技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
公開(kāi)了采用具有摩擦增強(qiáng)圖案的周邊表面在濕式化學(xué)工藝期間接觸基板的壓模制品。例如環(huán)形主體的制品可借助壓模技術(shù)形成。通過(guò)包含圖案化表面作為環(huán)形主體的外周邊的一部分，所述環(huán)形主體和基板之間的摩擦接觸可被增強(qiáng)，因?yàn)榕c濕式化學(xué)工藝相關(guān)聯(lián)的減少摩擦的流體可被導(dǎo)引而離開(kāi)所述環(huán)形主體與所述基板之間的所期望之摩擦接觸區(qū)域。如此，摩擦接觸可被增強(qiáng)，并且所述基板可有效地在濕式化學(xué)工藝期間被定位并被移動(dòng)，以改善工藝的效率。

技術(shù)研發(fā)人員：戴維·阿爾瓦雷斯;吉米·K·阿特金森
受保護(hù)的技術(shù)使用者：應(yīng)用材料公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.01.15
技術(shù)公布日：2017.10.20