一種晶體生長爐氧化物粉塵離心式過濾器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種晶體生長爐氧化物粉塵離心式過濾器，包括罐體和過濾裝置，靠近第二穿孔的罐體內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有錐形結(jié)構(gòu)的分離腔室，分離腔室的上環(huán)形開設(shè)有至少一個與罐體內(nèi)腔相連通的進氣孔，靠近第二穿孔的罐體外側(cè)壁上延伸連接有L型結(jié)構(gòu)的廢氣出口管，第一穿孔上穿置有用于連通真空泵的清潔氣體管，清潔氣體管的另一端與分離腔室的前端部相連通，廢氣出口管通過第二穿孔與分離腔室相連通，過濾裝置包括設(shè)在廢氣出口管外部的電動機和連接在電動機輸出軸上的分離葉輪，分離葉輪設(shè)在分離腔室內(nèi)。所述的一種晶體生長爐氧化物粉塵離心式過濾器，采用離心葉輪將帶有氧化物的廢氣進行高速旋轉(zhuǎn)分離，分離后干凈氣體通過真空泵抽入，過濾效果好。
【專利說明】一種晶體生長爐氧化物粉塵離心式過濾器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及晶體生長爐，尤其是一種晶體生長爐氧化物粉塵離心式過濾器。
【背景技術(shù)】
[0002]在傳統(tǒng)的晶體生長爐中，利用過濾器對氧化物粉塵進行過濾，目前使用的過濾器采用過濾網(wǎng)，由于過濾網(wǎng)容易堵，而且過濾不干凈，氧化物容易進入真空泵造成真空泵潤滑油污染，從而造成真空泵易磨損抽真空效率下降。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是:為了克服上述中存在的問題，提供了一種晶體生長爐氧化物粉塵離心式過濾器，其設(shè)計結(jié)構(gòu)合理并且能夠避免過濾不干凈而導(dǎo)致真空泵潤滑油污染的現(xiàn)象。
[0004]本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種晶體生長爐氧化物粉塵離心式過濾器，包括用于盛裝氧化物粉塵的罐體和過濾裝置，所述的罐體側(cè)壁上橫向開設(shè)有第一穿孔和與第一穿孔相對的第二穿孔，靠近第二穿孔的罐體內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有錐形結(jié)構(gòu)的分離腔室，分離腔室的上環(huán)形開設(shè)有至少一個與罐體內(nèi)腔相連通的進氣孔，靠近第二穿孔的罐體外側(cè)壁上延伸連接有L型結(jié)構(gòu)的廢氣出口管，第一穿孔上穿置有用于連通真空泵的清潔氣體管，清潔氣體管的另一端與分離腔室的前端部相連通，廢氣出口管通過第二穿孔與分離腔室相連通，所述的過濾裝置包括設(shè)在廢氣出口管外部的電動機和連接在電動機輸出軸上的分離葉輪，分離葉輪設(shè)在分離腔室內(nèi)。
[0005]為了能夠?qū)崿F(xiàn)快速進氣，所述的分離腔室的上環(huán)形開設(shè)有兩個進氣孔。
[0006]本發(fā)明的有益效果是:所述的一種晶體生長爐氧化物粉塵離心式過濾器，采用此種設(shè)計的過濾器，解決了多年來困擾行業(yè)的難題，采用離心葉輪將帶有氧化物的廢氣進行高速旋轉(zhuǎn)分離，分離后干凈氣體通過真空泵抽入，過濾效果好。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明。
[0008]圖1是本發(fā)明所述的一種晶體生長爐氧化物粉塵離心式過濾器的整體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009]附圖中標記分述如下:1、罐體，2、分離腔室，3、進氣孔，4、廢氣出口管，5、清潔氣體管，6、電動機，7、分尚葉輪。
【具體實施方式】
[0010]現(xiàn)在結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本發(fā)明的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本發(fā)明有關(guān)的構(gòu)成。
[0011]如圖1所示的一種晶體生長爐氧化物粉塵離心式過濾器，包括用于盛裝氧化物粉塵的罐體I和過濾裝置，罐體I側(cè)壁上橫向開設(shè)有第一穿孔和與第一穿孔相對的第二穿孔，靠近第二穿孔的罐體I內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有錐形結(jié)構(gòu)的分離腔室2，分離腔室2的上環(huán)形開設(shè)有兩個與罐體I內(nèi)腔相連通的進氣孔3，靠近第二穿孔的罐體I外側(cè)壁上延伸連接有L型結(jié)構(gòu)的廢氣出口管4，第一穿孔上穿置有用于連通真空泵的清潔氣體管5，清潔氣體管5的另一端與分離腔室2的前端部相連通，廢氣出口管4通過第二穿孔與分離腔室2相連通，所述的過濾裝置包括設(shè)在廢氣出口管4外部的電動機6和連接在電動機6輸出軸上的分離葉輪7,分離葉輪7設(shè)在分離腔室2內(nèi)，在分離腔室2的前端面設(shè)有定位卡塊，清潔氣體管5的側(cè)壁上設(shè)有與定位凸塊相對應(yīng)的定位卡扣，清潔氣體管5和分離腔室2通過定位卡扣卡嵌在定位卡塊上。
[0012]本發(fā)明的一種晶體生長爐氧化物粉塵離心式過濾器，在進行使用此離心式過濾器時，對氧化物粉塵進行分離，通過電動機6帶動分離葉輪7轉(zhuǎn)動，由于分離葉輪7的高速旋轉(zhuǎn)，利用離心的原理，使氧化物粉塵形成分離狀態(tài)，分離后的清潔的空氣通過真空泵的作用從清潔氣體管5吸出，分離出來的具有氧化物的廢氣從廢氣出口管4排出。
[0013]以上述依據(jù)本發(fā)明的理想實施例為啟示，通過上述的說明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項發(fā)明技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進行多樣的變更以及修改。本項發(fā)明的技術(shù)性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定其技術(shù)性范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種晶體生長爐氧化物粉塵離心式過濾器，其特征是:包括用于盛裝氧化物粉塵的罐體(I)和過濾裝置，所述的罐體(I)側(cè)壁上橫向開設(shè)有第一穿孔和與第一穿孔相對的第二穿孔，靠近第二穿孔的罐體(I)內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有錐形結(jié)構(gòu)的分離腔室(2)，分離腔室(2)的上環(huán)形開設(shè)有至少一個與罐體(I)內(nèi)腔相連通的進氣孔(3)，靠近第二穿孔的罐體(I)外側(cè)壁上延伸連接有L型結(jié)構(gòu)的廢氣出口管(4)，第一穿孔上穿置有用于連通真空泵的清潔氣體管(5)，清潔氣體管(5)的另一端與分離腔室(2)的前端部相連通，廢氣出口管(4)通過第二穿孔與分離腔室(2)相連通，所述的過濾裝置包括設(shè)在廢氣出口管(4)外部的電動機(6)和連接在電動機(6)輸出軸上的分尚葉輪(7),分尚葉輪(7)設(shè)在分尚腔室(2)內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體生長爐氧化物粉塵離心式過濾器，其特征是:所述的分離腔室(2)的上環(huán)形開設(shè)有兩個進氣孔(3)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體生長爐氧化物粉塵離心式過濾器，其特征是:所述的分離腔室(2)的前端面設(shè)有定位卡塊，清潔氣體管(5)的側(cè)壁上設(shè)有與定位凸塊相對應(yīng)的定位卡扣，清潔氣體管(5)和分離腔室(2)通過定位卡扣卡嵌在定位卡塊上。
【文檔編號】B01D45/14GK103585824SQ201310548765
【公開日】2014年2月19日 申請日期:2013年11月6日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月6日
【發(fā)明者】蔣國慶 申請人:江蘇華盛天龍光電設(shè)備股份有限公司