn)行配料輸出時(shí)，將支撐架調(diào)長(zhǎng)，使萬(wàn)向輪離地，機(jī)臺(tái)主要靠支撐架支撐，這樣可以節(jié)省藥液輸送的管道，而且可以多臺(tái)設(shè)備共用一臺(tái)配料工作站。另外，本實(shí)用新型通過(guò)將四個(gè)預(yù)溶藥桶兩兩并排設(shè)置在機(jī)體內(nèi)，節(jié)省了空間，而且四個(gè)預(yù)溶藥桶已經(jīng)能滿足大部分工廠主要藥液配比需求。
[0009]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0010]附圖中，圖1是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖，其中:
[0011]1 一機(jī)體，2—電控箱，3—增壓泵，4一預(yù)溶藥桶，5—預(yù)溶藥液輸出口，6—萬(wàn)向輪，7—支撐架，8—連接管道。

【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0013]自動(dòng)配料工作站，包括機(jī)體1、電控箱2、增壓泵3、預(yù)溶藥桶4、預(yù)溶藥液輸出口5、萬(wàn)向輪6、支撐架7、連接管道8，其特征在于預(yù)溶藥桶4為多個(gè)，多個(gè)預(yù)溶藥桶4分布在機(jī)體1內(nèi)，預(yù)溶藥桶4頂部設(shè)置有藥液添加孔，預(yù)溶藥桶4通過(guò)連接管道8與增壓泵3連接，并經(jīng)增壓泵3通過(guò)設(shè)置在增壓泵3 —側(cè)的預(yù)溶藥液輸出口 5進(jìn)行預(yù)溶藥液的輸出，增壓泵3上方設(shè)置有電控箱2，增壓泵3與電控箱2連接，機(jī)體1下方四角位置設(shè)置有萬(wàn)向輪6，機(jī)體1下方的每個(gè)萬(wàn)向輪6旁邊設(shè)置有一個(gè)支撐架7。預(yù)溶藥桶4為四個(gè)。電控箱2通過(guò)控制增壓泵3的動(dòng)力對(duì)增壓泵3進(jìn)行控制。預(yù)溶藥液輸出口 5設(shè)置在增壓泵3下方。
[0014]本實(shí)用新型通過(guò)螺旋式可調(diào)節(jié)支撐架7與萬(wàn)向輪6結(jié)合，在需要移動(dòng)時(shí)，將支撐架7調(diào)短，使萬(wàn)向輪6著地，需要進(jìn)行配料輸出時(shí)，將支撐架7調(diào)長(zhǎng)，使萬(wàn)向輪6離地，機(jī)臺(tái)主要靠支撐架7支撐，這樣可以節(jié)省藥液輸送的管道，而且可以多臺(tái)設(shè)備共用一臺(tái)配料工作站。另外，本實(shí)用新型通過(guò)將四個(gè)預(yù)溶藥桶4兩兩并排設(shè)置在機(jī)體1內(nèi)，節(jié)省了空間，而且四個(gè)預(yù)溶藥桶4已經(jīng)能滿足大部分工廠主要藥液配比需求。
[0015]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便。
【權(quán)利要求】
1.自動(dòng)配料工作站，包括機(jī)體、電控箱、增壓泵、預(yù)溶藥桶、預(yù)溶藥液輸出口、萬(wàn)向輪、支撐架、連接管道，其特征在于預(yù)溶藥桶為多個(gè)，多個(gè)預(yù)溶藥桶分布在機(jī)體內(nèi)，預(yù)溶藥桶頂部設(shè)置有藥液添加孔，預(yù)溶藥桶通過(guò)連接管道與增壓泵連接，并經(jīng)增壓泵通過(guò)設(shè)置在增壓泵一側(cè)的預(yù)溶藥液輸出口進(jìn)行預(yù)溶藥液的輸出，增壓泵上方設(shè)置有電控箱，增壓泵與電控箱連接，機(jī)體下方四角位置設(shè)置有萬(wàn)向輪，機(jī)體下方的每個(gè)萬(wàn)向輪旁邊設(shè)置有一個(gè)支撐架。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述自動(dòng)配料工作站，其特征在于所述預(yù)溶藥桶為四個(gè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述自動(dòng)配料工作站，其特征在于所述電控箱通過(guò)控制增壓泵的動(dòng)力對(duì)增壓泵進(jìn)行控制。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述自動(dòng)配料工作站，其特征在于所述預(yù)溶藥液輸出口設(shè)置在增壓泵下方。
【文檔編號(hào)】B01F15/04GK204093402SQ201420487171
【公開(kāi)日】2015年1月14日 申請(qǐng)日期:2014年8月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月27日
【發(fā)明者】韋建晶 申請(qǐng)人:蘇州偉仕泰克電子科技有限公司