專利名稱：新干法吸附式廢氣處理機的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及ー種半導體制造業(yè)中，處理產(chǎn)生廢氣的設備，尤其涉及到ー種新干法吸附式廢氣處理機。
背景技術：
廢氣處理設備是エ廠中必備的設備，在當今環(huán)境問題日益嚴重的國際情勢下，各個國家對エ廠排放廢棄物的要求也越來越嚴格，對于半導體行業(yè)，廢氣是主要的污染物，如何更好處理在生產(chǎn)中產(chǎn)生的廢氣一直是困擾各個半導體廠家發(fā)展的問題，目前市場上處理半導體生產(chǎn)中產(chǎn)生的廢氣的設備多為歐美日韓和中國臺灣地區(qū)進ロ，雖然產(chǎn)品エ藝已相對成熟，但是單價較高，更新較慢，后期維護成本較高，在安全上面也會存在一定的問題。因此，對現(xiàn)有技術應該進ー步改進。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種新干法吸附式廢氣處理機，以克服目前現(xiàn)有技術存在的上述不足。本實用新型的目的是通過以下技術方案來實現(xiàn)一種新干法吸附式廢氣處理機，包括廢氣管道、樹脂罐和N2輸入管道，所述廢氣管道與樹脂罐連接，樹脂罐分別通過帶有閥門的管道和帶有傳感閥和色彩標記傳感器的檢測管道與噴射器連接，所述廢氣管道通過設有旁通閥的管道與排出器連接，所述廢氣管道上設有壓力傳感器和入口閥，壓カ傳感器與壓カ控制器連接，壓カ控制器與E/P調(diào)節(jié)器連接；所述N2輸入管道與樹脂罐連接，N2輸入管道通過設有壓カ閥的管道與排出器連接，N2輸入管道分別通過帶有電磁閥ー的管道和帶有傳感器的管道與輸入管道連接，輸入管道通過E/P調(diào)節(jié)器與噴射器連接，所 述入口閥、閥門和旁通閥分別通過帶有電磁閥ニ和排氣閥的管道與輸入管道和輸出管道連接，所述入ロ閥通過帶有排氣閥的管道與傳感閥連接。所述N2輸入管道和檢測管道分別設有流量計，所述排氣閥上具有打開按鈕和關閉按鈕，所述輸入管道和噴射器連接的管道上設有單向閥。本實用新型的有益效果為在工作狀態(tài)中，性能好、安全等級高；通過各種設置以及感應器能夠具備相應的警報功能；氣體輸送管內(nèi)部的防腐蝕以及防固體結(jié)晶形成的技能延長了設備的壽命，依靠低壓防止了主設備和真空泵的逆流現(xiàn)象出現(xiàn)環(huán)境的親和性，廢樹脂和廢棄物可以分開處理，廢氣監(jiān)視處理系統(tǒng)完全能夠處理在TLV以下的有害氣體，有害氣體經(jīng)過處理后可以減少至1/20000以下。

下面根據(jù)附圖對本實用新型作進ー步詳細說明。圖1是本實用新型實施例所述的新干法吸附式廢氣處理機的結(jié)構示意圖。圖中[0011]1、廢氣管道；2、樹脂罐；3、N2輸入管道；4、傳感閥；5、色彩標記傳感器；6、檢測管道、噴射器；8、旁通閥；9、排出器；10、壓カ傳感器；11、入口閥；12、壓カ控制器；13、E/P調(diào)節(jié)器；14、壓カ閥；15、電磁閥一 ；16、傳感器；17、輸入管道；18、電磁閥ニ ；19、排氣閥；20、流量計；21、輸出管道；22、單向閥。
具體實施方式如圖1所示，本實用新型實施例所述的ー種新干法吸附式廢氣處理機，包括廢氣管道1、樹脂罐2和N2輸入管道3，所述廢氣管道I與樹脂罐2連接，樹脂罐2分別通過帶有閥門的管道和帶有傳感閥4和色彩標記傳感器5的檢測管道6與噴射器7連接，所述廢氣管道I通過設有旁通閥8的管道與排出器9連接，所述廢氣管道I上設有壓力傳感器10和入口閥11，壓カ傳感器10與壓カ控制器12連接，壓カ控制器12與E/P調(diào)節(jié)器13連接；所述N2輸入管道3與樹脂罐2連接，N2輸入管道3通過設有壓カ閥14的管道與排出器9連接，N2輸入管道3分別通過帶有電磁閥ー 15的管道和帶有傳感器16的管道與輸入管道17連接，輸入管道17通過E/P調(diào)節(jié)器13與噴射器7連接，所述入口閥11、閥門和旁通閥8分別通過帶有電磁閥ニ 18和排氣閥19的管道與輸入管道17和輸出管道21連接，所述入口閥11通過帶有排氣閥19的管道與傳感閥4連接。所述N2輸入管道3和檢測管道6分別設有流量計20。所述排氣閥19上具有打開按鈕和關閉按鈕。所述輸入管道17和噴射器7連接的管道上設有單向閥22。具體使用時，廢氣通過廢氣管道I進入樹脂罐2，同時干燥的N2通過隊輸入管道3也進入樹脂罐2，并對廢氣進行處理，處理好的廢氣后可排放到自然界中，產(chǎn)品控制在低壓(約720托)時進行操作，能夠預防廢氣的泄露及相關事故發(fā)生，高效的管道系統(tǒng)和溫度監(jiān)視系統(tǒng)能夠確保設備使用的高度安全化，內(nèi)部所安置的90%感應器能夠?qū)σ呀?jīng)吸附廢氣的樹脂樣品進行顏色檢查辨別，有異常便會自動觸發(fā)警報器告知使用者。本實用新型不局限于上述最佳實施方式，任何人在本實用新型的啟示下都可得出其他各種形式的產(chǎn)品，但不論在其形狀或結(jié)構上作任何變化，凡是具有與本申請相同或相近似的技術方案，均落在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
權利要求1.一種新干法吸附式廢氣處理機，包括廢氣管道(I)、樹脂罐(2)和N2輸入管道(3)，其特征在于所述廢氣管道(I)與樹脂罐(2 )連接，樹脂罐(2 )分別通過帶有閥門的管道和帶有傳感閥(4)和色彩標記傳感器(5)的檢測管道(6)與噴射器(7)連接，所述廢氣管道(I)通過設有旁通閥(8)的管道與排出器(9)連接，所述廢氣管道(I)上設有壓力傳感器(10)和入口閥(11)，壓力傳感器(10)與壓力控制器(12)連接，壓力控制器(12)與E/P調(diào)節(jié)器(13 )連接；所述N2輸入管道(3 )與樹脂罐(2 )連接，N2輸入管道(3 )通過設有壓力閥(14 )的管道與排出器(9)連接，N2輸入管道(3)分別通過帶有電磁閥一(15)的管道和帶有傳感器(16)的管道與輸入管道(17)連接，輸入管道(17)通過E/P調(diào)節(jié)器(13)與噴射器(7)連接，所述入口閥(11)、閥門和旁通閥(8)分別通過帶有電磁閥二(18)和排氣閥(19)的管道與輸入管道(17 )和輸出管道(21)連接，所述入口閥(11)通過帶有排氣閥(19 )的管道與傳感閥(4)連接。
2.根據(jù)權利要求1所述的新干法吸附式廢氣處理機，其特征在于所述隊輸入管道(3)和檢測管道(6)分別設有流量計(20)。
3.根據(jù)權利要求2所述的新干法吸附式廢氣處理機，其特征在于所述排氣閥(19)上設有打開按鈕和關閉按鈕。
4.根據(jù)權利要求3所述的新干法吸附式廢氣處理機，其特征在于所述輸入管道(17)和噴射器(7 )連接的管道上設有單向閥(22 )。
專利摘要本實用新型涉及一種新干法吸附式廢氣處理機，包括廢氣管道、樹脂罐和N2輸入管道，所述廢氣管道與樹脂罐連接，樹脂罐分別通過管道和檢測管道與噴射器連接，廢氣管道通過管道與排出器連接，廢氣管道上設有壓力傳感器，壓力傳感器與壓力控制器連接，壓力控制器與E/P調(diào)節(jié)器連接；N2輸入管道與樹脂罐連接，N2輸入管道通過管道與排出器連接，N2輸入管道分別通過管道與輸入管道連接，輸入管道通過E/P調(diào)節(jié)器與噴射器連接，所述入口閥、閥門和旁通閥分別通過管道與輸入管道和輸出管道連接。本實用新型的有益效果為性能好、安全等級高；具備警報功能；設備使用壽命長。
文檔編號B01D53/04GK202876611SQ20122041742
公開日2013年4月17日 申請日期2012年8月21日 優(yōu)先權日2012年8月21日
發(fā)明者阮毅 申請人:阮毅