專利名稱：高純氮發(fā)生裝置與方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及不含低沸點(diǎn)組分如氫、氦與氖的高純氮?dú)獾陌l(fā)生裝置。
作為氮?dú)獍l(fā)生裝置，一直被采用的是借助精餾塔分離空氣中的氮?dú)獾难b置。
在這類裝置中，不含水份與二氧化碳的壓縮空氣通過(guò)與有待作為產(chǎn)品被回收的氮?dú)鈸Q熱而被冷卻，隨后被導(dǎo)入精餾塔的底部附近以便使其在上升通過(guò)精餾淺盤(pán)時(shí)與回流液逆流接觸，從而將富氧液態(tài)空氣保留在精餾塔底部，同時(shí)，回收被收集在精餾塔頂?shù)牡獨(dú)猱a(chǎn)品。在上述方法中，存在的缺點(diǎn)是所制得的氮?dú)獠贿m用于半導(dǎo)體工業(yè)等領(lǐng)域，其原因在于盡管高沸點(diǎn)組分如氧和烴可以被脫除至亞毫微量水平但是其中仍含有低沸點(diǎn)組分如氫。
作為已經(jīng)排除了上述缺陷的生產(chǎn)不含低沸點(diǎn)組分的高純度氮?dú)獾难b置，有如日本實(shí)用新型公開(kāi)No.10544/1992中介紹的裝置，如圖7所示。
圖7中，編號(hào)1代表精餾塔，2為氮?dú)饫淠鳎?代表主換熱器，6代表膨脹渦輪，21和26分別代表膨脹閥。
進(jìn)料空氣被壓縮并且被脫除了水分與CO2。隨后，通過(guò)管線41被導(dǎo)入主換熱器4，在此被有待被釋放的富氧廢氣和有待被作為產(chǎn)物回收的高純氮?dú)饫鋮s，隨后在壓力為約9.3kg/cm2G與溫度為約-165℃下通過(guò)管線42將如此經(jīng)過(guò)冷卻的進(jìn)料空氣導(dǎo)入所述精餾塔1的精餾淺盤(pán)11的下面。
進(jìn)料空氣在上升通過(guò)精餾淺盤(pán)11的過(guò)程中，與自上向下流動(dòng)的回流液逆流接觸，從而使進(jìn)料空氣中的氧進(jìn)入回流液體，而回流液體中的氮?dú)庹舭l(fā)以便被氣相捕集。結(jié)果是含低沸點(diǎn)組分如氫與氦的氮?dú)庠诰s塔1的頂部15得到分離，而富氧液體空氣則在塔底16得到分離。
于塔頂15收集的氮?dú)馔ㄟ^(guò)管61被送入氮冷凝器2中，通過(guò)與富氧液體空氣和高純度液氮進(jìn)行間接換熱被冷卻。被冷卻并且在氮?dú)饫淠?中被液化的液氮通過(guò)管線62返回至塔頂15并且作為回流液被提供給精餾淺盤(pán)11。另外，其中低沸點(diǎn)組分如氫與氦已被濃縮的非冷凝氣體通過(guò)管線63被釋放出該系統(tǒng)。
溫度約為-165℃、被收集在精餾塔1的底部16的富氧液態(tài)空氣通過(guò)管線71被送至膨脹閥21，在此通過(guò)減壓至約3.3kg/cm2G被冷卻，隨后被送至氮冷凝器2。此時(shí)通過(guò)與所述氮?dú)膺M(jìn)行間接換熱被蒸發(fā)，成為溫度約為-173℃的富氧廢氣，通過(guò)管線73該廢氣被送往主換熱器4。富氧空氣于約-115℃由主換熱器4被取出并且通過(guò)管線74被送往膨脹渦輪6，此處通過(guò)減壓(約0.3kg/cm2G，-152℃)被冷卻并且隨后被再送回到主換熱器4。在主換熱器4中，冷卻富氧空氣被用于冷卻進(jìn)料空氣以便使其溫度升至常溫，隨后通過(guò)管線76被釋放出該系統(tǒng)。
由作為精餾塔1頂部15下方數(shù)個(gè)級(jí)的精餾淺盤(pán)提供的儲(chǔ)存器11b通過(guò)管線101取出其中雜質(zhì)含量為亞毫微量的不含低沸點(diǎn)組分的高純度液氮，通過(guò)膨脹閥26其壓力被降至約8.5kg/cm2G，隨后被送至氮冷凝器2。在此氮?dú)饫淠?中，被送入的液氮通過(guò)與所述氮?dú)忾g接換熱而被蒸發(fā)，隨后通過(guò)管線103被送入主換熱器4中，在此主換熱器4中被送入的氮?dú)獗挥糜诶鋮s進(jìn)料空氣以便被升溫至常溫，隨后被作為高純氮?dú)猱a(chǎn)物通過(guò)管線53回收(壓力約為8.4kg/cm2G)。
在圖7所示的裝置中，精餾塔1頂部15中氮?dú)庠谄淅淠^(guò)程中具有的潛熱被用作蒸發(fā)高純液氮的熱源。為了產(chǎn)生足以蒸發(fā)高純液氮的溫差，精餾塔1必須在比高純氮?dú)猱a(chǎn)物所需壓力高約0.5kg/cm2的壓力下操作。因此，由于進(jìn)料空氣被壓縮過(guò)度而導(dǎo)致能夠被浪費(fèi)。
此外，存在一種只利用進(jìn)料空氣加熱與蒸發(fā)高純液氮的方法。作為其實(shí)例之一，圖8給出了日本實(shí)用新型公開(kāi)No.10545/1992介紹的裝置。圖7所示的共同部分給出了相同的編號(hào)，其說(shuō)明部分被省略了。
在此實(shí)例中，除了主換熱器4以外還提供了輔助換熱器8b。在將不含低沸點(diǎn)組分的高純液氮通過(guò)管線111由儲(chǔ)存器部分11b(被設(shè)在作為精餾塔1頂部下面數(shù)級(jí)的精餾淺盤(pán))取出并且通過(guò)膨脹閥28被減壓之后，在輔助換熱器8b和主換熱器4中通過(guò)與被送入的進(jìn)料空氣間接換熱而被蒸發(fā)并且通過(guò)管線53作為高純氮?dú)猱a(chǎn)物得到回收。
在采用其中進(jìn)料空氣僅被用于蒸發(fā)高純液氮這一方法時(shí)，精餾塔1的氣體載荷會(huì)由于一部分進(jìn)料空氣被液化而降低，而塔頂15中被分離的氮?dú)獗戎狄蚕陆怠Ｆ浣Y(jié)果是，在氮冷凝器2中冷凝的并返回塔頂15的回流液的數(shù)量也減少。因此，存在需要設(shè)置過(guò)量精餾淺盤(pán)11與高純氮?dú)饣厥章实偷膯?wèn)題。
本發(fā)明是在考慮了上述問(wèn)題的前提下完成的，本發(fā)明的目的是提供具有良好的能量利用效率和對(duì)高純氮?dú)獬尸F(xiàn)高回收率的高純氮發(fā)生裝置。
本發(fā)明的高純氮發(fā)生裝置，其中包括用于冷卻進(jìn)料壓縮空氣的第一換熱器；具有精餾淺盤(pán)的精餾塔，其中壓縮空氣由第一換熱器被導(dǎo)入所述精餾淺盤(pán)的下面以便與回流液體逆流接觸，從而使富氧液體空氣在底部得到分離，而氮?dú)鈩t在頂部得到分離；用于通過(guò)降低壓力而冷卻被導(dǎo)入的所述富氧液體空氣的第一膨脹閥；具有精餾淺盤(pán)的組成調(diào)節(jié)塔，其中所述富氧液態(tài)空氣由第一膨脹閥被導(dǎo)入所述精餾淺盤(pán)上方，富氧液體空氣在底部得到分離，而氧與氮的混合氣體則在頂部得到分離；氮?dú)饫淠?，用于通過(guò)與被收集在所述組成調(diào)節(jié)塔底的所述富氧液體空氣進(jìn)行間接換熱來(lái)冷卻由精餾塔頂導(dǎo)入的氮?dú)?，這樣被冷凝的液氮作為回流液被供給精餾塔中精餾淺盤(pán)的上方，未冷凝氣體被排出；流程中設(shè)有膨脹渦輪的排氣管線，由組成調(diào)節(jié)塔的精餾淺盤(pán)下方的氣相部分回收富氧廢氣，并且將其導(dǎo)入膨脹渦輪中，通過(guò)降壓被冷卻的富氧廢氣作為一部分冷卻介質(zhì)被引入第一換熱器并且隨后被排向外部；具有第一壓縮機(jī)的第一循環(huán)管線，此處一部分所述混合氣體由組成調(diào)節(jié)塔的頂部被送入第一壓縮機(jī)，如此經(jīng)過(guò)壓縮的混合氣與進(jìn)料壓縮空氣匯合；具有被所述膨脹渦輪驅(qū)動(dòng)的第二壓縮機(jī)、第二換熱器和第二膨脹閥的第二循環(huán)管線，其中所述混合氣的另一部分由組成調(diào)節(jié)塔頂被導(dǎo)入第二壓縮機(jī)中，如此壓縮的混合氣作為加熱介質(zhì)被導(dǎo)入第二換熱器，隨后被導(dǎo)入第二膨脹閥以便通過(guò)減壓被液化，經(jīng)液化的氣體返回組成調(diào)節(jié)塔的精餾淺盤(pán)上方；用于由作為精餾塔頂下方數(shù)級(jí)的精餾淺盤(pán)回收高純液氮和使被回收的液氮與第二換熱器中混合氣體換熱的氣體產(chǎn)物回收管線，其中被蒸發(fā)的高純氮?dú)庾鳛橐徊糠掷鋮s介質(zhì)被導(dǎo)入第一換熱器中，隨后作為產(chǎn)物被回收。
下文將描述通過(guò)使用上述裝置生產(chǎn)高純氮?dú)獾姆椒ā?br>
壓縮進(jìn)料空氣并且脫除水份與CO2。隨后將進(jìn)料空氣導(dǎo)入第一換熱器，于此處被有待被釋放的富氧廢氣冷卻，高純氮?dú)庾鳛楫a(chǎn)物被回收，如此冷卻的進(jìn)料空氣隨后被導(dǎo)入精餾塔的精餾淺盤(pán)下方。
進(jìn)料空氣在其向上流過(guò)精餾淺盤(pán)的同時(shí)與自上向下流的回流液逆流接觸，進(jìn)料空氣中的氧被回流液捕集，而回流液中的氮蒸發(fā)以便被氣相捕集。其結(jié)果是含低沸點(diǎn)組分如氫與氦的氮?dú)庠诰s塔頂?shù)玫椒蛛x而富氧液態(tài)空氣則在精餾塔底得到分離。
被收集在精餾塔底的富氧液體空氣被導(dǎo)入第一膨脹閥，通過(guò)減壓而被冷卻，隨后被導(dǎo)入組成調(diào)節(jié)塔的精餾淺盤(pán)上方。一部分富氧液體空氣在其上升通過(guò)精餾淺盤(pán)時(shí)被蒸發(fā)，從而使氧與氮的混合氣體被捕集在組成調(diào)節(jié)塔的頂部而其中氧濃度進(jìn)一步提高的富氧液體空氣則被捕集在組成調(diào)節(jié)塔底。
被收集在精餾塔頂?shù)牡獨(dú)獗凰腿氲獨(dú)饫淠鳎ㄟ^(guò)與被收集在組成調(diào)節(jié)塔底的富氧液體空氣間接換熱而被冷卻。如此經(jīng)過(guò)冷卻、冷凝的液氮被送回精餾塔的精餾淺盤(pán)上方，并且作為回流液供給精餾淺盤(pán)。另外，其中低沸點(diǎn)組分如氫與氦得到濃縮的非冷凝氣被釋放掉。
從組成調(diào)節(jié)塔的精餾淺盤(pán)下方的氣相中提出富氧廢氣并且將其通過(guò)排氣管線導(dǎo)入膨脹渦輪中。待富氧廢氣在膨脹渦輪中通過(guò)降壓而被冷卻后，將其導(dǎo)入第一換熱器中，此處它被用于冷卻進(jìn)料空氣，隨后被釋放出該系統(tǒng)。
另外，離開(kāi)組成調(diào)節(jié)塔頂?shù)囊徊糠只旌蠚馔ㄟ^(guò)第一循環(huán)管線被引入第一壓縮機(jī)中，在此其壓力升高。此后，壓力得到提高的混合氣在與進(jìn)料壓縮空氣匯合后再次循環(huán)。
從組成調(diào)節(jié)塔頂取出的另一部分混合氣通過(guò)第二循環(huán)管線被導(dǎo)入第二壓縮機(jī)中，在此處其壓力與溫度上升。此后，此升壓混合氣體被作為加熱介質(zhì)導(dǎo)入第二換熱器中。這樣，該混合氣在第二換熱器中通過(guò)與高純度液氮換熱而被冷卻，并且被繼續(xù)送往第二膨脹閥中，此時(shí)，通過(guò)降壓而被冷卻，隨后被送回至組成調(diào)節(jié)塔的精餾淺盤(pán)上方。此外，該第二壓縮機(jī)通過(guò)所述膨脹渦輪被驅(qū)動(dòng)。
由作為精餾塔頂之下數(shù)級(jí)的精餾淺盤(pán)取出不含低沸點(diǎn)組分的高純度液氮，并且將其通過(guò)產(chǎn)物氣體回收管線導(dǎo)入第二換熱器。在此，被導(dǎo)入的液氮通過(guò)與所述混合氣體間接換熱而蒸發(fā)。隨后被送入第一換熱器，在此被送入的氮?dú)獗挥糜诶鋮s進(jìn)料空氣以便升至常溫，隨后作為高純氮?dú)猱a(chǎn)物被回收。
作為上述構(gòu)造的一種變形，還可以使第二循環(huán)管線的構(gòu)建方式滿足這樣的要求使取自組成調(diào)節(jié)塔頂?shù)幕旌蠚怏w通過(guò)第二壓縮機(jī)、第二換熱器與第二膨脹閥返回組成調(diào)節(jié)塔底。
作為上述構(gòu)建的另一變形，所述第二循環(huán)管線的構(gòu)造滿足下列要求使取自組成調(diào)節(jié)塔的精餾淺盤(pán)下方的氣相部分的富氧廢氣通過(guò)第二壓縮機(jī)、第二換熱器與第二膨脹閥返回組成調(diào)節(jié)塔底。
作為上述構(gòu)建的另一變形，所述第二循環(huán)管線的構(gòu)造滿足下列要求使取自組成調(diào)節(jié)塔的精餾淺盤(pán)下方的氣相部分的富氧廢氣通過(guò)第二壓縮機(jī)、第一換熱器、第二換熱器與第二膨脹閥返回組成調(diào)節(jié)塔底。
作為上述構(gòu)造的另一變體，所述第二循環(huán)管線的構(gòu)造滿足下列要求一部分取自組成調(diào)節(jié)塔頂?shù)乃龌旌蠚怏w通過(guò)第二壓縮機(jī)與處在第一換熱器中間部分的進(jìn)料空氣匯合。
在上述每一種構(gòu)造形式中，第二換熱器均可以被設(shè)置在比高純液氮被排出精餾塔的位置低10-15m的位置，從而使通過(guò)將對(duì)應(yīng)于所述壓頭差的壓力加至精餾塔操作壓力得到的壓力賦予待輸送的高純氮?dú)狻?br>
此外，作為上述每一種構(gòu)造的變體，為了使其能夠發(fā)揮效力，該第二換熱器由換熱器主體和氣-液分離器組成，所述氣-液分離器在冷卻介質(zhì)側(cè)與換熱器的通道并聯(lián)，所述產(chǎn)物氣體的回收管線與氣液分離器連接以便在此氣液分離器中蒸發(fā)高純液氮。在此構(gòu)造中，高純液氮由精餾塔被導(dǎo)入所述氣液分離器中，此后，高純液氮由氣-液分離器的液相部分被導(dǎo)入換熱器主體以便與所述混合氣體或富氧廢氣間接換熱，并且在其一部分蒸發(fā)時(shí)返回氣-液分離器，通過(guò)氣體產(chǎn)物回收管線回收如此產(chǎn)生的高純氮?dú)猱a(chǎn)物。
實(shí)施例1
圖1所示為本發(fā)明實(shí)施方案之一。其中1代表精餾塔，2代表氮冷凝器，3為組成調(diào)節(jié)塔，4為第一換熱器，5為第一壓縮機(jī)(循環(huán)壓縮機(jī))，6為膨脹渦輪，7為第二壓縮機(jī)，8為第二換熱器，21為第一膨脹閥，22為第二膨脹閥。
精餾塔1中設(shè)有精餾淺盤(pán)11。精餾塔1上方設(shè)有組成調(diào)節(jié)塔3，后者內(nèi)設(shè)有精餾淺盤(pán)31。3的底部含有氮冷凝器2。第一換熱器4中具有進(jìn)料壓縮空氣通道4b和在冷卻側(cè)用作介質(zhì)的富氧廢氣、循環(huán)氣(氧與氮的混合氣體)和高純氮?dú)?產(chǎn)物)的通道(4a、4c、4d)。
進(jìn)料壓縮空氣的供給通道4b上設(shè)有進(jìn)料空氣壓縮機(jī)25，分子篩柱26、進(jìn)料空氣供給管線41和第一換熱器4，其排布次序?yàn)樽陨嫌伍_(kāi)始。第一換熱器4的進(jìn)料空氣通道4b通過(guò)管線42連接在精餾塔1的精餾淺盤(pán)11的下方。
管線71通入精餾塔1底部16中液相部分。該管71通過(guò)膨脹閥21連接在組成調(diào)節(jié)塔3的精餾淺盤(pán)31上方。
精餾塔1的頂部15通過(guò)管線61通入氮冷凝器2的進(jìn)口側(cè)，其出口側(cè)通過(guò)管線62與精餾塔1的精餾淺盤(pán)11a的上方連接。
用于回收高純液氮的管線51與作為在精餾塔頂15下方的數(shù)級(jí)的精餾淺盤(pán)上設(shè)置的儲(chǔ)存器11b連接。所述管線51的另一端連接在第二換熱器8上，并且進(jìn)一步地由此出發(fā)通向第一換熱器4的高純氮?dú)馔ǖ?d。此外，第二換熱器8被設(shè)置在一水平位置，該位置處在遠(yuǎn)離管線51和精餾塔1的連接點(diǎn)的下方，從而使得對(duì)應(yīng)于壓頭差的壓力對(duì)第二換熱器8內(nèi)的高純液氮產(chǎn)生作用。
管線81連接在組成調(diào)節(jié)塔3的精餾淺盤(pán)下方的37處。管線81通過(guò)第一換熱器4與管線82連接在膨脹渦輪6的進(jìn)口側(cè)。其出口側(cè)通過(guò)管線83與第一換熱器4的富氧廢氣通道4a連接。這樣，便形成了排氣管線。此外，膨脹渦輪6具有一條平行的旁路84。
組成調(diào)節(jié)塔3的頂部35通過(guò)管線91與第一換熱器4的循環(huán)氣通道4c連接并且由此通過(guò)管線92通向第一壓縮機(jī)5的進(jìn)口側(cè)。第一壓縮機(jī)5的出口側(cè)通過(guò)管線93通向進(jìn)料空氣供給管線41。這樣形成第一循環(huán)管線。
由管線91分枝出來(lái)的管線95與第二壓縮機(jī)7的進(jìn)口側(cè)連接。其出口側(cè)通過(guò)管線96在加熱介質(zhì)一側(cè)與第二換熱器8的通道連接，由此通過(guò)管線97通向第二膨脹閥22，隨后由此通向組成調(diào)節(jié)塔3的精餾淺盤(pán)31的上方。這樣，形成第二循環(huán)管線。此外，第二壓縮機(jī)7的軸與膨脹渦輪6的軸連接。
下文描述借助上述裝置生產(chǎn)高純氮?dú)獾姆椒ā?br>
將借助進(jìn)料空氣壓縮機(jī)25將壓力升至約8.3kg/cm2G得到的進(jìn)料空氣導(dǎo)入分子篩柱26中，此時(shí)其中已不含水分與CO2。隨后將得到的進(jìn)料空氣通過(guò)進(jìn)料空氣供給管線41導(dǎo)入第一換熱器4。待進(jìn)料空氣通過(guò)待釋放的富氧廢氣和有待作為產(chǎn)物回收的高純氮?dú)庠诘谝粨Q熱器4中被冷卻后，在壓力為約8.1kg/cm2G，溫度約為167℃的狀態(tài)下將其通過(guò)管線42導(dǎo)入精餾塔1的精餾淺盤(pán)11下方。
在精餾塔1中，進(jìn)料空氣在其向上通過(guò)精淺盤(pán)11之時(shí)與自上向下流動(dòng)的回流液逆流接觸，致使進(jìn)料空氣中的氧被回流液捕集，而回流液中的氮?jiǎng)t蒸發(fā)并被氣相捕集。其結(jié)果是含低沸點(diǎn)組分如氫與氦的氮?dú)?1ppb以下的氧)被分離，進(jìn)入精餾塔1的頂部15，而富氧液體空氣(約30％體積氧)被分離進(jìn)入精餾塔1的底部16。
被收集在精餾塔1底部16、約為-168℃的富氧液體空氣通過(guò)管線71被導(dǎo)入第一膨脹閥21，在此通過(guò)降壓而被冷卻。隨后，在壓力約為2.7kg/cm2G、溫度約為-180℃的狀態(tài)下將所得到的進(jìn)料空氣導(dǎo)入組成調(diào)節(jié)塔3的精餾淺盤(pán)上方。在3中，一部分富氧液體空氣在其向下流過(guò)精餾淺盤(pán)31的過(guò)程中被蒸發(fā)，從而在塔3的頂部35中收集氧與氮的混合氣體(約19％體積氧)，其中氧濃度得到進(jìn)一步提高的富氧液體空氣(約55％體積氧)被收集在塔3的底部36。
被收集在精餾塔1頂部15的氮?dú)馔ㄟ^(guò)管線61被送往氮冷凝器2，在此通過(guò)與被收集在組成調(diào)節(jié)塔3底部36的富氧液體空氣間接換熱而被冷卻。如此冷卻的冷凝液氮通過(guò)管線62被送回精餾塔1中的精餾淺盤(pán)11a上方以便作為回流液被供給精餾淺盤(pán)。另外，其中低沸點(diǎn)組分如氫與氦已被濃縮的非冷凝氣體通過(guò)管線63被釋放出該系統(tǒng)。
由位于組成調(diào)節(jié)塔3的精餾淺盤(pán)31下方的氣相37提取溫度為約-173℃的富氧廢氣(約55％體積氧)并且將其通過(guò)管線81(排氣管)導(dǎo)入第一換熱器4中。由第一換熱器4中取出-145℃左右的富氧廢氣，并且將其導(dǎo)入膨脹渦輪6。待富氧廢氣在6中經(jīng)降壓被冷卻后，將其在約0.3kg/cm2G與約165℃下再次導(dǎo)入主換熱器4中，在此被用于冷卻進(jìn)料空氣以便達(dá)到常溫。此后，所得到的富氧廢氣被釋放出該系統(tǒng)。此外，富氧廢氣可視具體情況而定被用于分子篩柱26的再生過(guò)程。
另外，通過(guò)管線91(第一循環(huán)管線)由組成調(diào)節(jié)塔3頂部35取出的一部分混合氣被導(dǎo)入第一換熱器4，此處被用于冷卻進(jìn)料空氣。隨后，該混合氣通過(guò)管線92被引入第一壓縮機(jī)5，其壓力升至約8.2kg/cm2G。此后，所得到的混合氣通過(guò)管線93與進(jìn)料空氣供給管線41匯合以便進(jìn)行再循環(huán)。
通過(guò)管線91取自組成調(diào)節(jié)塔3頂部35的另一部分所述混合氣通過(guò)管線95(第二循環(huán)管線)被送入第二壓縮機(jī)7，此處其溫度與壓力上升。隨后將其在約8.2kg/cm2G壓力和約-155℃溫度下通過(guò)管線96作為加熱介質(zhì)導(dǎo)入第二換熱器8。在第二換熱器8中通過(guò)與高純液氮換熱將混合氣冷卻至約-169℃。通過(guò)管線97被引向第二膨脹閥22，此處通過(guò)降壓而被冷卻。此后，在其壓力為約2.7kg/cm2G，溫度為約-181℃的條件下將所得到的混合氣體導(dǎo)入組成調(diào)節(jié)塔3的精餾淺盤(pán)31上方。此外，第二壓縮機(jī)7的軸與所述膨脹渦輪6的軸連接，從而借助6來(lái)驅(qū)動(dòng)7。
由在作為精餾塔1頂部15下方數(shù)級(jí)的精餾淺盤(pán)上設(shè)置的儲(chǔ)存器11b提取約-172℃不含低沸點(diǎn)組分如氫與氦的高純液氮并且通過(guò)管線51(產(chǎn)物氣體回收管線)將其導(dǎo)入第二換熱器8之中。在此通過(guò)與所述混合氣間接換熱而被蒸發(fā)的高純氮?dú)庥诩s-172℃被送往主換熱器4，在此它被用于冷卻進(jìn)料空氣以便升溫至常溫。隨后，將所得到的高純氮?dú)馔ㄟ^(guò)管線53送往流速調(diào)節(jié)閥27以便調(diào)節(jié)其流速，在8.4kg/cm2G的壓力下提取并且借助濾器29脫除顆粒。此后，回收高純氮?dú)猱a(chǎn)物。
此外，將第二換熱器8設(shè)在管線51與精餾塔1的連接點(diǎn)下方約10-15m處，從而使通過(guò)將對(duì)應(yīng)于壓頭差的高達(dá)約0.7-1.0kg/cm2的壓力加到精餾塔1的操作壓力上得到的壓力約為7.8kg/cm2G(處在塔頂)，該壓力對(duì)第二換熱器8內(nèi)的高純氮?dú)猱a(chǎn)生影響。
上述方法中高純氮?dú)獾幕厥章始s為62％體積進(jìn)料空氣。
實(shí)施例2圖2給出了本發(fā)明另一實(shí)施方案。其中編號(hào)8a為換熱裝置，9為氣-液分離器。
在此實(shí)施例中，被用于前一實(shí)施例的第二換熱器由二個(gè)獨(dú)立的部分組成，即換熱器8a與氣液分離器9。也就是說(shuō)，氣-液分離器9與冷卻介質(zhì)一側(cè)的換熱器8a的通道并聯(lián)，而管線51(產(chǎn)物氣體回收管線)與氣液分離器9連接，高純液氮在換熱器8a中蒸發(fā)。除此部位外的其它構(gòu)造與圖1所示相同。
在上述構(gòu)造中，高純液氮由精餾塔1被引入氣液分離器9之中，隨后經(jīng)管線58由氣液分離器9的液相部分將高純液氮引入換熱器8a以便與所述混合氣換熱。所得到的高純液氮通過(guò)管線59在其中一部分蒸發(fā)之時(shí)返回氣液分離器9。通過(guò)管線52、第一換熱器4與管線53回收如此產(chǎn)生的作為產(chǎn)物的高純氮?dú)狻?br>
實(shí)施例3圖3所示為本發(fā)明實(shí)施方案之一。其中組成調(diào)節(jié)塔3底部36被視為終點(diǎn)，第二循環(huán)管線返回此處。此部位以外的其它構(gòu)造與圖1中的實(shí)施例相同。
在此情況下，精餾塔頂?shù)牟僮鲏毫s為7.8kg/cm2G，組成調(diào)節(jié)塔3的操作壓力為約2.7kg/cm2G，從而使高純度氮?dú)獾幕厥章始s為62％體積。
通過(guò)管線91取自組成調(diào)節(jié)塔3頂部35的另一部分所述混合氣通過(guò)管線95(第二循環(huán)管線)被導(dǎo)入第二壓縮機(jī)7，在此其壓力與溫度上升。隨后通過(guò)管線96將壓力約為8.2kg/cm2G、溫度約-155℃的所得到的混合氣作為加熱介質(zhì)導(dǎo)入第二換熱器8。通過(guò)與高純液氮在第二換熱器8中換熱將混合氣冷卻至約-169℃，通過(guò)管線97被進(jìn)一步引入第二膨脹閥22，在此通過(guò)降壓被冷卻。此后，在約2.7kg/cm2G與約-181℃下使所得到的混合氣返回組成調(diào)節(jié)塔3的底部36。
實(shí)施例4圖4所示為本發(fā)明實(shí)施方案的另一實(shí)例。其中，設(shè)置第二循環(huán)管線以便使自處在組成調(diào)節(jié)塔3的精餾淺盤(pán)下方氣體部分37取出的一部分富氧廢氣通過(guò)第二壓縮機(jī)7、第二換熱器8和第二膨脹閥22返回組成調(diào)節(jié)塔3的底部36。除了此部位以外的其它構(gòu)造與圖1相同。
在此情形下，精餾塔1頂部的操作壓力約為78.kg/cm2G。組成調(diào)節(jié)塔3的操作壓力為約2.7kg/cm2G，從而使高純氮?dú)獾幕厥章始s為62％體積。
通過(guò)管線81取自組成調(diào)節(jié)塔3的精餾淺盤(pán)下方的氣相部分37的一部分富氧廢氣通過(guò)管線95(第二循環(huán)管線)被導(dǎo)入第二壓縮機(jī)7，在此其壓力與溫度上升。隨后通過(guò)管線96將壓力約為5.4kg/cm2G、溫度約-155℃的所得到的富氧廢氣作為加熱介質(zhì)導(dǎo)入第二換熱器8。通過(guò)與高純液氮在第二換熱器8中換熱將富氧廢氣冷卻至約-169℃，通過(guò)管線97被進(jìn)一步引入第二膨脹閥22。在此通過(guò)降壓被冷卻。此后，在約2.7kg/cm2G與約-176℃下使得所到的富氧廢氣返回組成調(diào)節(jié)塔3的底部36。
實(shí)施例5圖4所示為本發(fā)明另一實(shí)施方案，其中第二循環(huán)管線的構(gòu)造滿足下列要求取自組成調(diào)節(jié)塔3的精餾淺盤(pán)下方的氣相部分37的一部分富氧廢氣通過(guò)第二壓縮機(jī)7、第一換熱器4、第二換熱器8與第二膨脹閥22返回組成調(diào)節(jié)塔3的底部36。
在此實(shí)施例中，所述部分的富氧廢氣通過(guò)管線98由第二壓縮機(jī)7的出口側(cè)被導(dǎo)入第一換熱器4，在此得到冷卻。隨后自第一換熱器4中取出所得到的富氧廢氣并通過(guò)管線99將其導(dǎo)入第二換熱器8。除此之外的其它構(gòu)造均與圖4相同。
實(shí)施例6圖6所示為本發(fā)明實(shí)施方案之一。其中上游一側(cè)第二換熱器8的進(jìn)料空氣管線被視為終點(diǎn)，第二循環(huán)管線返回此處。此部位以外的其它構(gòu)造與圖1中的實(shí)施例相同。
在此情況下，精餾塔頂?shù)牟僮鲏毫s為7.8kg/cm2G，組成調(diào)節(jié)塔3的操作壓力為約2.7kg/cm2G，從而使高純度氮?dú)獾幕厥章始s為62％體積。
通過(guò)管線91取自組成調(diào)節(jié)塔3頂部35的另一部分所述混合氣通過(guò)管線95(第二循環(huán)管線)被導(dǎo)入第二壓縮機(jī)7，在此其壓力與溫度上升。隨后通過(guò)管線96將壓力約為8.2kg/cm2G、溫度約-155℃的所得到的混合氣與第一換熱器4中進(jìn)料壓縮空氣通道4b匯合。
在本發(fā)明的高純氮發(fā)生裝置中，在精餾塔底分離得到的富氧液態(tài)空氣被引入組成調(diào)節(jié)塔中，一部分富氧液體空氣被蒸發(fā)，從而將其分離成為氧與氮的混合氣體與其中氧被進(jìn)一步濃縮的富氧液態(tài)空氣。隨后，該混合氣作為進(jìn)料被再循環(huán)，其中氧得到進(jìn)一步濃縮的富氧液態(tài)空氣以富氧廢氣的形式被釋放出該系統(tǒng)。
借助膨脹渦輪作為動(dòng)力回收富氧廢氣的壓力，借助該動(dòng)力壓縮有待再循環(huán)的一部分混合氣(或一部分富氧廢氣)，該壓縮混合氣的顯熱與潛熱被用作熱源，從而蒸發(fā)以液相形式取自精餾塔的高純液氮以便作為高純氮?dú)猱a(chǎn)物將其回收。因此，與其中取自精餾塔頂?shù)牡獨(dú)獾臐摕岜挥米鳠嵩吹膫鹘y(tǒng)裝置(如圖7所示)相比，通過(guò)利用伴隨氧濃度上升產(chǎn)生的液化壓力降低的現(xiàn)象可以將成為蒸發(fā)高純液氮所需的熱源的氣體的供給壓力設(shè)定在較低數(shù)值。
此外，蒸發(fā)高純液氮的第二換熱器被設(shè)置在從精餾塔中取出高純液氮的位置下方，因此，待輸送的高純氮?dú)獾膲毫梢愿哂谶M(jìn)料空氣壓縮機(jī)與利用該液壓頭的其它壓縮機(jī)的壓力。
其結(jié)果是，與傳統(tǒng)裝置(圖7)相比，可以將精餾塔的操作壓力降低約0.8-1.2kg/cm2。由于精餾塔操作壓力的如此般下降，精餾塔頂回流比減小了1-2％，電動(dòng)力消耗速率降低了約5％。
圖1為本發(fā)明高純氮發(fā)生裝置實(shí)例的示意圖；圖2為本發(fā)明高純氮發(fā)生裝置另一實(shí)例的示意圖；圖3為本發(fā)明高純氮發(fā)生裝置另一實(shí)例的示意圖4為本發(fā)明高純氮發(fā)生裝置另一實(shí)例的示意圖；圖5為本發(fā)明高純氮發(fā)生裝置另一實(shí)例的示意圖；圖6為本發(fā)明高純氮發(fā)生裝置另一實(shí)例的示意圖；圖7為先有技術(shù)高純氮發(fā)生裝置實(shí)例的示意圖；圖8為先有技術(shù)高純氮發(fā)生裝置另一實(shí)例的示意圖。
附圖中編號(hào)說(shuō)明1-精餾塔，2-氮冷凝器，3-組成調(diào)節(jié)塔，4-第一換熱器，5-第一壓縮機(jī)(循環(huán)壓縮機(jī))，6-膨脹渦輪，7-第二壓縮機(jī)，8-第二換熱器，8a-換熱體，9-氣液分離器，21-第一膨脹閥，22-第二膨脹閥，25-進(jìn)料空氣壓縮機(jī)，26-分子篩柱，27-流速調(diào)節(jié)閥，29-過(guò)濾器，11，31-精餾淺盤(pán)，51、52與53-產(chǎn)物氣體回收管線，81，82，83與85-排氣管線，91，92與93-第一循環(huán)管線，95，96與97-第二循環(huán)管線。
權(quán)利要求
1.高純氮發(fā)生裝置，其中包括用于冷卻進(jìn)料壓縮空氣的第一換熱器；具有精餾淺盤(pán)的精餾塔，其中壓縮空氣由第一換熱器被導(dǎo)入所述精餾淺盤(pán)下面以便與回流液體逆流接觸，從而使富氧液體空氣在底部得到分離，而氮?dú)鈩t在頂部得到分離；用于通過(guò)降低壓力而冷卻被導(dǎo)入的所述富氧液體空氣的第一膨脹閥；具有精餾淺盤(pán)的組成調(diào)節(jié)塔，其中所述富氧液態(tài)空氣由第一膨脹閥被導(dǎo)入所述精餾淺盤(pán)上方，富氧液體空氣在底部得到分離，而氧與氮的混合氣體則在頂部得到分離；氮?dú)饫淠?，用于通過(guò)與被收集在所述組成調(diào)節(jié)塔底部的所述富氧液體空氣進(jìn)行間接換熱來(lái)冷卻由精餾塔頂導(dǎo)入的氮?dú)?，這樣被冷凝的液氮作為回流液被供給精餾塔中精餾淺盤(pán)的上方，未冷凝氣體被排出；流程中設(shè)有膨脹渦輪的排氣管線，由組成調(diào)節(jié)塔的精餾淺盤(pán)下方的氣相部分回收富氧廢氣，并且將其導(dǎo)入膨脹渦輪中，通過(guò)降壓被冷卻的富氧廢氣作為一部分冷卻介質(zhì)被引入第一換熱器并且隨后被排向外部；具有第一壓縮機(jī)的第一循環(huán)管線，此處一部分所述混合氣體由組成調(diào)節(jié)塔的頂部被送入第一壓縮機(jī)，如此經(jīng)過(guò)壓縮的混合氣與進(jìn)料壓縮空氣匯合；具有被所述膨脹渦輪驅(qū)動(dòng)的第二壓縮機(jī)、第二換熱器和第二膨脹閥的第二循環(huán)管線，其中所述混合氣的另一部分由組成調(diào)節(jié)塔頂被導(dǎo)入第二壓縮機(jī)中，如此壓縮的混合氣作為加熱介質(zhì)被導(dǎo)入第二換熱器，隨后被導(dǎo)入第二膨脹閥以便通過(guò)減壓被液化，經(jīng)液化的氣體返回組成調(diào)節(jié)塔的精餾淺盤(pán)上方；用于由作為精餾塔頂下方數(shù)級(jí)的精餾淺盤(pán)回收高純液氮和使被回收的液氮與第二換熱器中混合氣體換熱的氣體產(chǎn)物回收管線，其中被蒸發(fā)的高純氮?dú)庾鳛橐徊糠掷鋮s介質(zhì)被導(dǎo)入第一換熱器中，隨后作為產(chǎn)物被回收。
2.高純氮發(fā)生裝置，其中包括用于冷卻進(jìn)料壓縮空氣的第一換熱器；具有精餾淺盤(pán)的精餾塔，其中壓縮空氣由第一換熱器被導(dǎo)入所述精餾淺盤(pán)下面以便與回流液體逆流接觸，從而使富氧液體空氣在底部得到分離，而氮?dú)鈩t在頂部得到分離；用于通過(guò)降低壓力而冷卻被導(dǎo)入的所述富氧液體空氣的第一膨脹閥；具有精餾淺盤(pán)的組成調(diào)節(jié)塔，其中所述富氧液態(tài)空氣由第一膨脹閥被導(dǎo)入所述精餾淺盤(pán)上方，富氧液體空氣在底部得到分離，而氧與氮的混合氣體則在頂部得到分離；氮?dú)饫淠?，用于通過(guò)與被收集在所述組成調(diào)節(jié)塔底的所述富氧液體空氣進(jìn)行間接換熱來(lái)冷卻由精餾塔頂導(dǎo)入的氮?dú)猓@樣被冷凝的液氮作為回流液被供給精餾塔中精餾淺盤(pán)的上方，未冷凝氣體被排出；流程中設(shè)有膨脹渦輪的排氣管線，由組成調(diào)節(jié)塔的精餾淺盤(pán)下方的氣相部分回收富氧廢氣，并且將其導(dǎo)入膨脹渦輪中，通過(guò)降壓被冷卻的富氧廢氣作為一部分冷卻介質(zhì)被引入第一換熱器并且隨后被排向外部；具有第一壓縮機(jī)的第一循環(huán)管線，此處一部分所述混合氣體由組成調(diào)節(jié)塔的頂部被送入第一壓縮機(jī)，如此經(jīng)過(guò)壓縮的混合氣與進(jìn)料壓縮空氣匯合；具有被所述膨脹渦輪驅(qū)動(dòng)的第二壓縮機(jī)、第二換熱器和第二膨脹閥的第二循環(huán)管線，其中所述混合氣的另一部分由組成調(diào)節(jié)塔頂被導(dǎo)入第二壓縮機(jī)中，如此壓縮的混合氣作為加熱介質(zhì)被導(dǎo)入第二換熱器，隨后被導(dǎo)入第二膨脹閥以便通過(guò)減壓被液化，經(jīng)液化的氣體返回組成調(diào)節(jié)塔底；用于由作為精餾塔頂下方數(shù)級(jí)的精餾淺盤(pán)回收高純液氮和使被回收的液氮與第二換熱器中混合氣體換熱的氣體產(chǎn)物回收管線，其中被蒸發(fā)的高純氮?dú)庾鳛橐徊糠掷鋮s介質(zhì)被導(dǎo)入第一換熱器中，隨后作為產(chǎn)物被回收。
3.高純氮發(fā)生裝置，其中包括用于冷卻進(jìn)料壓縮空氣的第一換熱器；具有精餾淺盤(pán)的精餾塔，其中壓縮空氣由第一換熱器被導(dǎo)入所述精餾淺盤(pán)下面以便與回流液體逆流接觸，從而使富氧液體空氣在底部得到分離，而氮?dú)鈩t在頂部得到分離；用于通過(guò)降低壓力而冷卻被導(dǎo)入的所述富氧液體空氣的第一膨脹閥；具有精餾淺盤(pán)的組成調(diào)節(jié)塔，其中所述富氧液態(tài)空氣由第一膨脹閥被導(dǎo)入所述精餾餾淺盤(pán)上方，富氧液體空氣在底部得到分離，而氧與氮的混合氣體則在頂部得到分離；氮?dú)饫淠鳎糜谕ㄟ^(guò)與被收集在所述組成調(diào)節(jié)塔底的所述富氧液體空氣進(jìn)行間接換熱來(lái)冷卻由精餾塔頂導(dǎo)入的氮?dú)?，這樣被冷凝的液氮作為回流液被供給精餾塔中精餾淺盤(pán)的上方，未冷凝氣體被排出；流程中設(shè)有膨脹渦輪的排氣管線，由組成調(diào)節(jié)塔的精餾淺盤(pán)下方的氣相部分回收一部分富氧廢氣，并且將其導(dǎo)入膨脹渦輪中，通過(guò)降壓被冷卻的富氧廢氣作為一部分冷卻介質(zhì)被引入第一換熱器并且隨后被排向外部；具有第一壓縮機(jī)的第一循環(huán)管線，此處一部分所述混合氣體由組成調(diào)節(jié)塔的頂部被送入第一壓縮機(jī)，如此經(jīng)過(guò)壓縮的混合氣與進(jìn)料壓縮空氣匯合；具有被所述膨脹渦輪驅(qū)動(dòng)的第二壓縮機(jī)、第二換熱器和第二膨脹閥的第二循環(huán)管線，其中所述富氧廢氣的另一部分由組成調(diào)節(jié)塔的精塔盤(pán)下方的氣相部分回收并且被導(dǎo)入第二壓縮機(jī)中，如此壓縮的富氧廢氣作為加熱介質(zhì)被導(dǎo)入第二換熱器，隨后被導(dǎo)入第二膨脹閥以便通過(guò)減壓被液化，經(jīng)液化的氣體返回組成調(diào)節(jié)塔底；用于由作為精餾塔頂下方數(shù)級(jí)的精餾淺盤(pán)回收高純液氮和使被回收的液氮與第二換熱器中富氧廢氣換熱的產(chǎn)物氣體回收管線，其中被蒸發(fā)的高純氮?dú)庾鳛橐徊糠掷鋮s介質(zhì)被導(dǎo)入第一換熱器中，隨后作為產(chǎn)物被回收。
4.按照權(quán)利要求3的高純氮發(fā)生裝置，其中所述第二循環(huán)管線具有被所述膨脹渦輪驅(qū)動(dòng)的第二壓縮機(jī)、第一換熱器、第二換熱器和第二膨脹閥，在此另一部分所述富氧廢氣由組成調(diào)節(jié)塔的精餾淺盤(pán)下方的氣相部分回收并且被引入第二壓縮機(jī)，如此經(jīng)過(guò)壓縮的富氧廢氣作為熱介質(zhì)被導(dǎo)入所述第一換熱器并且隨后作為加熱介質(zhì)被導(dǎo)入第二換熱器，此后被導(dǎo)入第二膨脹閥以便通過(guò)降壓被液化，經(jīng)過(guò)如此液化的氣體返回組成調(diào)節(jié)塔的底部。
5.高純氮發(fā)生裝置，其中包括用于冷卻進(jìn)料壓縮空氣的第一換熱器；用于通過(guò)與有待作為產(chǎn)物回收的高純液氮間接換熱進(jìn)一步冷卻通過(guò)第一換熱器的壓縮空氣的第二換熱器；具有精餾淺盤(pán)的精餾塔，其中壓縮空氣由第二換熱器被導(dǎo)入所述精餾淺盤(pán)下面以便與回流液體逆流接觸，從而使富氧液體空氣在底部得到分離，而氮?dú)鈩t在頂部得到分離；用于通過(guò)降低壓力而冷卻被導(dǎo)入的所述富氧液體空氣的第一膨脹閥；具有精餾淺盤(pán)的組成調(diào)節(jié)塔，其中所述富氧液態(tài)空氣由第一膨脹閥被導(dǎo)入所述精餾淺盤(pán)上方，富氧液體空氣在底部得到分離，而氧與氮的混合氣體則在頂部得到分離；氮?dú)饫淠鳎糜谕ㄟ^(guò)與被收集在所述組成調(diào)節(jié)塔底的所述富氧液體空氣進(jìn)行間接換熱來(lái)冷卻由精餾塔頂導(dǎo)入的氮?dú)?，這樣被冷凝的液氮作為回流液被供給精餾塔中精餾淺盤(pán)的上方，未冷凝氣體被排出；流程中設(shè)有膨脹渦輪的排氣管線，由組成調(diào)節(jié)塔的精餾淺盤(pán)下方的氣相部分回收富氧廢氣，并且將其導(dǎo)入膨脹渦輪中，通過(guò)降壓被冷卻的富氧廢氣作為一部分冷卻介質(zhì)被引入第一換熱器并且隨后被排向外部；具有第一壓縮機(jī)的第一循環(huán)管線，此處一部分所述混合氣體由組成調(diào)節(jié)塔的頂部被送入第一壓縮機(jī)，如此經(jīng)過(guò)壓縮的混合氣與進(jìn)料壓縮空氣匯合；具有被所述膨脹渦輪驅(qū)動(dòng)的第二壓縮機(jī)的第二循環(huán)管線，其中所述混合氣的另一部分由組成調(diào)節(jié)塔頂被導(dǎo)入第二壓縮機(jī)中，如此壓縮的混合氣與第一換熱器的中間部分的進(jìn)料空氣匯合；用于由作為精餾塔頂下方數(shù)級(jí)的精餾淺盤(pán)回收高純液氮和使被回收的液氮與第二換熱器中混合氣體換熱的產(chǎn)物氣體回收管線，其中被蒸發(fā)的高純氮?dú)庾鳛橐徊糠掷鋮s介質(zhì)被導(dǎo)入第一換熱器中，隨后作為產(chǎn)物被回收。
6.按照權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)的高純氮發(fā)生裝置，其中所述第二換熱器設(shè)置在高純液氮被取出所述精餾塔的位置下方，由第二換熱器至該位置的高度大于10m，但小于15m。
7.按照權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)的高純氮發(fā)生裝置，其中所述第二換熱器由一換熱器和氣液分離器組成，所述氣液分離器平行地連接在冷卻介質(zhì)側(cè)的所述換熱器的管道上，所述產(chǎn)物氣體回收管線與氣液分離器連接以便回收作為產(chǎn)物的在氣液分離器中蒸發(fā)的高純氮?dú)狻?br>
8.高純氮的生產(chǎn)方法，其中包括借助高純氮發(fā)生裝置壓縮取自所述組成調(diào)節(jié)塔的混合氣以便使其升溫，并且通過(guò)與其溫度已被提高的混合氣換熱來(lái)蒸發(fā)取自所述精餾塔的高純液氮，該裝置包括其中加入了被冷卻的壓縮空氣以便于其與回流液逆流接觸從而在底部分離得到富氧液態(tài)空氣并且在頂部得到氮?dú)?、以及其中高純液氮取自該頂部附近的液相部分的精餾塔，其中所述富氧液態(tài)空氣被導(dǎo)入其中以便蒸發(fā)其中一部分從而在底部分離出富氧液態(tài)空氣和在頂部分離得到氧與氮的混合氣體的組成調(diào)節(jié)塔。
全文摘要
其能量效率與高純氮?dú)饣厥章示慵训母呒兊l(fā)生裝置。在精餾塔1中,進(jìn)料空氣被分離為氮?dú)夂透谎跻簯B(tài)空氣。通過(guò)第一膨脹閥21降低塔底的富氧液態(tài)空氣的壓力,并且將其送往組成調(diào)節(jié)塔3,其頂部的氮?dú)庠诘獨(dú)饫淠?中冷凝,所得到的液氮作為回流液返回精餾塔1并且釋放非冷凝氣體。組成調(diào)節(jié)塔3下部的富氧廢氣通過(guò)膨脹渦輪6被降壓后,通過(guò)第一換熱器4被釋放。塔3頂部的混合氣再循環(huán)進(jìn)入第一壓縮機(jī)5。另一部分混合氣通過(guò)第二壓縮機(jī)7、第二換熱器8與第二膨脹閥22返回組成調(diào)節(jié)塔3。借助膨脹渦輪6驅(qū)動(dòng)第二壓縮機(jī)7。在第二換熱器8中蒸發(fā)取自精餾塔1頂部附近的高純液氮以便回收。
文檔編號(hào)F25J3/04GK1170861SQ9710540
公開(kāi)日1998年1月21日 申請(qǐng)日期1997年5月28日 優(yōu)先權(quán)日1996年5月29日
發(fā)明者伸二富田 申請(qǐng)人:締酸株式會(huì)社