一種基板清洗裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本實用新型涉及一種基板清洗裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，顯示基板、封裝蓋板或照明基板等基板的表面需要比較高的清潔度，對這類產(chǎn)品的清洗的要求比較嚴(yán)格;對于帶有凹槽的基板，在旋轉(zhuǎn)甩干的時候，凹槽內(nèi)的水分很難脫離凹槽，需要長時間的高速旋轉(zhuǎn)才能被甩干，工作時間長，效率低，成本較高;此外，在通過離心將基板甩干時，中心區(qū)域的離心力較小，基板中心區(qū)域的水分很難被甩出，需要長時間的高速旋轉(zhuǎn)，工作效率較低，成本較高。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型提供了一種基板清洗裝置，旨在解決現(xiàn)有的清洗裝置在通過離心將基板甩干時，基板中心區(qū)域由于離心力較小，水分很難被甩干，造成工作效率低的問題。
[0004]為了解決以上技術(shù)問題，本實用新型通過以下技術(shù)方案實現(xiàn):一種基板清洗裝置，包括槽體、轉(zhuǎn)動裝置和噴氣裝置，轉(zhuǎn)動裝置轉(zhuǎn)接在槽體內(nèi)，基板水平安裝在轉(zhuǎn)動裝置上且在轉(zhuǎn)動裝置的帶動下在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)，噴氣裝置設(shè)置在槽體內(nèi)壁上且朝向基板的中心區(qū)域噴Ho
[0005]進(jìn)一步，噴氣裝置由至少一根噴氣管構(gòu)成。便于控制氣流的方向。
[0006]進(jìn)一步，噴氣裝置的噴氣方向與基板的夾角在10°?70°。在這個角度內(nèi)，氣流可以更容易將水珠吹離中心區(qū)域。此外在這個角度內(nèi)，使得噴氣方向與基板存在傾斜角，再結(jié)合基板的高速旋轉(zhuǎn)，可以使氣流流經(jīng)整個基板，可以將帶有凹槽基板的凹槽內(nèi)水分吹出，然后通過離心甩出，提高了工作效率。
[0007]進(jìn)一步，所述轉(zhuǎn)動裝置包括旋轉(zhuǎn)電機和固定在旋轉(zhuǎn)電機轉(zhuǎn)軸上的安裝座，基板安裝在安裝座上。
[0008]進(jìn)一步，安裝座為一個轉(zhuǎn)盤，所述轉(zhuǎn)盤的上表面固定有多個限位柱，基板卡接在限位柱之間；轉(zhuǎn)盤的上表面設(shè)有至少三個支撐塊，基板放置在支撐塊的頂端。拆裝方便，工作效率高。
[0009]進(jìn)一步，基板為方形，安裝座由一個固定在旋轉(zhuǎn)電機轉(zhuǎn)軸上的圓盤和均布在圓盤周邊上的四個支板構(gòu)成，每個支板上分別設(shè)有一個支撐塊和兩個用于卡住基板角的限位柱。
[0010]進(jìn)一步，所述支撐塊和限位柱的上端均具有彈性。有利于保護(hù)基板不受損壞。
[0011]進(jìn)一步，所述限位柱由一根剛性立柱和設(shè)置在剛性立柱上方的彈性套構(gòu)成，基板的角卡接在彈性套上。有利于保護(hù)基板，而且在彈性作用下，基板卡的更牢固。
[0012]進(jìn)一步，所述槽體的內(nèi)壁上設(shè)有朝向基板的噴水管。可以提高清洗效果。
[0013]進(jìn)一步，所述噴水管至少有兩個且朝向基板的上下兩個表面噴水。可以提高清洗效果。
[0014]進(jìn)一步，所述基板是顯示基板、封裝蓋板或照明基板。
[0015]與現(xiàn)有技術(shù)相比本實用新型的優(yōu)點是:本實用新型可用于帶凹槽或表面光滑的基板，1、本實用新型中設(shè)有轉(zhuǎn)動裝置，轉(zhuǎn)動裝置轉(zhuǎn)接在槽體內(nèi)，槽體可以防止水外泄，保持整潔。2、基板水平安裝在轉(zhuǎn)動裝置上且在轉(zhuǎn)動裝置的帶動下在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn);一方面，在清洗時，通過轉(zhuǎn)動裝置緩慢轉(zhuǎn)動基板，擦拭基板時更加均勻；另一方面，在高速旋轉(zhuǎn)時，可以將基板快速甩干。3、在高速旋轉(zhuǎn)對基板進(jìn)行甩干時，在基板中心區(qū)域的離心力較小，水珠很難被甩出，需要長時間的高速旋轉(zhuǎn)才可將水珠甩離中心區(qū)域;設(shè)置噴氣裝置，可以快速將水珠吹離基板中心區(qū)域，水珠被甩出，提高了工作效率。4、對于帶凹槽的基板，當(dāng)噴氣裝置噴向基板的中心區(qū)域時，氣流會沿著基板分散，可以將的凹槽內(nèi)水分順利吹出，結(jié)合高速離心可以將凹槽內(nèi)的水分順利甩出，提高了工作效率。5、在甩干時，相對單獨采用轉(zhuǎn)動裝置，噴氣裝置與轉(zhuǎn)動裝置的結(jié)合可以用較低的轉(zhuǎn)速，節(jié)約了成本。
【附圖說明】
[0016]下面結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步說明:
[0017]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0018]圖2為本實用新型俯視時的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0019]圖3為在圖2的基礎(chǔ)上安裝上基板后的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖4為本實用新型在整臺機器上的使用狀態(tài)示意圖。
【具體實施方式】
[0021]參閱圖1、圖2和圖3，一種基板清洗裝置，包括槽體1、轉(zhuǎn)動裝置和噴氣裝置，轉(zhuǎn)動裝置轉(zhuǎn)接在槽體I內(nèi)，基板01水平安裝在轉(zhuǎn)動裝置上且在轉(zhuǎn)動裝置的帶動下在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)，噴氣裝置設(shè)置在槽體I內(nèi)壁上且朝向基板OI的中心區(qū)域噴氣。
[0022]參閱圖1，噴氣裝置由至少一根噴氣管4構(gòu)成。噴氣管4與基板01的夾角可選擇20°、30°、50°和60°等，可以順利將基板01中心區(qū)域、凹槽或死角位置的水吹離，再結(jié)合高速離心，可以提高甩干的效率。噴氣管4可以彎曲來改變噴氣的角度，但一直吹向基板OI的中心區(qū)域。
[0023]參閱圖1和圖2，轉(zhuǎn)動裝置包括旋轉(zhuǎn)電機和固定在旋轉(zhuǎn)電機轉(zhuǎn)軸2上的安裝座3，基板01安裝在安裝座3上，旋轉(zhuǎn)電機固定在槽體I底部的中心。轉(zhuǎn)盤的上表面固定有多個限位柱34，基板01卡接在限位柱34之間；轉(zhuǎn)盤的上表面設(shè)有至少三個支撐塊33，基板01放置在支撐塊33的頂端。
[0024]基板01的形狀不受限制，可以為圓形、方形和多邊形等;下面以方形為實施例進(jìn)行說明，其余形狀原理相同。
[0025]當(dāng)基板01為方形時，參閱圖1、圖2和圖3，安裝座3由一個固定在旋轉(zhuǎn)電機轉(zhuǎn)軸2上的圓盤31和均布在圓盤31周邊上的四個支板32構(gòu)成，每個支板32上分別設(shè)有一個支撐塊33和兩個用于卡住基板01角的限位柱34。支撐塊33和限位柱34的上端均具有彈性。所述限位柱34由一根剛性立柱和設(shè)置在剛性立柱上方的彈性套構(gòu)成，基板01的角卡接在彈性套上；彈性套由長壽命且化學(xué)穩(wěn)定的塑料制作而成，例如peek，PTFE，PFA等。
[0026]參閱圖1，槽體I的內(nèi)壁上設(shè)有朝向基板01的噴水管5。所述噴水管5至少有兩個且朝向基板OI的上下兩個表面噴水。
[0027]基板01是顯示基板、封裝蓋板或照明基板等。
[0028]下面結(jié)合整臺機器對本清洗裝置的工作原理進(jìn)行說明，參閱圖1至圖4，工作時，首先將基板01卡接在安裝座3上，然后旋轉(zhuǎn)電機帶動旋轉(zhuǎn)電機轉(zhuǎn)軸2轉(zhuǎn)動，旋轉(zhuǎn)電機轉(zhuǎn)軸2通過安裝座3帶動基板01轉(zhuǎn)動，第二機械臂71帶動毛刷輥72進(jìn)入槽體I內(nèi)對基板01進(jìn)行擦拭，同時洗滌劑噴頭73向毛刷輥72提供洗滌劑，噴水管5有兩個，兩個噴水管5分別朝向基板01的兩個表面進(jìn)行噴水，待擦拭完畢后，毛刷輥72脫離槽體I，同時兩個噴水管5停止噴水。第一機械臂61帶動高壓噴頭62進(jìn)入清槽體I，高壓噴頭62向基板01進(jìn)行高壓噴水，在上述過程中，基板01在旋轉(zhuǎn)電機轉(zhuǎn)軸2的帶動下，始終緩慢轉(zhuǎn)動。噴完水后，高速轉(zhuǎn)動旋轉(zhuǎn)電機轉(zhuǎn)軸2，帶動基板01進(jìn)行高速旋轉(zhuǎn)，甩干基板上的水，同時噴氣管4向基板01噴氣。噴水管5和高壓噴頭62分別于兩個水槽9對應(yīng)，并通過水槽9供水。
[0029 ]基板可以為塑料、玻璃、硅片和金屬等材質(zhì)。
[0030]以上所述僅為本實用新型的具體實施例，但本實用新型的技術(shù)特征并不局限于此，任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型的領(lǐng)域內(nèi)，所作的變化或修飾皆涵蓋在本實用新型的專利范圍之中。
【主權(quán)項】
1.一種基板清洗裝置，其特征是:包括槽體(I)、轉(zhuǎn)動裝置和噴氣裝置，轉(zhuǎn)動裝置轉(zhuǎn)接在槽體(I)內(nèi)，基板(Ol)水平安裝在轉(zhuǎn)動裝置上且在轉(zhuǎn)動裝置的帶動下在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)，噴氣裝置設(shè)置在槽體(I)內(nèi)壁上且朝向基板(OI)的中心區(qū)域噴氣。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板清洗裝置，其特征是:所述噴氣裝置由至少一根噴氣管(4)構(gòu)成。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種基板清洗裝置，其特征是:所述噴氣裝置的噴氣方向與基板(01)的夾角在10°?70°。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板清洗裝置，其特征是:所述轉(zhuǎn)動裝置包括旋轉(zhuǎn)電機和固定在旋轉(zhuǎn)電機轉(zhuǎn)軸(2)上的安裝座(3)，基板(01)安裝在安裝座(3)上。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種基板清洗裝置，其特征是:安裝座(3)為一個轉(zhuǎn)盤，所述轉(zhuǎn)盤的上表面固定有多個限位柱(34)，基板(01)卡接在限位柱(34)之間；轉(zhuǎn)盤的上表面設(shè)有至少三個支撐塊(33)，基板(01)放置在支撐塊(33)的頂端。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種基板清洗裝置，其特征是:基板(01)為方形，安裝座(3)由一個固定在旋轉(zhuǎn)電機轉(zhuǎn)軸(2)上的圓盤(31)和均布在圓盤(31)周邊上的四個支板(32)構(gòu)成，每個支板(32)上分別設(shè)有一個支撐塊(33)和兩個用于卡住基板(01)角的限位柱(34)。7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的一種基板清洗裝置，其特征是:所述支撐塊(33)和限位柱(34)的上端均具有彈性。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種基板清洗裝置，其特征是:所述限位柱(34)由一根剛性立柱和設(shè)置在剛性立柱上方的彈性套構(gòu)成，基板(01)的角卡接在彈性套上。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板清洗裝置，其特征是:所述槽體(I)的內(nèi)壁上設(shè)有至少兩個噴水管(5);噴水管(5)朝向基板(01)的上下兩個表面噴水。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板清洗裝置，其特征是:所述基板(01)是顯示基板、封裝蓋板或照明基板。
【專利摘要】本實用新型提供了一種基板清洗裝置，旨在解決現(xiàn)有的清洗裝置在通過離心將基板甩干時，基板中心區(qū)域由于離心力較小，水分很難被甩干，造成工作效率低的問題。一種基板清洗裝置，包括槽體、轉(zhuǎn)動裝置和噴氣裝置，轉(zhuǎn)動裝置轉(zhuǎn)接在槽體內(nèi)，基板水平安裝在轉(zhuǎn)動裝置上且在轉(zhuǎn)動裝置的帶動下在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)，噴氣裝置設(shè)置在槽體內(nèi)壁上且朝向基板的中心噴氣。在高速旋轉(zhuǎn)對基板進(jìn)行甩干時，在基板中心區(qū)域的水珠很難被甩出，需要長時間的高速旋轉(zhuǎn)才可將水珠甩離中心區(qū)域；設(shè)置噴氣裝置，可以快速將水珠吹離基板中心區(qū)域，水珠被甩出，提高了工作效率。
【IPC分類】B08B13/00, B08B3/10, B08B5/02
【公開號】CN205324282
【申請?zhí)枴緾N201620064336
【發(fā)明人】甄常刮
【申請人】納晶科技股份有限公司
【公開日】2016年6月22日
【申請日】2016年1月22日