專利名稱：一種硅烷尾氣凈化裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于廢氣處理領(lǐng)域，特別涉及到一種硅烷尾氣凈化裝置。
背景技術(shù)：
電池片生產(chǎn)過程的 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition——等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法)環(huán)節(jié)中，會(huì)產(chǎn)生含有硅烷的尾氣。硅烷是一種無色、與空氣反應(yīng)并會(huì)引起窒息的氣體，該氣體通常與空氣接觸會(huì)引起燃燒并放出很濃的白色的無定型二氧化硅煙霧，因此必須經(jīng)過處理后才能排入大氣。傳統(tǒng)的硅烷尾氣處理方法是采用初步燃燒+直接通入水池的方法，有很高的危險(xiǎn)性和處理不穩(wěn)定性。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提出一種硅烷尾氣凈化裝置，以更好地處理硅烷尾氣。本實(shí)用新型的硅烷尾氣凈化裝置由燃燒塔和廢氣處理塔組成，關(guān)鍵在于所述燃燒塔下部設(shè)置有進(jìn)氣口，上部設(shè)置有出氣口，燃燒塔內(nèi)設(shè)置有點(diǎn)火裝置；所述廢氣處理塔的底部設(shè)置有進(jìn)風(fēng)口，頂部設(shè)置有出風(fēng)口，廢氣處理塔內(nèi)部設(shè)置有由填料支撐網(wǎng)板及其上部的填料構(gòu)成的填料層；所述填料層有兩個(gè)并上下設(shè)置，所述兩個(gè)填料層之間設(shè)置有噴嘴，所述噴嘴通過耐酸堿的管路及水泵與供水水箱相連；所述燃燒塔的出氣口與廢氣處理塔的進(jìn)風(fēng)口相通。硅烷尾氣由管道進(jìn)入燃燒塔，經(jīng)過燃燒塔內(nèi)的初級(jí)燃燒處理后，再進(jìn)入廢氣處理塔，并在塔內(nèi)向上運(yùn)動(dòng)，噴嘴噴出的液滴向下運(yùn)動(dòng)，對(duì)廢氣進(jìn)行洗滌。下部的填料層可以增大液體與氣體的接觸面積，使氣體與液滴充分接觸，達(dá)到徹底凈化效果。干凈的氣體經(jīng)過上層的填料層脫水后排出。進(jìn)一步地，所述廢氣處理塔內(nèi)的填料層與進(jìn)風(fēng)口之間設(shè)置有第二噴嘴，所述第二噴嘴通過耐酸堿的管路及水泵與供水水箱相連。這樣在廢氣經(jīng)過下部的填料層之前時(shí)可以對(duì)廢氣進(jìn)行初級(jí)降溫除塵，從而減少廢氣中的熱量及灰塵對(duì)填料層的影響。進(jìn)一步地，所述廢氣處理塔內(nèi)的填料層中的填料為特拉瑞填料，特拉瑞填料是一種高效率，低壓損的填充材，外形猶如螺絲纏繞而成，其吸附效果優(yōu)于管型填充材，且在同等體積下可降低40% 50%的靜壓損失，在同等壓降下體積可減少35% 50%，且空隙率大物質(zhì)轉(zhuǎn)移系數(shù)高，其處理效率比其他型填充材提高沈％ 35 %。進(jìn)一步地，所述燃燒塔的下部為漏斗形，所述燃燒塔的底部設(shè)置有排污口。硅烷燃燒后的粉塵會(huì)積聚在排污口處，當(dāng)運(yùn)行一段時(shí)間后，打開排污口進(jìn)行清理粉塵。進(jìn)一步地，所述燃燒塔設(shè)置有壓縮空氣充氣口和氮?dú)獬錃饪?，所述壓縮空氣充氣口和氮?dú)獬錃饪诰O(shè)置有流量控制器。硅烷尾氣進(jìn)入燃燒塔的同時(shí)也通入壓縮空氣和氮?dú)?，壓縮空氣用來推助硅烷尾氣的燃燒反應(yīng)，氮?dú)鈩t用來吹散硅烷燃燒之后產(chǎn)生粉塵，不讓其粘到燃燒塔上。壓縮空氣及氮?dú)舛寂溆辛髁靠刂破鳎钥刂茪怏w的流入體積及速度。本實(shí)用新型的硅烷尾氣凈化裝置結(jié)構(gòu)簡單，處理集中化，成本低，操作維護(hù)方便，
3廢氣處理穩(wěn)定、高效、徹底，適用于電池等行業(yè)的廢氣處理。
圖1是本實(shí)用新型的硅烷尾氣凈化裝置中的燃燒塔的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實(shí)用新型的硅烷尾氣凈化裝置中的廢氣處理塔的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面對(duì)照附圖，通過對(duì)實(shí)施實(shí)例的描述，對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
如所涉及的各構(gòu)件的形狀、構(gòu)造、各部分之間的相互位置及連接關(guān)系、各部分的作用及工作原理等作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。實(shí)施例1 本實(shí)施例的硅烷尾氣凈化裝置由燃燒塔1和廢氣處理塔2組成.如圖1所示，燃燒塔1下部設(shè)置有進(jìn)氣口 11，上部設(shè)置有出氣口 12，燃燒塔內(nèi)設(shè)置有點(diǎn)火裝置，燃燒塔1的下部為漏斗形，燃燒塔的底部設(shè)置有排污口 13。燃燒塔1設(shè)置有壓縮空氣充氣口 14和氮?dú)獬錃饪?15，壓縮空氣充氣口 14和氮?dú)獬錃饪?15均設(shè)置有流量控制器(圖中未畫出流量控制器及點(diǎn)火裝置)。如圖2所示，廢氣處理塔2的底部設(shè)置有進(jìn)風(fēng)口 21，頂部設(shè)置有出風(fēng)口 22，廢氣處理塔內(nèi)部設(shè)置有由填料支撐網(wǎng)板及其上部的填料構(gòu)成的填料層23、24 ；所述填料層23J4 上下設(shè)置，填料層23J4之間設(shè)置有噴嘴25，噴嘴25通過耐酸堿的管路及水泵與供水水箱相連；廢氣處理塔內(nèi)的填料層23與進(jìn)風(fēng)口 21之間設(shè)置有第二噴嘴沈，第二噴嘴沈通過耐酸堿的管路及水泵與供水水箱相連(圖中未畫出水泵與供水水箱)。燃燒塔的出氣口 12與廢氣處理塔的進(jìn)風(fēng)口 21相通。硅烷尾氣由管道進(jìn)入燃燒塔1，經(jīng)過燃燒塔1內(nèi)的初級(jí)燃燒處理后，再進(jìn)入廢氣處理塔2。硅烷尾氣進(jìn)入燃燒塔1的同時(shí)也通入壓縮空氣和氮?dú)?，壓縮空氣用來推助硅烷尾氣的燃燒反應(yīng)，氮?dú)鈩t用來吹散硅烷燃燒之后產(chǎn)生粉塵，不讓其粘到燃燒塔上。壓縮空氣及氮?dú)舛寂溆辛髁靠刂破?，以控制氣體的流入體積及速度。硅烷燃燒后的粉塵會(huì)積聚在排污口 14處，當(dāng)運(yùn)行一段時(shí)間后，打開排污口 14進(jìn)行清理粉塵。在廢氣處理塔2內(nèi)，第二噴嘴沈噴出的液滴向下運(yùn)動(dòng)，對(duì)廢氣進(jìn)行初級(jí)降溫除塵； 然后廢氣再經(jīng)過下部的填料層23向上運(yùn)動(dòng)，同時(shí)噴嘴25噴出的液滴向下運(yùn)動(dòng)，填料層23 可以增大液體與氣體的接觸面積，使氣體與液滴充分接觸，達(dá)到徹底凈化效果。干凈的氣體經(jīng)過上層的填料層M脫水后排出。廢氣處理塔2內(nèi)的填料層23、24中的填料為特拉瑞填料。
權(quán)利要求1.一種硅烷尾氣凈化裝置，由燃燒塔和廢氣處理塔組成，其特征在于所述燃燒塔下部設(shè)置有進(jìn)氣口，上部設(shè)置有出氣口，燃燒塔內(nèi)設(shè)置有點(diǎn)火裝置；所述廢氣處理塔的底部設(shè)置有進(jìn)風(fēng)口，頂部設(shè)置有出風(fēng)口，廢氣處理塔內(nèi)部設(shè)置有由填料支撐網(wǎng)板及其上部的填料構(gòu)成的填料層；所述填料層有兩個(gè)并上下設(shè)置，所述兩個(gè)填料層之間設(shè)置有噴嘴，所述噴嘴通過耐酸堿的管路及水泵與供水水箱相連；所述燃燒塔的出氣口與廢氣處理塔的進(jìn)風(fēng)口相O
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅烷尾氣凈化裝置，其特征在于所述廢氣處理塔內(nèi)的填料層與進(jìn)風(fēng)口之間設(shè)置有第二噴嘴，所述第二噴嘴通過耐酸堿的管路及水泵與供水水箱相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅烷尾氣凈化裝置，其特征在于所述廢氣處理塔內(nèi)的填料層中的填料為特拉瑞填料。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅烷尾氣凈化裝置，其特征在于所述燃燒塔的下部為漏斗形，所述燃燒塔的底部設(shè)置有排污口。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅烷尾氣凈化裝置，其特征在于所述燃燒塔設(shè)置有壓縮空氣充氣口和氮?dú)獬錃饪冢鰤嚎s空氣充氣口和氮?dú)獬錃饪诰O(shè)置有流量控制器。
專利摘要本實(shí)用新型的目的是提出一種硅烷尾氣凈化裝置，以更好地處理硅烷尾氣。本實(shí)用新型的硅烷尾氣凈化裝置由燃燒塔和廢氣處理塔組成，關(guān)鍵在于所述燃燒塔下部設(shè)置有進(jìn)氣口，上部設(shè)置有出氣口，燃燒塔內(nèi)設(shè)置有點(diǎn)火裝置；所述廢氣處理塔的底部設(shè)置有進(jìn)風(fēng)口，頂部設(shè)置有出風(fēng)口，廢氣處理塔內(nèi)部設(shè)置有由填料支撐網(wǎng)板及其上部的填料構(gòu)成的填料層；所述填料層有兩個(gè)并上下設(shè)置，所述兩個(gè)填料層之間設(shè)置有噴嘴，所述噴嘴通過耐酸堿的管路及水泵與供水水箱相連；所述燃燒塔的出氣口與廢氣處理塔的進(jìn)風(fēng)口相通。本實(shí)用新型的硅烷尾氣凈化裝置結(jié)構(gòu)簡單，處理集中化，成本低，操作維護(hù)方便，廢氣處理穩(wěn)定、高效、徹底，適用于電池等行業(yè)的廢氣處理。
文檔編號(hào)B01D47/06GK202203958SQ20112030988
公開日2012年4月25日 申請(qǐng)日期2011年8月24日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月24日
發(fā)明者趙曉武 申請(qǐng)人:蘇州仕凈環(huán)保設(shè)備有限公司