專利名稱：用于單晶爐的真空系統(tǒng)過濾器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及過濾裝置，特別涉及一種單晶爐生產(chǎn)過程中使用的單晶爐真空系統(tǒng)過濾器。
背景技術(shù)：
直拉單晶的生產(chǎn)，需要在高溫真空狀態(tài)下進(jìn)行，單晶爐內(nèi)會產(chǎn)生許多高溫?fù)]發(fā)物，這些高溫?fù)]發(fā)物如果直接進(jìn)入到真空泵內(nèi)，會污染真空泵油，影響真空泵的安全運(yùn)行，因此，設(shè)置單晶爐真空系統(tǒng)過濾器，用以凈化氣體真空?，F(xiàn)有的單晶爐真空系統(tǒng)過濾器是由過濾網(wǎng)架、焊接在過濾網(wǎng)架兩端的支撐圈、環(huán)繞在過濾網(wǎng)架上并與支撐圈連接的圓形過濾網(wǎng)構(gòu)成。這種結(jié)構(gòu)的過濾效果不好，需較為頻繁的清理過濾器，否則容易堵塞，降低抽氣功能；加之清理較為麻煩。一般每拉單晶5飛爐就需要更換真空泵油，影響真空泵的吸力和抽吸效果，甚至影響單晶成品率及產(chǎn)品質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是要解決現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問題，提供一種拆卸方便，且過濾效果好，可防止單晶爐中的灰塵、高溫?fù)]發(fā)物等進(jìn)入真空泵中的真空系統(tǒng)過濾器。本發(fā)明采取的技術(shù)方案是提供一種用于單晶爐的真空系統(tǒng)過濾器，包括罐體和設(shè)于罐體上的進(jìn)氣口及出氣口 ；在罐底焊接有一個支撐環(huán)，支撐環(huán)上設(shè)濾芯支撐圓盤；濾芯支撐圓盤上開設(shè)若干排氣孔，每個排氣孔對應(yīng)安裝一個濾芯；濾芯支撐圓盤、支撐環(huán)和罐底構(gòu)成過濾器的潔凈區(qū)，所述出氣口設(shè)于罐體底部且其開口位置處于支撐環(huán)之內(nèi)。作為一種改進(jìn)，所述進(jìn)氣口設(shè)于罐體側(cè)面的中上部。作為一種改進(jìn)，所述濾芯支撐圓盤上的排氣孔內(nèi)焊接有用于固定濾芯的T型螺桿。作為一種改進(jìn)，所述濾芯支撐圓盤上焊接有一對把手。作為一種改進(jìn)，所述濾芯分為上下兩段。作為一種改進(jìn)，所述出氣口設(shè)有一個90°的彎頭，方向與進(jìn)氣口相對。作為一種改進(jìn)，所述罐體上端呈開口狀，配有頂蓋；頂蓋和法蘭邊緣罐體之間設(shè)置密封圈，并通過雙頭卡夾緊；罐體側(cè)面固定焊接有一個搖臂機(jī)構(gòu)，搖臂機(jī)構(gòu)通過螺桿與頂蓋相連。本發(fā)明的有益效果在于首先，由于采用濾芯組件，由傳統(tǒng)的單個濾芯變?yōu)槎鄠€特制濾芯，增加了過濾面積，加強(qiáng)了過濾效果，且不易堵塞，減少了清理次數(shù)。解決了現(xiàn)有的過濾器過濾效果不好，需較為頻繁的清理，且容易堵塞，清理麻煩，影響產(chǎn)品質(zhì)量的問題。其次，多個濾芯及排氣孔，確保了不影響真空泵的吸力，保證了單晶爐內(nèi)真空抽吸效果，在一定程度上保證了單晶成品率。
最后，搖臂機(jī)構(gòu)使得頂蓋拆裝方便，從而方便了對特制空氣濾芯組件的清理。


圖I是本發(fā)明的示意圖(只展示了一個濾芯)。圖2是本發(fā)明的A向視圖。圖3是本發(fā)明的B-B剖視圖。圖中附圖標(biāo)記進(jìn)氣口 I、罐體2、濾芯3、濾芯支撐圓盤4、罐體支撐組件5、頂蓋6、 搖臂機(jī)構(gòu)7、出氣口 8、支撐環(huán)9。
具體實(shí)施例方式如圖所示，該單晶爐真空系統(tǒng)過濾器包括進(jìn)氣口 I、罐體2、濾芯3、濾芯支撐圓盤
4、罐體支撐組件5、頂蓋6、搖臂機(jī)構(gòu)7、出氣口 8、支撐環(huán)9 ;罐體2頂部設(shè)有頂蓋6及搖臂機(jī)構(gòu)7，搖臂機(jī)構(gòu)7通過一個螺桿與頂蓋6連接，可繞其支撐桿旋轉(zhuǎn)360°，用于清理過濾器。在罐體2—側(cè)的中上部設(shè)有進(jìn)氣口 1，在罐體2的底部設(shè)有一個90°彎頭連接的出氣口 8，方向與進(jìn)氣口 I相對。罐體2內(nèi)部設(shè)有濾芯3、濾芯支撐圓盤4及支撐環(huán)9，其中濾芯3有多個，每個濾芯3均由上下兩段組成；濾芯支撐圓盤4是一個開設(shè)多個排氣孔的圓盤，每個排氣孔內(nèi)焊接一個T形螺桿，濾芯支撐圓盤4另焊接一對把手。濾芯支撐圓盤4放置于支撐環(huán)4上，濾芯3穿過T形螺桿固定在濾芯支撐圓盤4上。支撐環(huán)4焊接在罐體內(nèi)，支撐濾芯支撐圓盤4 ;在罐體2底部焊有罐體支撐組件5。使用方法擰開罐體2與頂蓋6之間的夾緊裝置雙頭卡，利用搖臂機(jī)構(gòu)7將頂蓋6移開，將濾芯3安裝于濾芯支撐圓盤4上，然后提兩個把手，將濾芯3與濾芯支撐圓盤4放置在支撐環(huán)9上。這樣，濾芯支撐圓盤4、支撐環(huán)9和罐底就形成了潔凈區(qū)，再將頂蓋6蓋在罐體2上，用雙頭卡夾緊。對爐體進(jìn)行真空過濾器時，進(jìn)氣口 I與爐體主真空管道相連，出氣口 8與真空泵相連。氣體從進(jìn)氣口 I進(jìn)入，經(jīng)過濾芯3將有爐體內(nèi)的高溫?fù)]發(fā)物擋于濾芯3處，潔凈的氣體通過支撐圓盤4上的排氣孔，到達(dá)潔凈區(qū)，最后從罐體底部的出氣口 8被真空泵排出。
權(quán)利要求
1.一種用于單晶爐的真空系統(tǒng)過濾器，包括罐體和設(shè)于罐體上的進(jìn)氣口及出氣口 ；其特征在于，在罐底焊接有一個支撐環(huán)，支撐環(huán)上設(shè)濾芯支撐圓盤；濾芯支撐圓盤上開設(shè)若干排氣孔，每個排氣孔對應(yīng)安裝一個濾芯；濾芯支撐圓盤、支撐環(huán)和罐底構(gòu)成過濾器的潔凈區(qū)，所述出氣口設(shè)于罐體底部且其開口位置處于支撐環(huán)之內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的過濾器，其特征在于，所述進(jìn)氣口設(shè)于罐體側(cè)面的中上部。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的過濾器，其特征在于，所述出氣口設(shè)有一個90°的彎頭，方向與進(jìn)氣口相對。
4.根據(jù)權(quán)利要求I至3任意一項中所述的過濾器，其特征在于，所述罐體上端呈開口狀，配有頂蓋；頂蓋和法蘭邊緣罐體之間設(shè)置密封圈，并通過雙頭卡夾緊；罐體側(cè)面固定焊接有一個搖臂機(jī)構(gòu)，搖臂機(jī)構(gòu)通過螺桿與頂蓋相連。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的過濾器，其特征在于，所述濾芯支撐圓盤上的排氣孔內(nèi)焊接有用于固定濾芯的T型螺桿。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的過濾器，其特征在于，所述濾芯支撐圓盤上焊接有一對把手。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的過濾器，其特征在于，所述濾芯分為上下兩段。
全文摘要
本發(fā)明涉及過濾裝置，旨在提供一種用于單晶爐的真空系統(tǒng)過濾器。該過濾器包括罐體和設(shè)于罐體上的進(jìn)氣口及出氣口；在罐底焊接有一個支撐環(huán)，支撐環(huán)上設(shè)濾芯支撐圓盤；濾芯支撐圓盤上開設(shè)若干排氣孔，每個排氣孔對應(yīng)安裝一個濾芯；濾芯支撐圓盤、支撐環(huán)和罐底構(gòu)成過濾器的潔凈區(qū)，所述出氣口設(shè)于罐體底部且其開口位置處于支撐環(huán)之內(nèi)。本發(fā)明增加了過濾面積，加強(qiáng)了過濾效果，且不易堵塞，減少了清理次數(shù)。解決了現(xiàn)有的過濾器過濾效果不好，需較為頻繁的清理，且容易堵塞，清理麻煩，影響產(chǎn)品質(zhì)量的問題；保證了單晶爐內(nèi)真空抽吸效果，在一定程度上保證了單晶成品率；搖臂機(jī)構(gòu)使得頂蓋拆裝方便，從而方便了對特制空氣濾芯組件的清理。
文檔編號B01D46/24GK102824798SQ20121028524
公開日2012年12月19日 申請日期2012年8月10日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月10日
發(fā)明者朱亮, 曹建偉, 郭建宇, 王巍, 孫明 申請人:上虞晶信機(jī)電科技有限公司, 浙江晶盛機(jī)電股份有限公司