專利名稱：新型硅片研磨液的攪拌裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種攪拌裝置，特別涉及一種硅片研磨液的攪拌裝置，屬于硅片加工的技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
硅片加工過(guò)程中，為了保證硅片的設(shè)計(jì)要求，要求硅片進(jìn)行研磨?，F(xiàn)有技術(shù)中，對(duì)硅片加工所要的研磨液，一般采用手工攪拌。該方法一方面容易使研磨液攪拌不均勻，另一方面人工化操作，效率低，且操作人員勞動(dòng)強(qiáng)度大。近來(lái)出現(xiàn)了一種攪拌裝置，包括攪拌葉、攪拌軸，所述攪拌葉與所述攪拌軸垂直固定成一體，所述攪拌葉為葉狀構(gòu)件。該結(jié)構(gòu)的攪拌葉攪拌時(shí)，容易使研磨液中的顆粒物容易向筒體的外圍集中，容易影響研磨液的質(zhì)量，從而，大大降低了硅片切割的質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是針對(duì)以上弊端提供一種新型硅片研磨液的攪拌裝置，該攪拌裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、攪拌均勻，從而，大大提高了研磨液的攪拌質(zhì)量，從而，確保硅片切割的質(zhì)量。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明一種新型硅片研磨液的攪拌裝置，包括攪拌軸、攪拌葉，所述攪拌葉垂直的固定在所述攪拌軸的下端，其中，所述攪拌葉包括連接部分，所述連接部分的邊緣均勻設(shè)有圓弧凸面，每個(gè)所述圓弧凸面上設(shè)有相應(yīng)的攪拌片，所述攪拌片與所述圓弧凸面垂直連接。上述的新型硅片研磨液的攪拌裝置，其中，所述攪拌片由若干板片組成，所述板片相互平行的固定成一體。上述的新型硅片研磨液的攪拌裝置，其中，所述相鄰板片之間的間隙為O. 03mm。本發(fā)明的有益效果由于所述攪拌葉包括連接部分，所述連接部分的邊緣均勻設(shè)有圓弧凸面，每個(gè)所述圓弧凸面上設(shè)有相應(yīng)的攪拌片，所述攪拌片與所述圓弧凸面垂直連接，攪拌時(shí)，通過(guò)攪拌片邊緣的圓弧凸面與攪拌片進(jìn)行攪拌，形成縱向與橫向攪拌，不僅增加了攪拌面積，且改變顆粒物的流向，從而，使研磨液內(nèi)的顆粒物分散更加均勻，大大提高了硅片的切割質(zhì)量；另外，所述攪拌葉由若干板片組成，所述板片相互平行的固定成一體，所述相鄰板片之間的間隙為O. 03_，攪拌時(shí)，顆粒物穿過(guò)間隙，與液體充公混合，從而，提高了顆粒物的分散性，提高了研磨液的質(zhì)量。


圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。如圖所示，為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明一種新型硅片研磨液的攪拌裝置，包括攪拌軸2、攪拌葉1，所述攪拌葉I垂直的固定在所述攪拌軸2的下端，所述攪拌葉I包括連接部分11，所述連接部分11的邊緣均勻設(shè)有圓弧凸面3，每個(gè)所述圓弧凸面3上設(shè)有相應(yīng)的攪拌片4，所述攪拌片4與所述圓弧凸面3垂直連接。相鄰圓弧凸面之間的夾角β為120°。所述攪拌片4由若干板片41組成，所述板片41相互平行的固定成一體，所述相鄰板片41之間的間隙α為O. 03mm。連接部分11為圓形構(gòu)件，由于所述攪拌葉I包括連接部分11，所述連接部分11的邊緣均勻設(shè)有圓弧凸面3，每個(gè)所述圓弧凸面上設(shè)有相應(yīng)的攪拌片，所述攪拌片與所述圓弧凸面垂直連接，攪拌時(shí)，通過(guò)攪拌片邊緣的圓弧凸面與攪拌片進(jìn)行攪拌，形成縱向與橫向攪拌，不僅增加了攪拌面積，且改變顆粒物的流向，從而，使研磨液內(nèi)的顆粒物分散更加均勻，大大提高了硅片的切割質(zhì)量；另外，所述攪拌葉由若干板片組成，所述板片相互平行的固定成一體，所述相鄰板片之間的間隙為O. 03mm，攪拌時(shí)，顆粒物穿過(guò)間隙，與液體充公混合，從而， 提高了顆粒物的分散性，提高了研磨液的質(zhì)量。
權(quán)利要求
1.新型硅片研磨液的攪拌裝置，包括攪拌軸、攪拌葉，所述攪拌葉垂直的固定在所述攪拌軸的下端，其特征在于，所述攪拌葉包括連接部分，所述連接部分的邊緣均勻設(shè)有圓弧凸面，每個(gè)所述圓弧凸面上設(shè)有相應(yīng)的攪拌片，所述攪拌片與所述圓弧凸面垂直連接。
2.如權(quán)利要求1所述的新型硅片研磨液的攪拌裝置，其特征在于，所述攪拌片由若干板片組成，所述板片相互平行的固定成一體。
3.如權(quán)利要求2所述的新型硅片研磨液的攪拌裝置，其特征在于，所述相鄰板片之間的間隙為O. 03mm。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種新型硅片研磨液的攪拌裝置，包括攪拌軸、攪拌葉，所述攪拌葉垂直的固定在所述攪拌軸的下端，所述攪拌葉包括連接部分，所述連接部分的邊緣均勻設(shè)有圓弧凸面，每個(gè)所述圓弧凸面上設(shè)有相應(yīng)的攪拌片，所述攪拌片與所述圓弧凸面垂直連接，由于所述攪拌葉包括連接部分，所述連接部分的邊緣均勻設(shè)有圓弧凸面，每個(gè)所述圓弧凸面上設(shè)有相應(yīng)的攪拌片，所述攪拌片與所述圓弧凸面垂直連接，攪拌時(shí)，通過(guò)攪拌片邊緣的圓弧凸面與攪拌片進(jìn)行攪拌，形成縱向與橫向攪拌，不僅增加了攪拌面積，且改變顆粒物的流向，從而，使研磨液內(nèi)的顆粒物分散更加均勻，大大提高了硅片的切割質(zhì)量。
文檔編號(hào)B01F15/00GK103055753SQ20121058093
公開(kāi)日2013年4月24日 申請(qǐng)日期2012年12月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月27日
發(fā)明者聶金根 申請(qǐng)人:鎮(zhèn)江市港南電子有限公司