本技術(shù)涉及爐管清洗，具體為基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、爐管是用于晶片擴散，使用時需將裝有晶片的石英舟一起放進(jìn)爐管內(nèi)，若爐管內(nèi)不干凈會影響晶片的trr值、ir值等參數(shù)；因此，定期清洗爐管，保證爐管的清潔度，對晶片的電性有很大的幫助?，F(xiàn)有的爐管清洗主要是通過人工隔一段時間手動轉(zhuǎn)動爐管，這樣清洗爐管方式清洗效率底，清洗效果差，而且存在安全隱患，造成人力的浪費，參考中國專利，申請?zhí)枮椋骸?01920875636.9”的“一種爐管清洗裝置”，該專利解決了現(xiàn)有的裝置主要通過人工隔一段時間手動轉(zhuǎn)動爐管，這樣清洗爐管方式清洗效率底，清洗效果差，而且存在安全隱患，造成人力的浪費的問題，但旋轉(zhuǎn)機構(gòu)依然存在不便于安裝拆卸的缺陷，對此我們提出了基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)來解決上述問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提供了基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，解決了上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為實現(xiàn)以上目的，本實用新型通過以下技術(shù)方案予以實現(xiàn)：基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，包括主基板與側(cè)基板，所述主基板與側(cè)基板內(nèi)部均轉(zhuǎn)動連接有驅(qū)動軸，且驅(qū)動軸的端部均插入有傳動軸，所述傳動軸的外側(cè)固定套接有多個傳動套環(huán)，用于帶動爐管轉(zhuǎn)動；

3、所述主基板的上方設(shè)有驅(qū)動機構(gòu)，用于帶動兩個驅(qū)動軸運行；

4、所述驅(qū)動軸的端部開設(shè)有驅(qū)動插孔，所述傳動軸的端部固定有與驅(qū)動插孔相互適配的傳動插桿，所述傳動軸遠(yuǎn)離傳動插桿的端部開設(shè)有傳動插孔，所述傳動軸的外側(cè)轉(zhuǎn)動連接有限位塊。

5、優(yōu)選的，多個所述傳動套環(huán)的外側(cè)均固定套接有傳動環(huán)片，且傳動環(huán)片的外側(cè)均開設(shè)有多個限位槽，對應(yīng)的兩個所述限位槽之間轉(zhuǎn)動連接有傳動帶。

6、優(yōu)選的，多個所述傳動套環(huán)的內(nèi)側(cè)均固定安裝有防滑墊片。

7、優(yōu)選的，所述主基板與側(cè)基板內(nèi)部均開設(shè)有調(diào)節(jié)槽，且調(diào)節(jié)槽內(nèi)部均滑動安裝有調(diào)節(jié)環(huán)套，所述驅(qū)動軸分別轉(zhuǎn)動連接在對應(yīng)的調(diào)節(jié)環(huán)套內(nèi)部，所述調(diào)節(jié)環(huán)套的外側(cè)均轉(zhuǎn)動連接有相互嚙合的定位栓，所述主基板與側(cè)基板的內(nèi)部均開設(shè)有滑槽，所述定位栓滑動連接在對應(yīng)的滑槽內(nèi)部。

8、優(yōu)選的，所述驅(qū)動機構(gòu)包含有驅(qū)動板架，所述驅(qū)動板架固定在主基板的側(cè)面，所述驅(qū)動板架的頂面固定有驅(qū)動電機，所述驅(qū)動電機的輸出端與兩個驅(qū)動軸的端部之間均轉(zhuǎn)動連接有傳動鏈條。

9、優(yōu)選的，所述驅(qū)動板架的外側(cè)固定有側(cè)邊架，且側(cè)邊架內(nèi)部開設(shè)有矩形槽，所述矩形槽內(nèi)部滑動安裝有鎖緊塊，所述鎖緊塊端部轉(zhuǎn)動連接有相互嚙合的鎖緊栓，所述鎖緊塊的另一端轉(zhuǎn)動安裝有傳動桿，所述傳動桿的端部轉(zhuǎn)動套接有傳動鏈輪，所述傳動鏈輪與傳動鏈條相互嚙合。

10、本實用新型提供了基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)。與現(xiàn)有技術(shù)相比具備以下

11、有益效果：

12、(1)、該基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，通過主基板與側(cè)基板內(nèi)部設(shè)有的驅(qū)動軸以及驅(qū)動軸端部連接的傳動軸，能夠帶動槽體內(nèi)部的待清洗爐管轉(zhuǎn)動，實現(xiàn)清理作業(yè)，同時通過驅(qū)動軸與傳動軸的配合，提升了旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的拆裝便捷性。

13、(2)、該基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，通過主基板與側(cè)基板的配合，當(dāng)需要對不同尺寸的待清洗爐管進(jìn)行清洗時，能夠通過松動定位栓后對兩個驅(qū)動軸的間距進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而能夠適用于對不同尺寸的爐管進(jìn)行支撐、驅(qū)動作業(yè)，提升了設(shè)備的適用范圍。

14、(3)、該基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，通過傳動軸外側(cè)套接的傳動套環(huán)，以及傳動套環(huán)之間連接的傳動帶，能夠進(jìn)一步的保證傳動效果，避免出現(xiàn)打滑的現(xiàn)象，同時當(dāng)爐體下壓時，能夠使得傳動帶受壓向下彎折形變，與爐體的底部相互貼合形成支撐，從而能夠減小兩側(cè)傳動套環(huán)的受力，提升了使用壽命。

技術(shù)特征：

1.基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，包括主基板(1)與側(cè)基板(2)，其特征在于：所述主基板(1)與側(cè)基板(2)內(nèi)部均轉(zhuǎn)動連接有驅(qū)動軸(5)，且驅(qū)動軸(5)的端部均插入有傳動軸(6)，所述傳動軸(6)的外側(cè)固定套接有多個傳動套環(huán)(7)，用于帶動爐管轉(zhuǎn)動；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于：多個所述傳動套環(huán)(7)的外側(cè)均固定套接有傳動環(huán)片(702)，且傳動環(huán)片(702)的外側(cè)均開設(shè)有多個限位槽(7021)，對應(yīng)的兩個所述限位槽(7021)之間轉(zhuǎn)動連接有傳動帶(703)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于：多個所述傳動套環(huán)(7)的內(nèi)側(cè)均固定安裝有防滑墊片(701)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于：所述主基板(1)與側(cè)基板(2)內(nèi)部均開設(shè)有調(diào)節(jié)槽(9)，且調(diào)節(jié)槽(9)內(nèi)部均滑動安裝有調(diào)節(jié)環(huán)套(502)，所述驅(qū)動軸(5)分別轉(zhuǎn)動連接在對應(yīng)的調(diào)節(jié)環(huán)套(502)內(nèi)部，所述調(diào)節(jié)環(huán)套(502)的外側(cè)均轉(zhuǎn)動連接有相互嚙合的定位栓(503)，所述主基板(1)與側(cè)基板(2)的內(nèi)部均開設(shè)有滑槽(10)，所述定位栓(503)滑動連接在對應(yīng)的滑槽(10)內(nèi)部。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于：所述驅(qū)動機構(gòu)包含有驅(qū)動板架(3)，所述驅(qū)動板架(3)固定在主基板(1)的側(cè)面，所述驅(qū)動板架(3)的頂面固定有驅(qū)動電機(301)，所述驅(qū)動電機(301)的輸出端與兩個驅(qū)動軸(5)的端部之間均轉(zhuǎn)動連接有傳動鏈條(8)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于：所述驅(qū)動板架(3)的外側(cè)固定有側(cè)邊架(4)，且側(cè)邊架(4)內(nèi)部開設(shè)有矩形槽(401)，所述矩形槽(401)內(nèi)部滑動安裝有鎖緊塊(402)，所述鎖緊塊(402)端部轉(zhuǎn)動連接有相互嚙合的鎖緊栓(4021)，所述鎖緊塊(402)的另一端轉(zhuǎn)動安裝有傳動桿(4022)，所述傳動桿(4022)的端部轉(zhuǎn)動套接有傳動鏈輪(4023)，所述傳動鏈輪(4023)與傳動鏈條(8)相互嚙合。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，本技術(shù)涉及爐管清洗技術(shù)領(lǐng)域。該基于爐管清洗的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，通過主基板與側(cè)基板內(nèi)部設(shè)有的驅(qū)動軸以及驅(qū)動軸端部連接的傳動軸，能夠帶動槽體內(nèi)部的待清洗爐管轉(zhuǎn)動，實現(xiàn)清理作業(yè)，同時通過驅(qū)動軸與傳動軸的配合，提升了旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的拆裝便捷性，通過主基板與側(cè)基板的配合，當(dāng)需要對不同尺寸的待清洗爐管進(jìn)行清洗時，能夠通過松動定位栓后對兩個驅(qū)動軸的間距進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而能夠適用于對不同尺寸的爐管進(jìn)行支撐、驅(qū)動作業(yè)，提升了設(shè)備的適用范圍。

技術(shù)研發(fā)人員：周尤,劉楊
受保護的技術(shù)使用者：安徽萬維克林精密裝備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240202
技術(shù)公布日：2024/12/19