粉料反應(yīng)器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種粉料反應(yīng)器，包括反應(yīng)裝置和承載裝置，其中，反應(yīng)裝置包括腔體和對(duì)腔體加熱的加熱器，腔體上設(shè)置有用來(lái)通入反應(yīng)氣體的進(jìn)氣口和出氣口；承載裝置設(shè)于腔體內(nèi)，承載裝置包括框體和多個(gè)蓋體，框體內(nèi)形成有容置空間，框體四周的側(cè)壁上表面處設(shè)置有通氣孔，蓋體分別蓋合于框體的上下表面，使框體的容置空間上下方側(cè)形成遮蔽。本實(shí)用新型提供的一種粉料反應(yīng)器，在反應(yīng)器中煅燒原料時(shí)，控制粉料不易飛散。
【專利說(shuō)明】粉料反應(yīng)器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型是一種粉料反應(yīng)器，更確切的說(shuō)是煅燒原料控制氣體不產(chǎn)生飛散的粉料反應(yīng)器。

【背景技術(shù)】
[0002]在工業(yè)生產(chǎn)中，陶瓷類的粉料在制造時(shí)，需將混合好的粉料置入托盤，將托盤放入控制氣體(例如特定氧含量的氣體環(huán)境或惰性氣體)的反應(yīng)器中進(jìn)行煅燒，使粉料反應(yīng)成所需的形態(tài)，這種反應(yīng)器為了生產(chǎn)粉料，會(huì)特別對(duì)通入反應(yīng)氣體進(jìn)行設(shè)計(jì)，也就是說(shuō)通入反應(yīng)氣體時(shí)，不會(huì)造成托盤上的粉料產(chǎn)生飛散。然而，除了制備粉料的反應(yīng)器外，大多數(shù)的反應(yīng)器都具有加熱以及通入反應(yīng)氣體的功能，如晶硅反應(yīng)器，但這種晶硅反應(yīng)器為了使反應(yīng)氣體可快速擴(kuò)散至晶圓表面，其流速相當(dāng)?shù)目欤虼诉@種反應(yīng)器若使用于粉料制造，則會(huì)造成粉料飛散。因此，要如何讓粉料的制造，可適用于各種具有加熱以及通入反應(yīng)氣體的反應(yīng)器，不具有制造粉料功能的反應(yīng)器可制造粉料，提升反應(yīng)器的使用率，成為有關(guān)行業(yè)研究的問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的是提供一種粉料反應(yīng)器，解決上述現(xiàn)有技術(shù)中的一個(gè)或者是多個(gè)。
[0004]本實(shí)用新型提供一種粉料反應(yīng)器，包括反應(yīng)裝置和承載裝置，其中，反應(yīng)裝置包括腔體和對(duì)腔體加熱的加熱器，腔體上設(shè)置有用來(lái)通入反應(yīng)氣體的進(jìn)氣口和出氣口 ；承載裝置設(shè)于腔體內(nèi)，承載裝置包括框體和多個(gè)蓋體，框體內(nèi)形成有容置空間，框體四周的側(cè)壁上表面處設(shè)置有通氣孔，蓋體分別蓋合于框體的上下表面，使框體的容置空間上下方側(cè)形成遮蔽。
[0005]本實(shí)用新型提供的一種粉料反應(yīng)器，在反應(yīng)器中煅燒原料時(shí)，控制粉料不易飛散。
[0006]在一些實(shí)施方式中，進(jìn)氣口與出氣口設(shè)置于腔體上方側(cè)。
[0007]在一些實(shí)施方式中，框體由多個(gè)側(cè)壁圍繞并接所形成。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0008]圖1為本實(shí)用新型粉料反應(yīng)器較佳實(shí)施例的側(cè)視剖面示意圖；
[0009]圖2為本實(shí)用新型承載裝置的立體分解圖；
[0010]圖3為本實(shí)用新型承載裝置的立體外觀圖；
[0011]圖4為本實(shí)用新型承載裝置的剖面圖；
[0012]圖5為本實(shí)用新型承載裝置另一較佳實(shí)施例的立體外觀圖；
[0013]圖6為本實(shí)用新型粉料反應(yīng)器另一較佳實(shí)施例的側(cè)視剖面示意圖；
[0014]圖7為本實(shí)用新型承載裝置又一較佳實(shí)施例的立體外觀圖；
[0015]圖8為本實(shí)用新型承載裝置又一較佳實(shí)施例的立體分解圖。

【具體實(shí)施方式】
[0016]如圖1-4所示，本實(shí)用新型粉料反應(yīng)器包括反應(yīng)裝置I和承載裝置2，反應(yīng)裝置I包括腔體11以及對(duì)腔體11加熱的加熱器12，且腔體11的上方側(cè)設(shè)置有進(jìn)氣口 111與出氣口 112，進(jìn)氣口 111與出氣口 112用于通入反應(yīng)氣體以及排出反應(yīng)氣體；承載裝置2包括框體21以及2個(gè)蓋體22，框體21內(nèi)形成有容置空間23，且框體21四周的側(cè)壁211上表面處設(shè)置有通氣孔212。
[0017]當(dāng)制造粉料時(shí)，將框體21放置在蓋體22上，并將混合好的粉料4放入框體21的容置空間23內(nèi)，粉料4在容置空間23內(nèi)的高度不可超過(guò)框體21的通氣孔212，繼續(xù)取另一蓋體22蓋合在框體21表面，使蓋體22蓋合于框體21的上下表面，進(jìn)而使容置空間23下方側(cè)與上方側(cè)形成遮蔽，將承載裝置2安裝在反應(yīng)裝置I的腔體11內(nèi)，讓反應(yīng)裝置I的加熱器12對(duì)腔體11進(jìn)行加熱，并由進(jìn)氣口 111通入反應(yīng)氣體到腔體11內(nèi)，此時(shí)腔體11內(nèi)的氣體壓力產(chǎn)生變化，而使腔體11內(nèi)處于非均壓的狀態(tài)，進(jìn)而讓反應(yīng)氣體由承載裝置2的通氣孔212進(jìn)入到容置空間23內(nèi)與粉料4進(jìn)行反應(yīng)。由于反應(yīng)氣體利用腔體11內(nèi)的氣體壓力不均而產(chǎn)生流動(dòng)，而非反應(yīng)氣體本身的動(dòng)力流經(jīng)通氣孔212，且因通氣孔212的高度高于粉料4的高度，讓反應(yīng)氣體在流經(jīng)容置空間23時(shí)，不會(huì)造成飛散的問(wèn)題。
[0018]如圖5、6所示，承載裝置2安裝于反應(yīng)裝置I的腔體11內(nèi)層迭使用，即框體21與蓋體22交錯(cuò)層迭，使腔體11內(nèi)空間足夠時(shí)，可一次處理較多的粉料4，且由于承載裝置2的通氣孔212位于框體21的側(cè)表面，因此不會(huì)產(chǎn)生反應(yīng)氣體無(wú)法流人容置空間23的問(wèn)題。
[0019]如圖7、8所示，承載裝置3的框體31由4個(gè)側(cè)壁311圍繞并接所形成，使框體31內(nèi)形成有容置空間33，且各側(cè)壁311的上表面處設(shè)置有通氣孔312，而蓋體32分別蓋合于框體31的上下表面，使框體31的容置空間33上下方側(cè)形成遮蔽。
[0020]本實(shí)用新型粉料反應(yīng)器利用承載裝置2的蓋體22蓋合于框體21的上下表面，使容置空間23形成遮蔽，讓反應(yīng)氣體不會(huì)造成粉料4飛散，并利用腔體11通入反應(yīng)氣體時(shí)，腔體11內(nèi)氣體的壓力變化，讓反應(yīng)氣體由承載裝置2的通氣孔212進(jìn)入至容置空間23內(nèi)，而與粉料4進(jìn)行反應(yīng)，不會(huì)讓粉料4飛散，且可適用各種具有加熱器12以及可通入反應(yīng)氣體腔體11的反應(yīng)裝置1，且反應(yīng)過(guò)后的粉料4可于框體21移除后容易收集，方便使用者使用。
[0021]以上所述僅是本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出若干相似的變形和改進(jìn)，這些也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種粉料反應(yīng)器，其特征在于:包括反應(yīng)裝置(I)和承載裝置(2)，其中，所述反應(yīng)裝置(I)包括腔體(11)和對(duì)所述腔體(11)加熱的加熱器(12)，所述腔體(11)上設(shè)置有用來(lái)通入反應(yīng)氣體的進(jìn)氣口(111)和出氣口(112);所述承載裝置(2)設(shè)于所述腔體(11)內(nèi)，所述承載裝置(2)包括框體(21)和多個(gè)蓋體(22)，所述框體(21)內(nèi)形成有容置空間(23)，所述框體(21)四周的側(cè)壁(211)上表面處設(shè)置有通氣孔(212)，所述蓋體(22)分別蓋合于所述框體(21)的上下表面，使框體的容置空間上下方側(cè)形成遮蔽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粉料反應(yīng)器，其中，所述進(jìn)氣口(111)與出氣口(112)設(shè)置于所述腔體(11)上方側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粉料反應(yīng)器，其中，所述框體(21)由多個(gè)側(cè)壁(311)圍繞并接所形成。
【文檔編號(hào)】B01J6/00GK203935829SQ201420346084
【公開日】2014年11月12日 申請(qǐng)日期:2014年6月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月26日
【發(fā)明者】蔣一銳, 鄧康睿, 鄒佳敏, 張雨杭 申請(qǐng)人:蔣一銳, 鄧康睿, 鄒佳敏, 張雨杭