技術(shù)編號(hào):40471174
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體制造,具體而言,涉及一種鏡片清洗裝置。背景技術(shù)、在半導(dǎo)體集成電路制造工藝中,鏡片清潔度是影響蒸發(fā)鍍膜半導(dǎo)體器件可靠性的重要因素之一。、在現(xiàn)有清洗技術(shù)中,通常會(huì)對(duì)鏡片進(jìn)行疊加清洗,但在清洗過(guò)程中,可能存在金屬皮在鏡片之間清洗不掉的情況,需要操作人員取下手套對(duì)其進(jìn)行多次清洗,清洗效率較低。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、為了至少克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述不足,本申請(qǐng)的目的在于提供一種鏡片清洗裝置。、第一方面,本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種鏡片清洗裝置,所述鏡片清洗裝置包括溶液槽和容置籃,所述容置籃放置在所述溶...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。