本申請涉及半導(dǎo)體制造，具體而言，涉及一種鏡片清洗裝置。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體集成電路制造工藝中，鏡片清潔度是影響蒸發(fā)鍍膜半導(dǎo)體器件可靠性的重要因素之一。

2、在現(xiàn)有清洗技術(shù)中，通常會對鏡片進行疊加清洗，但在清洗過程中，可能存在金屬皮在鏡片之間清洗不掉的情況，需要操作人員取下手套對其進行多次清洗，清洗效率較低。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為了至少克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述不足，本申請的目的在于提供一種鏡片清洗裝置。

2、第一方面，本申請實施例提供一種鏡片清洗裝置，所述鏡片清洗裝置包括溶液槽和容置籃，所述容置籃放置在所述溶液槽內(nèi)，所述容置籃用于放置待清洗鏡片的容置籃；

3、所述溶液槽還用于盛裝清洗溶液；

4、所述容置籃包括相對設(shè)置的第一側(cè)壁及第二側(cè)壁，所述第一側(cè)壁和所述第二側(cè)壁上對應(yīng)設(shè)置有多個限位凹槽，所述容置籃還包括可拆卸安裝在所述第一側(cè)壁及所述第二側(cè)壁的限位凹槽中的隔離板，其中，相鄰隔離板之間的空間用于放置所述待清洗鏡片。

5、在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述限位凹槽在所述第一側(cè)壁及所述第二側(cè)壁上等間距排布，且所述限位凹槽的延伸方向與所述容置籃的底部垂直。

6、在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述容置籃還包括多個漏水孔，多個所述漏水孔均勻設(shè)置于所述容置籃的底部。

7、在一種可能的實現(xiàn)方式中，多個所述漏水孔在所述容置籃的底部陣列排布，相鄰兩個漏水孔的圓心的間距為15～25cm。

8、在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述容置籃還包括設(shè)置在所述漏水孔位置處的調(diào)節(jié)件，所述調(diào)節(jié)件用于調(diào)節(jié)所述漏水孔的孔徑大小。

9、在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述鏡片清洗裝置還包括清洗噴頭，所述清洗噴頭包括與所述溶液槽連接的循環(huán)管道；

10、所述清洗噴頭設(shè)置于所述溶液槽的開口一側(cè)，且所述清洗噴頭的出水方向與所述限位凹槽的延伸方向存在一定夾角。

11、在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述清洗噴頭還包括監(jiān)測組件及控制組件；

12、所述監(jiān)測組件設(shè)置于所述循環(huán)管道內(nèi)，用于檢測所述循環(huán)管道內(nèi)的溶液流量及壓力；

13、所述控制組件用于調(diào)節(jié)所述清洗噴頭的水流大小及沖洗力度。

14、在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述溶液槽包括設(shè)置于所述溶液槽內(nèi)的過濾隔離板及過濾網(wǎng)；

15、所述過濾隔離板設(shè)置于靠近所述溶液槽的底部的一側(cè)，用于過濾所述清洗溶液中的大顆粒雜質(zhì)；

16、所述過濾網(wǎng)設(shè)置于所述溶液槽與所述循環(huán)管道連接的位置，用于過濾所述清洗溶液中的小顆粒雜質(zhì)。

17、在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述容置籃包括設(shè)置于所述第一側(cè)壁及所述第二側(cè)壁之間的第三側(cè)壁及第四側(cè)壁，所述第三側(cè)壁及所述第四側(cè)壁遠(yuǎn)離所述容置籃的底部的一側(cè)設(shè)置有限位卡槽，所述限位卡槽的開口朝向所述容置籃內(nèi)且相對設(shè)置；

18、所述鏡片清洗裝置還包括可拆卸安裝的把手，所述把手通過所述限位卡槽可拆卸安裝在所述容置籃上。

19、在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述容置籃的材質(zhì)包括氟橡膠及聚丙烯材料。

20、基于上述任意一個方面，本申請實施例提供的鏡片清洗裝置包括溶液槽及容置籃，所述溶液槽用于盛裝清洗溶液，容置籃用于放置待清洗鏡片，可以將裝有待清洗鏡片后的容置籃放置于溶液槽內(nèi)浸泡清洗。容置籃包括多個限位凹槽及隔離板，其中，可以通過拆卸安裝隔離板調(diào)節(jié)相鄰隔離板之間的間距，相鄰隔離板之間的空間用于放置所述待清洗鏡片。通過限位凹槽和可拆卸的隔離板的相互配合，可以靈活地調(diào)整放置待清洗鏡片的空間，可以有效地分隔待清洗鏡片，確保每一待清洗鏡片都能夠充分暴露于清洗溶液中，解決因鏡片層疊導(dǎo)致的清洗不凈問題，提高清洗效率。此外，利用溶液槽盛裝清洗溶液，可以對清洗溶液進行循環(huán)利用，減少生產(chǎn)成本。

技術(shù)特征：

1.一種鏡片清洗裝置，其特征在于，所述鏡片清洗裝置包括溶液槽和容置籃，所述容置籃放置在所述溶液槽內(nèi)，所述容置籃用于放置待清洗鏡片的容置籃；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏡片清洗裝置，其特征在于，所述限位凹槽在所述第一側(cè)壁及所述第二側(cè)壁上等間距排布，且所述限位凹槽的延伸方向與所述容置籃的底部垂直。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鏡片清洗裝置，其特征在于，所述容置籃還包括多個漏水孔，多個所述漏水孔均勻設(shè)置于所述容置籃的底部。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的鏡片清洗裝置，其特征在于，多個所述漏水孔在所述容置籃的底部陣列排布，相鄰兩個漏水孔的圓心的間距為15～25cm。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的鏡片清洗裝置，其特征在于，所述容置籃還包括設(shè)置在所述漏水孔位置處的調(diào)節(jié)件，所述調(diào)節(jié)件用于調(diào)節(jié)所述漏水孔的孔徑大小。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏡片清洗裝置，其特征在于，所述鏡片清洗裝置還包括清洗噴頭，所述清洗噴頭包括與所述溶液槽連接的循環(huán)管道；

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的鏡片清洗裝置，其特征在于，所述清洗噴頭還包括監(jiān)測組件及控制組件；

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的鏡片清洗裝置，其特征在于，所述溶液槽包括設(shè)置于所述溶液槽內(nèi)的過濾隔離板及過濾網(wǎng)；

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鏡片清洗裝置，其特征在于，所述容置籃包括設(shè)置于所述第一側(cè)壁及所述第二側(cè)壁之間的第三側(cè)壁及第四側(cè)壁，所述第三側(cè)壁及所述第四側(cè)壁遠(yuǎn)離所述容置籃的底部的一側(cè)設(shè)置有限位卡槽，所述限位卡槽的開口朝向所述容置籃內(nèi)且相對設(shè)置；

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏡片清洗裝置，其特征在于，所述容置籃的材質(zhì)包括氟橡膠及聚丙烯材料。

技術(shù)總結(jié)
本申請實施例提供一種鏡片清洗裝置，涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域。裝置包括溶液槽及容置籃，所述溶液槽用于盛裝清洗溶液，容置籃用于放置待清洗鏡片，可以將裝有待清洗鏡片后的容置籃放置于溶液槽內(nèi)浸泡清洗。容置籃包括多個限位凹槽及隔離板，其中，可以通過拆卸安裝隔離板調(diào)節(jié)相鄰隔離板之間的間距，相鄰隔離板之間的空間用于放置所述待清洗鏡片。通過限位凹槽和可拆卸的隔離板的相互配合，可以靈活地調(diào)整放置待清洗鏡片的空間，可以有效地分隔待清洗鏡片，確保每一待清洗鏡片都能夠充分暴露于清洗溶液中，解決因鏡片層疊導(dǎo)致的清洗不凈問題，提高清洗效率。此外，利用溶液槽盛裝清洗溶液，可以對清洗溶液進行循環(huán)利用，減少生產(chǎn)成本。

技術(shù)研發(fā)人員：時新越,路龍,于雄飛,陳禮沖
受保護的技術(shù)使用者：吉林麥吉柯半導(dǎo)體有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240322
技術(shù)公布日：2024/12/26