專(zhuān)利名稱：供應(yīng)液體原材料的方法及設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種供應(yīng)液體原材料的方法和設(shè)備，特別涉及一種在半導(dǎo)體制造工藝中從液體原材料容器向液流控制部分供應(yīng)原材料，同時(shí)排出原材料中的氣體等的方法和設(shè)備。
近些年來(lái)，隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展，已開(kāi)發(fā)出高性能和高集成度半導(dǎo)體器件。關(guān)于用于金屬膜和絕緣膜的原材料，已經(jīng)可以用各種液態(tài)有機(jī)金屬化合物代替通常采用的氫化物氣體和鹵化物氣體。
例如，關(guān)于半導(dǎo)體器件的金屬膜，可以用二甲基鋁氫化物(Al(CH3)2H)作鋁膜的CVD原材料，用六氟乙酰丙酮銅乙烯基三甲基硅烷((CF3CO)2CHCu·CH2CHSi(CH3)3)作銅膜的原材料，用二乙基環(huán)戊二烯基釕(Ru(C5H4C2H5)2)作釕膜的CVD原材料。
另外，關(guān)于半導(dǎo)體器件的絕緣膜，已知用SiO2作柵絕緣膜，用Si3N4作電容絕緣膜，用PSG(磷/硅/玻璃)和BPSG(硼/磷/硅/玻璃)作層間絕緣膜。另外，用四乙氧基原硅烷(Si(OC2H5)4)作SiO2膜的CVD原材料，用三甲氧基硼(B(OCH3)3)、三甲氧基磷化氫氧化物(PO(OCH3)3)等作PSG膜和BPSG膜的CVD原材料。
同時(shí)，已開(kāi)發(fā)出利用蒸汽，以希望的濃度和希望的流量，向半導(dǎo)體制造設(shè)備供應(yīng)這些液體原材料的各種設(shè)備和方法。例如，已知有配有用于控制液體原材料流量的液流控制部分和利用超聲振動(dòng)霧化受流量控制部分控制的液體原材料并通過(guò)加熱汽化霧化材料的汽化器的液體原材料汽化設(shè)備(日本專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)5-132779)。另外，還有一種供應(yīng)液體原材料的方法，其中其流量受液流控制部分控制的液體原材料與加壓攜帶氣體混合，然后氣體的流量被控制為恒定(日本專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)9-111456)。另外，還有一種供應(yīng)液體原材料的方法，具有與質(zhì)流控制器和低壓源連接及去除溶解于液體原材料中的氣體的設(shè)備(日本專(zhuān)利申請(qǐng)6-220604)。
在用于上述供應(yīng)方法或供應(yīng)設(shè)備的液流控制部分中，由于液體原材料必須以極高的精度定量供應(yīng)到汽化器，所以采用了可以沒(méi)有脈動(dòng)流供應(yīng)液體原材料的兩串以上耐蝕隔膜泵或質(zhì)流控制器代替泵。在液體原材料為均相時(shí)，這種隔膜泵和液體質(zhì)流控制器可向汽化器高精度定量供應(yīng)液體原材料。然而，當(dāng)在液體原材料中存在惰性氣體等作為細(xì)氣泡時(shí)，無(wú)法以恒定的流量供應(yīng)液體原材料。
即，在一般的液體原材料供應(yīng)系統(tǒng)中，液體原材料容器中填充有例如氦、氮、氬等惰性氣體，在制造半導(dǎo)體時(shí)，利用惰性氣體的壓力，向液流控制部分供應(yīng)液體原材料。
因此，在制造半導(dǎo)體的工藝中，由于液體原材料容器中惰性氣體的加壓條件的緣故，較大量惰性氣體溶解于液體原材料中。另一方面，CVD設(shè)備在減壓條件下工作。因此，設(shè)置于容器和CVD設(shè)備之間的液流控制部分在大氣壓或低壓下工作。當(dāng)液體原材料到達(dá)液流控制部分的出口側(cè)的時(shí)候，惰性氣體在液體原材料中的溶解度降低，溶解的惰性氣體頻繁地產(chǎn)生細(xì)氣泡。如果液體原材料中存在細(xì)氣泡，則會(huì)產(chǎn)生在隔膜泵或質(zhì)流控制器中無(wú)法測(cè)量液體原材料的問(wèn)題，和無(wú)法以汽態(tài)高精度定量向半導(dǎo)體制造設(shè)備供應(yīng)液體原材料的問(wèn)題。另外，在液體原材料通過(guò)液流控制部分后，在液體原材料中產(chǎn)生細(xì)氣泡時(shí)，存在著氣泡負(fù)面影響膜質(zhì)量均勻性的問(wèn)題。
因此，本發(fā)明的目的是解決上述問(wèn)題，提供一種供應(yīng)液體原材料的方法和設(shè)備，該方法和設(shè)備能夠在利用液體原材料的半導(dǎo)體制造工藝中，在利用例如隔膜泵或質(zhì)流控制部分中控制液體原材料的流量之前，容易且有效地去除上述溶解于液體原材料中的惰性氣體。
本發(fā)明的發(fā)明人最早進(jìn)行了解決上述問(wèn)題的研究，結(jié)果，發(fā)現(xiàn)通過(guò)使其中溶解有第一惰性氣體的液體原材料在透氣合成樹(shù)脂管內(nèi)通過(guò)，并使對(duì)合成樹(shù)脂管的透過(guò)率比第一惰性氣體低的第二惰性氣體通過(guò)，以便在限制第二惰性氣體滲透到合成樹(shù)脂管內(nèi)的同時(shí)，使第一惰性氣體滲透到合成樹(shù)脂管外。于是完成本發(fā)明。
具體說(shuō)，本發(fā)明涉及一種供應(yīng)液體原材料的方法，其中排出液體原材料中的氣體，并從液體原材料容器向液流控制部分供應(yīng)液體原材料，該方法包括以下步驟使利用第一惰性氣體的壓力從液體原材料容器供應(yīng)的液體原材料在透氣合成樹(shù)脂管內(nèi)通過(guò)；使對(duì)合成樹(shù)脂管的滲透率比第一惰性氣體低的第二惰性氣體沿合成樹(shù)脂管的外表面通過(guò)，從而允許溶解于液體原材料中的第一惰性氣體滲透到合成樹(shù)脂管外；然后，將液體原材料供應(yīng)到液流控制部分。
本發(fā)明還涉及一種供應(yīng)液體原材料的設(shè)備。該設(shè)備配有液體原材料的除氣部分和液流控制部分，除氣部分包括透氣合成樹(shù)脂管、引入和排出液體原材料并通過(guò)合成樹(shù)脂管彼此連接的引入口和排出口、使惰性氣體沿合成樹(shù)脂管的外表面通過(guò)的通道及引入和排出惰性氣體的引入口和排出口。
附圖中

圖1是展示本發(fā)明所用除氣部分的例子的透視圖；圖2(A)和2(B)分別是展示本發(fā)明所用除氣部分的例子的縱剖圖；圖3是展示本發(fā)明的供應(yīng)設(shè)備應(yīng)用于汽化和供應(yīng)單元的例子的結(jié)構(gòu)圖；圖4是實(shí)施例1和比較例1中供應(yīng)液體原材料試驗(yàn)中流量偏差結(jié)果的曲線圖。
本發(fā)明應(yīng)用于從液體原材料容器向液流控制部分供應(yīng)半導(dǎo)體制造工藝等采用的液體原材料的方法和設(shè)備。
對(duì)本發(fā)明的供應(yīng)方法和設(shè)備采用的原材料沒(méi)有特別限制，只要能夠保持液態(tài)便可，包括在室溫下為液體和即便是固態(tài)但溶于溶劑中的情況?？梢愿鶕?jù)用途任意選擇這些原材料。原材料的例子可以包括在室溫下為液體的醇鹽，例如，四-異丙氧基鈦(Ti(OCH(CH3)2)4)、四-n-丙氧基鈦(Ti(OC3H7)4)、四-叔-丁氧基鋯(Zr(OC(CH3)3)4)、四-n-丁氧基鋯(Zr(OC4H9)4)、四甲氧基釩(V(OCH3)4)、三甲氧基釩基氧化物(VO(OCH3)3)、五乙氧基鈮(Nb(OC2H5)5)、五乙氧基鉭(Ta(OC2H5)5)、三甲氧基硼(B(OCH3)3)、三-異丙氧基鋁(Al(OCH(CH3)2)3)、四乙氧基硅(Si(OCH2H5)4)、四乙氧基鍺(Ge(OC2H5)4)、四甲氧基錫(Sn(OCH3)4)、三甲氧基磷(P(OCH3)3)、三甲氧基磷化氫氧化物(PO(OCH3)3)、三乙氧基砷(As(OCH2H5)3)、和三乙氧基銻(Sb(OCH2H5)3)。
除上述化合物外，還可以采用在室溫下為液體的其它原材料，例如，三甲基鋁(Al(CH3)3)、二甲基鋁氫化物(Al(CH3)2H)、三-異丁基鋁(Al(異-C4H9)3)、六氟乙酰丙酮銅乙烯基三甲基硅烷((CF3CO)2CHCu·CH2CHSi(CH3)3)、六氟乙酰丙酮銅烯丙基三甲基硅烷((CF3CO)2CHCu·CH2CHCH2Si(CH3)3)、二(異-丙基環(huán)戊二烯基)鎢二鹵化物((異-C3H7C5H5)2WH2)、四二甲基氨基鋯(Zr(N(CH3)2)4)、五二乙基氨基鉭(Ta(N(C2H5)2)5)、四二甲基氨基鈦(Ti(N(CH3)2)4)、和四二乙基氨基鈦(Ti(N(C2H5)2)4)。
另外，原材料的例子可以包括六羰基鉬(Mo(CO)6)、二甲基五氧基金(Au(CH3)2(OC5H7))、二(2,2,6,6,-四甲基-3,5庚烷dionite)鋇(Ba((C(CH3)3)2C3HO2)2)、二(2,2,6,6,-四甲基-3,5庚烷dionite)鍶(Sr((C(CH3)3)2C3HO2)2)、四(2,2,6,6,-四甲基-3,5庚烷dionite)鈦(Ti((C(CH3)3)2C3HO2)2)、四(2,2,6,6,-四甲基-3,5庚烷dionite)鋯(Ti((C(CH3)3)2C3HO2)2)、二(2,2,6,6,-四甲基-3,5庚烷dionite)鉛(Pb((C(CH3)3)2C3HO2)2)、和五二甲基氨基鉭(Ta(N(CH3)2)5)，這些材料在室溫下為固態(tài)。通過(guò)在例如己烷、庚烷、乙酸丁酯、異丙醇或四氫呋喃等有機(jī)溶劑中溶解這些原材料，可以以約0.1-0.5摩爾/升的濃度使用這些材料。
下面將結(jié)合圖1-3具體介紹根據(jù)本發(fā)明供應(yīng)液體原材料的方法和設(shè)備，然而，這些附圖并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的限制。
根據(jù)本發(fā)明供應(yīng)液體原材料的設(shè)備配有除去液體原材料的氣體的除氣部分和液流控制部分。在該設(shè)備中，在除去上述這種液體原材料中溶解的惰性氣體的同時(shí)，液體原材料從液體原材料容器供應(yīng)到液流控制器，從而可以在液流控制部分高精度控制液體原材料。根據(jù)本發(fā)明供應(yīng)液體原材料的設(shè)備例如可應(yīng)用于圖3所示的汽化和供應(yīng)設(shè)備。
如圖1和2所示，根據(jù)本發(fā)明的供應(yīng)液體原材料的設(shè)備中的除氣部分包括透氣合成樹(shù)脂管5、分別引入和排出液體原材料并通過(guò)合成樹(shù)脂管彼此連接的引入口1和排出口2、使惰性氣體沿合成樹(shù)脂管外表面通過(guò)的通道6、及分別引入和排出惰性氣體的引入口3和排出口4。在該除氣部分，允許其中溶有第一惰性氣體的液體原材料在透氣合成樹(shù)脂管內(nèi)側(cè)流動(dòng)，允許對(duì)合成樹(shù)脂管的滲透率低于第一惰性氣體的第二惰性氣體沿合成樹(shù)脂管的外表面流動(dòng)，從而允許溶于液體原材料的第一惰性氣體滲透到合成樹(shù)脂管的外部，被除去。
關(guān)于除氣部分的最簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)的例子，可以給出由透氣合成樹(shù)脂管作為內(nèi)管和不透氣管作為外管構(gòu)成的雙重管。需要使合成樹(shù)脂管較窄和較長(zhǎng)，以便以有效的方式除去溶于液體原材料中的惰性氣體。由于因此除氣部分變得尺寸較長(zhǎng)，所以較好是采用具有螺旋纏繞并封閉透氣合成樹(shù)脂管結(jié)構(gòu)的除氣部分。關(guān)于這種除氣部分，例如有螺旋纏繞透氣合成樹(shù)脂管并將之封閉在圖1透視圖所示和圖2(A)的縱剖圖所示的圓柱形或多邊柱形容器內(nèi)的結(jié)構(gòu)的除氣部分。
另外，如圖2(B)的縱剖圖所示，除氣部分具有繞柱7或多邊柱的側(cè)面螺旋纏繞透氣合成樹(shù)脂管，并且將之封閉在圓柱形或多邊柱形容器內(nèi)的結(jié)構(gòu)，用于控制第二惰性氣體，以使其在固定方向流動(dòng)，并增大第二惰性氣體的流量，促進(jìn)溶于液體原材料中的第一惰性氣體滲透到合成樹(shù)脂管外。另外，如果上述圓柱由棒狀加熱器構(gòu)成，則可通過(guò)在40-80℃加熱液體原材料。進(jìn)一步促進(jìn)第一惰性氣體的滲透。
應(yīng)注意，在圖1的透視圖和圖2的縱剖圖所示的這種除氣部分中，較好是設(shè)計(jì)用于第二惰氣體的第二惰性氣體引入和排出口，使除氣部分中平穩(wěn)的環(huán)形氣流在與容器內(nèi)壁水平面相切的方向形成0-45度角。
本發(fā)明的合成樹(shù)脂管可采用任何材料，只要能透氣但不能透過(guò)液體原材料，且具有耐化學(xué)性便可。盡管例如可以采用聚乙烯、聚丙烯等，但從優(yōu)異的耐化學(xué)性考慮，較好是采用碳氟樹(shù)脂。碳氟樹(shù)脂的例子可以包括聚四氫乙烯(PTFE)、聚三氟乙烯(PTrFE)、聚偏氟乙烯(PVdF)和四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)。盡管合成樹(shù)脂管的內(nèi)徑和長(zhǎng)度根據(jù)液體原材料的流量改變，但內(nèi)徑和長(zhǎng)度一般分別為0.1-3mm和0.5-20m，較好是0.3-0.8mm和1-5m。盡管合成樹(shù)脂管的厚度根據(jù)材料類(lèi)型而不同，但一般為0.05-2mm，較好是0.1-1mm。
本發(fā)明的液流控制部分用于給汽化器高精度定量供應(yīng)液體原材料，該液流控制部分由可變流量泵、控制閥等或泵、流量控制裝置等。關(guān)于該泵，一般采用兩串以上耐侵蝕隔膜泵，以便在沒(méi)有脈沖流的條件下供應(yīng)液體原材料。該泵的輔助側(cè)可以配備檢測(cè)閥，以便即使CVD設(shè)備在減壓條件下工作，也能精確控制流量。另外，由于可以高精度供應(yīng)液體原材料，所以可用液體質(zhì)流控制器代替泵。
本發(fā)明的供應(yīng)液體原材料的方法包括除去液體原材料中的氣體，從液體原材料容器向液流控制部分供應(yīng)除氣后的液體原材料。該方法例如可以利用圖3所示的汽化和供應(yīng)設(shè)備進(jìn)行。具體說(shuō)，該方法中，利用第一惰性氣體的壓力從液體原材料容器8供應(yīng)的液體原材料9被引入除氣部分11，并能夠在透氣合成樹(shù)脂管內(nèi)通過(guò)，對(duì)合成樹(shù)脂管的滲透性比第一惰性氣體低的第二惰性氣體，也可以沿合成樹(shù)脂管的外表面通過(guò)，從而溶于液體原材料中的第一惰性氣體能夠滲透到合成樹(shù)脂管外，然后將液體原材料供應(yīng)到液流控制部分14。圖3中，數(shù)字10表示供應(yīng)第一惰性氣體的管道，數(shù)字12表示供應(yīng)第二惰性氣體的管道，數(shù)字13表示惰性氣體排氣管道，數(shù)字15表示檢測(cè)閥，數(shù)字16表示霧化器，數(shù)字17表示攜帶氣體供應(yīng)管道，數(shù)字18表示塊狀加熱器，數(shù)字19表示蒸發(fā)器，數(shù)字20表示閥門(mén)，數(shù)字21表示半導(dǎo)體制造設(shè)備。
一般采用上述供應(yīng)液體原材料的設(shè)備實(shí)施本發(fā)明供應(yīng)液體原材料氣體的方法。
關(guān)于本發(fā)明裝有液體原材料的液體原材料容器，盡管可以采用根據(jù)其用途適當(dāng)制備的容器，但可以采用適于市售液體原材料產(chǎn)器的容品。在汽化并供應(yīng)液體原材料時(shí)，供應(yīng)設(shè)備設(shè)計(jì)成利用第一惰性氣體的壓力向除氣部分11供應(yīng)液體原材料9，如圖3所示。在除氣部分11，從液體原材料容器8供應(yīng)到除氣部分11且其中溶有第一惰性氣體的液體原材料9，能夠在透氣合成樹(shù)脂管中流動(dòng)，對(duì)合成樹(shù)脂管的滲透率比第一惰性氣體低的第二惰性氣體能夠沿合成樹(shù)脂管的外表面通過(guò)。
這樣一種操作可以使溶于液體原材料中的第一惰性氣體滲透到合成樹(shù)脂管之外，同時(shí)限制第二惰性氣體滲透到合成樹(shù)脂管內(nèi)。
第一惰性氣體較好是對(duì)合成樹(shù)管滲透率高的氫或氦，第二惰性氣體較好是對(duì)合成樹(shù)脂管滲透率低且容易買(mǎi)到的氮或氬。
液體原材料在合成樹(shù)脂管中的方向和第二惰性氣體流的方向較好是相反，以促進(jìn)溶于液體原材料中的第一惰性氣體向合成樹(shù)脂管外的滲透。液體原材料流量一般為約0.01-20ml/分鐘，較好是0.1-10ml/分鐘。第二惰性氣體的流量一般為約10-5000ml/分鐘，較好為500-2000ml/分鐘。
如上所述，本發(fā)明供應(yīng)液體原材料的方法和設(shè)備能夠保證半導(dǎo)體制造工藝期間，在如隔膜泵或質(zhì)流控制器等液流控制部分中控制液體原材料的流量之前，可以容易且有效地去除溶于液體原材料中的惰性氣體。
下面將結(jié)合并非構(gòu)成對(duì)本發(fā)明限制的例子介紹本發(fā)明。
(例1)(液體原材料供應(yīng)設(shè)備的制造)制備包括除氣部分和具有圖3所示結(jié)構(gòu)的質(zhì)流控制器的液體原材料供應(yīng)設(shè)備。
除氣部分設(shè)計(jì)成具有以下結(jié)構(gòu)，在內(nèi)徑為100mm、高為200mm的圓柱形不銹鋼容器中，與該容器同軸設(shè)置外徑為60mm、高為140mm的不銹鋼圓柱體，PTFE管螺旋纏繞在圓柱體的側(cè)表面上，并被封閉。管的形狀如下內(nèi)徑1.6mm，外徑3.2mm，長(zhǎng)3.0mm。
(供應(yīng)液體原材料試驗(yàn))裝有500ml四乙氧硅原硅烷作液體原材料的市售原材料容器與按上述方式制造的液體原材料供應(yīng)設(shè)備的除氣部分相連。另外，設(shè)置非接觸式流量計(jì)，用于測(cè)量質(zhì)流控制器出品側(cè)上液體原材料流的偏差。另外，上述市售液體原材料容器內(nèi)設(shè)定為減壓氣氛。
從第一惰性氣體管道引進(jìn)氦氣，允入液體原材料容器中，然后氦氣的壓力升高到0.1MPaG。同時(shí)，質(zhì)流控制器開(kāi)始工作，以0.8ml/分鐘的流量，通過(guò)除氣部分，向質(zhì)流控制器供應(yīng)裝在液體原材料容器中的四乙氧基原硅烷。另一方面，來(lái)自第二惰性氣體管道的氮?dú)?，被允許按與液體原材料流動(dòng)方向相反的方向，在PTFE管外通過(guò)，液體原材料以0.1MPaG的壓力和500ml/分鐘的流量流動(dòng)。加于處于質(zhì)流控制器出口側(cè)處的四乙氧基原硅烷上的壓力設(shè)定為0.01MPaG。這期間由非接觸式流量計(jì)測(cè)得的四乙氧基原硅烷流量的偏差結(jié)果示于圖4。
(比較例1)除從例1的液體原材料供應(yīng)系統(tǒng)拆除了除氣部分，且液體原材料容器直接與質(zhì)流控制器連接外，按與例1相同的方式進(jìn)行供應(yīng)液體原材料的試驗(yàn)。這期間由非接觸式流量計(jì)測(cè)得的四乙氧基原硅烷流量的偏差結(jié)果也示于圖4。
在比較例1中，以約4分鐘的間隔測(cè)量四乙氧基原硅烷流量的偏差。從圖4所示的流量偏差評(píng)估，由于減壓條件，在四乙氧基原硅烷中產(chǎn)生了溶于其中的細(xì)氣泡，并且這些氣泡聚集形成不間斷的大氣泡。在例中1，四乙氧基原硅烷的流量保持恒定，為0.8ml/分鐘，沒(méi)測(cè)到流量偏差。因此，估計(jì)在除氣部分有效地除去了氦氣。
權(quán)利要求
1.一種供應(yīng)液體原材料的方法，其中除去液體原材料中的氣體，并從液體原材料容器向液流控制部分供應(yīng)液體原材料，該方法包括使通過(guò)第一惰性氣體的壓力從液體原材料容器供應(yīng)的液體原材料，在透氣合成樹(shù)脂管中通過(guò)，使對(duì)合成樹(shù)脂管的滲透率比第一惰性氣體低的第二惰性氣體沿所說(shuō)合成樹(shù)脂管的外表面通過(guò)，從而溶于液體原材料的第一惰性氣體能夠滲透到合成樹(shù)脂管外，然后將液體原材料供應(yīng)到液流控制部分。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的供應(yīng)液體原材料的方法，其中液體原材料流在合成樹(shù)脂管中的方向和第二惰性氣體流的方向相反。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的供應(yīng)液體原材料的方法，其中第一惰性氣體選自氫和氦。第二惰性氣體選自氮和氬。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的供應(yīng)液體原材料的方法，其中液體原材料包含有機(jī)金屬化合物。
5.一種供應(yīng)液體原材料的設(shè)備，具有除氣部分和液流控制部分，除氣部分包括透氣合成樹(shù)脂管、分別引入和排出液體原材料并且通過(guò)合成樹(shù)脂管彼此相連的引入口和排出口、使惰性氣體沿合成樹(shù)脂管外表面通過(guò)的通道、分別引入和排出惰性氣體的引入口和排出口。
6.根據(jù)權(quán)利要求5的供應(yīng)液體原材料的設(shè)備，其中除氣部分具有在圓柱形或多邊柱形的容器內(nèi)螺旋纏繞并封閉透氣合成樹(shù)脂管的結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求5的供應(yīng)液體原材料的設(shè)備，其中除氣部分具有在圓柱形或多邊柱形的容器內(nèi)繞柱形體或多邊柱形體螺旋纏繞并封閉透氣合成樹(shù)脂管的結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求5的供應(yīng)液體原材料的設(shè)備，其中透氣合成樹(shù)脂管由碳氟樹(shù)脂構(gòu)成。
9.根據(jù)權(quán)利要求5的供應(yīng)液體原材料的設(shè)備，其中液流控制部分包括質(zhì)流控制器。
全文摘要
這里公開(kāi)了一種供應(yīng)液體原材料的方法,其中除去液體原材料中的氣體,并從液體原材料容器向液流控制部分供應(yīng)液體原材料,該方法包括:使通過(guò)第一惰性氣體的壓力從液體原材料容器供應(yīng)的液體原材料,在透氣合成樹(shù)脂管中通過(guò),使對(duì)合成樹(shù)脂管的滲透率比第一惰性氣體低的第二惰性氣體沿所說(shuō)合成樹(shù)脂管的外表面通過(guò),從而溶于液體原材料的第一惰性氣體能夠滲透到合成樹(shù)脂管外,然后將液體原材料供應(yīng)到液流控制部分。還公開(kāi)了一種用于該方法的供應(yīng)液體原材料的設(shè)備。本發(fā)明可以保證利用液體原材料的半導(dǎo)體制造期間,可以容易且有效地去除溶于液體原材料中的惰性氣體。
文檔編號(hào)B01D19/00GK1303125SQ0013739
公開(kāi)日2001年7月11日 申請(qǐng)日期2000年12月7日 優(yōu)先權(quán)日1999年12月7日
發(fā)明者高松勇吉, 米山岳夫, 石濱義康, 淺野彰良 申請(qǐng)人:日本派歐尼股份株式會(huì)社