本實(shí)用新型屬于氣體生產(chǎn)領(lǐng)域，涉及一種純化回收氣體的裝置，尤其涉及一種單塔低溫精餾回收氬氣的裝置。
背景技術(shù)：
氬氣是一種無(wú)色無(wú)臭的惰性氣體，其分子式為Ar，分子量為39.95，蒸汽壓為202.64kPa(-179℃)，熔點(diǎn)-189.2℃，沸點(diǎn)-185.7℃。在工業(yè)生產(chǎn)中，氬氣通常被用作一種高效的保護(hù)氣體，使用十分廣泛；例如，氬氣也普遍被用于單晶硅的生產(chǎn)工藝中。
直拉法(Czochralski method)是生產(chǎn)單晶硅的主要方法，全球70％～80％的單晶硅通過(guò)直拉法生產(chǎn)。最常用的直拉法生產(chǎn)單晶硅工藝是采用既像真空工藝又像流動(dòng)氣氛工藝的減壓拉晶工藝。減壓拉晶工藝是指，在硅單晶拉制過(guò)程中，連續(xù)等速地向單晶爐爐膛內(nèi)通入高純度氬氣，同時(shí)真空泵不斷地從爐膛向外抽送氬氣，以保持爐膛內(nèi)真空度穩(wěn)定在20托左右，可見(jiàn)，這種工藝既具有真空工藝的特點(diǎn)，又具有流動(dòng)氣氛工藝的特點(diǎn)。減壓拉晶工藝的真空泵一般采用滑閥泵，滑閥泵是用油來(lái)保持密封的機(jī)械真空泵；氬氣攜帶單晶拉制過(guò)程中由于高溫而產(chǎn)生的硅氧化物和雜質(zhì)揮發(fā)物，通過(guò)該真空泵的抽送排放到大氣。通過(guò)對(duì)這部分排放的氬氣進(jìn)行分析，發(fā)現(xiàn)其主要雜質(zhì)成分為氧氣、氮?dú)?、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等烷烴，以及液態(tài)潤(rùn)滑油霧；將排放的氬氣作為回收氬氣，進(jìn)一步純化處理以期望獲得純氬氣產(chǎn)品，從而實(shí)現(xiàn)回收氬氣的循環(huán)利用，能夠較大程度地節(jié)省生產(chǎn)成本。
純化回收氬氣的公知技術(shù)一般包括：對(duì)來(lái)自單晶爐的回收氬氣進(jìn)行除油除塵，接著通過(guò)高溫催化使甲烷等烴類和一氧化碳同氧氣反應(yīng)生產(chǎn)水和二氧化碳，催化反應(yīng)中保證氧氣過(guò)量(雜質(zhì)氧氣不夠則加入氧氣)；通過(guò)冷卻后在催化劑作用下使過(guò)量氧氣同加入的氫氣反應(yīng)生成水，并保證反應(yīng)氫氣過(guò)量，處理后氬氣中雜質(zhì)成分為水、二氧化碳、氫氣和氮?dú)?；最后?jīng)過(guò)氬氣常溫吸附單元吸附水和二氧化碳，得到只含有氮?dú)夂蜌錃鉃殡s質(zhì)的粗氬氣。氬氣常溫吸附單元由二個(gè)吸附器組成，吸附器中裝有吸附水和二氧化碳的吸附劑，一個(gè)吸附器進(jìn)行吸附工作，另一個(gè)吸附器進(jìn)行包括泄壓、加溫、吹冷的再生工作。所述再生工作的氣體使用氮?dú)?，該再生氮?dú)鈦?lái)自冷箱中低溫精餾塔生產(chǎn)或外購(gòu)，氬氣常溫吸附單元通過(guò)時(shí)間程序控制器自動(dòng)控制運(yùn)行切換。
然而，現(xiàn)有技術(shù)中存在的裝置或系統(tǒng)往往過(guò)于復(fù)雜，操作繁瑣，不利于大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)與檢修。
例如，CN102583281A公開(kāi)了一種單晶硅生產(chǎn)中氬氣回收純化的方法與裝置，其中，該方法主要包括以下步驟：先對(duì)來(lái)自單晶爐的回收氬氣進(jìn)行粗除油，再經(jīng)壓縮冷卻后高精度除油除塵，接著通過(guò)高溫催化反應(yīng)使甲烷等烴類和CO與氧氣反應(yīng)生成水和二氧化碳，且催化反應(yīng)中保證氧氣過(guò)量；再通過(guò)冷卻后在催化劑作用下使過(guò)量氧氣同加入的氫氣反應(yīng)生成水，經(jīng)過(guò)兩次催化反應(yīng)之后的氬氣經(jīng)過(guò)常溫吸附單元以便吸附水和二氧化碳；將上述氬氣冷卻后送入低溫精餾塔，使氬氣與氮?dú)狻錃夥蛛x，獲得純液氬，再經(jīng)復(fù)熱后得到純氬產(chǎn)品。然而，該方法中的低溫精餾部分使用空氣循環(huán)制冷，能耗較高，流程復(fù)雜，加入的過(guò)量氫氣放空，利用率低。
又如，CN104406364A公開(kāi)了一種雙塔耦合的氬氣回收純化設(shè)備及氬氣回收純化方法，其中使用了具有上下塔耦合結(jié)構(gòu)的低溫精餾塔等一系列設(shè)備；雖然該方法所得氬氣回收率高且純度高，但是，其所使用的設(shè)備能耗較高而無(wú)優(yōu)勢(shì)，并且結(jié)構(gòu)復(fù)雜，從而增加了設(shè)備投資成本，使得操作過(guò)于繁瑣，不利于大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)。
因此，研發(fā)出一種新型的裝置用于工藝流程更簡(jiǎn)潔、操作更方便、能耗更低的氬氣回收方法，是當(dāng)前本領(lǐng)域研發(fā)人員的研究重點(diǎn)之一。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本實(shí)用新型旨在克服上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的種種缺陷，提供一種高效地純化回收氬氣的裝置，以滿足精密電子工業(yè)、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域中使用高純氬氣的需求，尤其適用于單晶硅直拉法生產(chǎn)過(guò)程。
因此，本實(shí)用新型提供了一種單塔低溫精餾回收氬氣的裝置，包括以下設(shè)備：回收氬氣壓縮機(jī)、第一粗氬氣預(yù)冷機(jī)、除油器、除氧器、冷卻器、第二粗氬氣預(yù)冷機(jī)、純化器、換熱器、精餾冷箱；其中，所述精餾冷箱中設(shè)置有：再沸器、精餾塔、冷凝蒸發(fā)器及冷凝蒸發(fā)器外殼；上述各設(shè)備之間的連接關(guān)系如下：
所述回收氬氣壓縮機(jī)、所述第一粗氬氣預(yù)冷機(jī)、所述除油器通過(guò)管線依次串聯(lián)，所述活性炭吸附器的出口經(jīng)管線連接至所述除氧器的輸入管線，系統(tǒng)外氫氣輸入管線也連接至所述除氧器的輸入管線，而所述除氧器的輸入管線連通至所述除氧器的進(jìn)口；所述除氧器的出口經(jīng)管線連接至所述冷卻器之后通過(guò)管線依次串聯(lián)有所述第二粗氬氣預(yù)冷機(jī)和所述純化器，所述純化器的出口經(jīng)管線連接至所述換熱器的干燥粗氬氣入口，換熱器的干燥粗氬氣出口經(jīng)管線連接至設(shè)置在精餾塔底部的再沸器的入口，所述再沸器的氣液混合流體出口經(jīng)管線連接至所述精餾塔的塔體中上部；
所述精餾塔塔頂?shù)臍鍤獬隹诠芫€連接至換熱器的純氬氣入口，所述換熱器的純氬氣出口連接純氬氣輸出管線，該純氬氣輸出管線從精餾冷箱向外延伸，用于輸出純氬氣產(chǎn)品。
其中，在一種優(yōu)選實(shí)施例中，所述精餾塔塔底的流體出口經(jīng)管線連接至設(shè)置在所述精餾塔的頂部上的冷凝蒸發(fā)器的蒸發(fā)側(cè)。
其中，在一種優(yōu)選實(shí)施例中，系統(tǒng)外液Ar輸入管線穿過(guò)所述冷凝蒸發(fā)器外殼，并且連接至冷所述凝蒸發(fā)器的蒸發(fā)側(cè)。
其中，在一種優(yōu)選實(shí)施例中，所述精餾塔塔頂?shù)臍鍤獬隹谶€包括第二管線，所述第二管線連接至冷凝蒸發(fā)器的冷凝側(cè)，所述冷凝蒸發(fā)器的冷凝側(cè)的冷凝氬液出口通過(guò)回流管線連接至所述精餾塔內(nèi)。
其中，在一種優(yōu)選實(shí)施例中，所述冷凝蒸發(fā)器的頂部出口經(jīng)管線連接至換熱器的氫氮混合氣入口，換熱器的氫氮混合氣出口連接至純化器的再生氣入口。
其中，在一種優(yōu)選實(shí)施例中，系統(tǒng)外補(bǔ)充氮?dú)夤芫€連接至所述純化器的再生氣入口。
其中，在一種優(yōu)選實(shí)施例中，所述單塔低溫精餾回收氬氣的裝置還包括氫氣回收膜壓機(jī)；所述冷凝蒸發(fā)器的不凝氣吹掃口經(jīng)管線連接至換熱器的回收氫氣入口，換熱器的回收氫氣出口經(jīng)管線連接至氫氣回收膜壓機(jī)的進(jìn)口，所述回收膜壓機(jī)的出口經(jīng)管線連接至所述系統(tǒng)外氫氣輸入管線。
其中，在一種優(yōu)選實(shí)施例中，所述換熱器位于所述所述精餾冷箱內(nèi)。
其中，在一種優(yōu)選實(shí)施例中，所述除油器包括串聯(lián)的油過(guò)濾器、活性炭吸附器。
其中，在一種優(yōu)選實(shí)施例中，回收氬氣壓縮機(jī)與粗氬氣預(yù)冷機(jī)之間連接有粗氬氣緩沖罐。
在本實(shí)用新型的最優(yōu)選實(shí)施例中，所述單塔低溫精餾回收氬氣的裝置包括：回收氬氣壓縮機(jī)，粗氬氣緩沖罐，粗氬氣預(yù)冷機(jī)，油過(guò)濾器，活性炭吸附器，除氧器，冷卻器，粗氬氣預(yù)冷機(jī)，純化器，精餾冷箱和氫氣回收膜壓機(jī)；其中，所述精餾冷箱中設(shè)置有：換熱器，再沸器，粗液氬節(jié)流閥，精餾塔，純液氬節(jié)流閥，冷凝蒸發(fā)器及冷凝蒸發(fā)器外殼；還可以包括其它閥門與若干管線，用于連接以上各設(shè)備；并且，上述各設(shè)備之間的連接關(guān)系如下：
所述回收氬氣壓縮機(jī)、所述粗氬氣緩沖罐、所述粗氬氣預(yù)冷機(jī)、所述油過(guò)濾器與所述活性炭吸附器通過(guò)管線依次串聯(lián)，所述活性炭吸附器的出口經(jīng)管線連接至所述除氧器的輸入管線，系統(tǒng)外氫氣輸入管線也連接至所述除氧器的輸入管線，而所述除氧器的輸入管線連通至所述除氧器的進(jìn)口；所述除氧器的出口經(jīng)管線連接至所述冷卻器，所述冷卻器之后通過(guò)管線依次串聯(lián)有所述粗氬氣預(yù)冷機(jī)和所述純化器，所述純化器的出口經(jīng)管線連接至所述精餾冷箱內(nèi)的換熱器的干燥粗氬氣入口，換熱器的干燥粗氬氣出口經(jīng)管線連接至設(shè)置在精餾塔底部的再沸器的入口，所述再沸器的氣液混合流體出口經(jīng)設(shè)置有粗液氬節(jié)流閥的管線連接至所述精餾塔的塔體中上部；
所述精餾塔塔底的純液氬出口經(jīng)設(shè)置有純液氬節(jié)流閥的管線連接至設(shè)置在所述精餾塔的頂部上的冷凝蒸發(fā)器的蒸發(fā)側(cè)；系統(tǒng)外液Ar輸入管線穿過(guò)所述冷凝蒸發(fā)器外殼，并且也連接至冷所述凝蒸發(fā)器的蒸發(fā)側(cè)；
所述精餾塔塔頂?shù)臍鍤獬隹诜种閮蓷l管線，其中一條管線連接至換熱器的純氬氣入口，所述換熱器的純氬氣出口連接純氬氣輸出管線，該純氬氣輸出管線從精餾冷箱向外延伸，用于輸出純氬氣產(chǎn)品；其中另一條管線連接至冷凝蒸發(fā)器的冷凝側(cè)，所述冷凝蒸發(fā)器的冷凝側(cè)的冷凝氬液出口通過(guò)回流管線連接至所述精餾塔內(nèi)；所述冷凝蒸發(fā)器的頂部出口經(jīng)管線連接至換熱器的氫氮混合氣入口，換熱器的氫氮混合氣出口連接至純化器的再生氣入口，系統(tǒng)外補(bǔ)充氮?dú)夤芫€也連接至所述純化器的再生氣入口；
所述冷凝蒸發(fā)器的不凝氣吹掃口經(jīng)管線連接至換熱器的回收氫氣入口，換熱器的回收氫氣出口經(jīng)管線連接至氫氣回收膜壓機(jī)的進(jìn)口，所述回收膜壓機(jī)的出口經(jīng)管線連接至所述系統(tǒng)外氫氣輸入管線。
優(yōu)選地，上述單塔低溫精餾回收氬氣的裝置中，所述除氧器為催化脫氧反應(yīng)器，其中使用的催化劑為活性氧化鋁鍍鈀催化劑。
優(yōu)選地，上述單塔低溫精餾回收氬氣的裝置中，所述粗液氬節(jié)流閥與所述純液氬節(jié)流閥均為可調(diào)節(jié)流量的低溫液體節(jié)流閥。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)：
(1)本實(shí)用新型所提供的裝置有效利用回收現(xiàn)場(chǎng)所具有的液氬提供系統(tǒng)的便利，如單晶硅廠家會(huì)有液氬供應(yīng)的條件，即所述系統(tǒng)外液Ar，用其補(bǔ)充冷量損失，而不必單獨(dú)設(shè)置膨脹機(jī)；
(2)利用油過(guò)濾器、活性炭吸附器、除氧器、純化器等設(shè)備進(jìn)行初步純化，再利用低溫精餾法脫除N2、H2，在此過(guò)程中有效回收加入的過(guò)量氫氣，從而提高了氬氣的回收率和氫氣的利用率，簡(jiǎn)化了低溫精餾的流程和操作，降低了運(yùn)行能耗；
(3)本實(shí)用新型所提供的裝置運(yùn)動(dòng)部件少，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，因而降低了投資成本，并且方便操作；
(4)采用本實(shí)用新型所述裝置實(shí)施的純化回收氬氣的方法，所獲得的高純氬氣產(chǎn)品可得到廣泛應(yīng)用，因此，具有良好的市場(chǎng)前景。
附圖說(shuō)明
圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例1所述單塔低溫精餾回收氬氣的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，其中：
E1-系統(tǒng)外氫氣，E2-系統(tǒng)外補(bǔ)充氮?dú)?，E3-系統(tǒng)外液Ar；1-回收氬氣壓縮機(jī)，2-粗氬氣緩沖罐，3-粗氬氣預(yù)冷機(jī)，4-油過(guò)濾器，5-活性炭吸附器，6-除氧器，7-冷卻器，8-粗氬氣預(yù)冷機(jī)，9-純化器，10-精餾冷箱，11-換熱器，12-再沸器，13-粗液氬節(jié)流閥，14-精餾塔，15-純液氬節(jié)流閥，16-冷凝蒸發(fā)器，17-冷凝蒸發(fā)器外殼，18-氫氣回收膜壓機(jī)。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步闡述，但本實(shí)用新型并不限于以下實(shí)施方式。
本實(shí)用新型提供了一種單塔低溫精餾回收氬氣的裝置，包括以下設(shè)備：
回收氬氣壓縮機(jī)1，粗氬氣緩沖罐2，粗氬氣預(yù)冷機(jī)3，油過(guò)濾器4，活性炭吸附器5，除氧器6，冷卻器7，粗氬氣預(yù)冷機(jī)8，純化器9，精餾冷箱10和氫氣回收膜壓機(jī)18；其中，所述精餾冷箱10中設(shè)置有：換熱器11，再沸器12，粗液氬節(jié)流閥13，精餾塔14，純液氬節(jié)流閥15，冷凝蒸發(fā)器16及冷凝蒸發(fā)器外殼17；其它閥門與若干管線，用于連接以上各設(shè)備；并且，上述各設(shè)備之間的連接關(guān)系如下：
所述回收氬氣壓縮機(jī)1、所述粗氬氣緩沖罐2、所述粗氬氣預(yù)冷機(jī)3、所述油過(guò)濾器4與所述活性炭吸附器5通過(guò)管線依次串聯(lián)，所述活性炭吸附器5的出口經(jīng)管線連接至所述除氧器6的輸入管線，系統(tǒng)外氫氣輸入管線也連接至所述除氧器6的輸入管線，而所述除氧器6的輸入管線連通至所述除氧器6的進(jìn)口；所述除氧器6的出口經(jīng)管線連接至所述冷卻器7，所述冷卻器7之后通過(guò)管線依次串聯(lián)有所述粗氬氣預(yù)冷機(jī)8和所述純化器9，所述純化器9的出口經(jīng)管線連接至所述精餾冷箱10內(nèi)的換熱器11的干燥粗氬氣入口，換熱器11的干燥粗氬氣出口經(jīng)管線連接至設(shè)置在精餾塔14底部的再沸器12的入口，所述再沸器12的氣液混合流體出口經(jīng)設(shè)置有粗液氬節(jié)流閥13的管線連接至所述精餾塔14的塔體中上部；
所述精餾塔14塔底的純液氬出口經(jīng)設(shè)置有純液氬節(jié)流閥15的管線連接至設(shè)置在所述精餾塔14的頂部上的冷凝蒸發(fā)器16的蒸發(fā)側(cè)；系統(tǒng)外液Ar輸入管線穿過(guò)所述冷凝蒸發(fā)器外殼17，并且也連接至冷所述凝蒸發(fā)器16的蒸發(fā)側(cè)；
所述精餾塔14塔頂?shù)臍鍤獬隹诜种閮蓷l管線，其中一條管線連接至換熱器11的純氬氣入口，所述換熱器11的純氬氣出口連接純氬氣輸出管線，該純氬氣輸出管線從精餾冷箱10向外延伸，用于輸出純氬氣產(chǎn)品；其中另一條管線連接至冷凝蒸發(fā)器16的冷凝側(cè)，所述冷凝蒸發(fā)器16的冷凝側(cè)的冷凝氬液出口通過(guò)回流管線連接至所述精餾塔14內(nèi)；所述冷凝蒸發(fā)器16的頂部出口經(jīng)管線連接至換熱器11的氫氮混合氣入口，換熱器11的氫氮混合氣出口連接至純化器9的再生氣入口，系統(tǒng)外補(bǔ)充氮?dú)夤芫€也連接至所述純化器9的再生氣入口；
所述冷凝蒸發(fā)器16的不凝氣吹掃口經(jīng)管線連接至換熱器11的回收氫氣入口，換熱器11的回收氫氣出口經(jīng)管線連接至氫氣回收膜壓機(jī)18的進(jìn)口，所述回收膜壓機(jī)18的出口經(jīng)管線連接至所述系統(tǒng)外氫氣輸入管線。
在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述除氧器6為催化脫氧反應(yīng)器，其中使用的催化劑為活性氧化鋁鍍鈀催化劑。
在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述粗液氬節(jié)流閥13與所述純液氬節(jié)流閥15均為可調(diào)節(jié)流量的低溫液體節(jié)流閥。
下述實(shí)施例中的操作如無(wú)特別說(shuō)明均為常規(guī)操作，所述裝置如無(wú)特別說(shuō)明均能從公開(kāi)商業(yè)途徑獲得。
實(shí)施例1
采用如圖1所示的單塔低溫精餾回收氬氣的裝置對(duì)回收氬氣進(jìn)行純化：
該單塔低溫精餾回收氬氣的裝置包括以下主要設(shè)備：回收氬氣壓縮機(jī)1，粗氬氣緩沖罐2，粗氬氣預(yù)冷機(jī)3，油過(guò)濾器4，活性炭吸附器5，除氧器6，冷卻器7，粗氬氣預(yù)冷機(jī)8，純化器9，精餾冷箱10，換熱器11，再沸器12，粗液氬節(jié)流閥13，精餾塔14，純液氬節(jié)流閥15，冷凝蒸發(fā)器16，冷凝蒸發(fā)器外殼17和氫氣回收膜壓機(jī)18；并且，所述粗液氬節(jié)流閥13與所述純液氬節(jié)流閥15均為可調(diào)節(jié)流量的低溫液體節(jié)流閥；具體實(shí)施步驟包括：
將混入約5％空氣的低壓回收氬氣2400Nm3/h輸送入回收氬氣壓縮機(jī)1進(jìn)行加壓，并通過(guò)粗氬氣緩沖罐2穩(wěn)定壓力；從粗氬氣緩沖罐2輸出的粗氬氣的壓力為0.7MPa，先經(jīng)粗氬氣預(yù)冷機(jī)3預(yù)冷降溫至6℃，接著進(jìn)入油過(guò)濾器4過(guò)濾并輸出油含量小于1ppm的粗氬氣，然后經(jīng)活性炭吸附器5進(jìn)一步除去微量油并輸出無(wú)油粗氬氣；所述無(wú)油粗氬氣與輸入的系統(tǒng)外氫氣E1及回收氫氣一并在除氧器6的輸入管線中混合，并進(jìn)入所述除氧器6；所述除氧器6為催化脫氧反應(yīng)器，其中采用了活性氧化鋁鍍鈀催化劑催化氧氣與過(guò)量氫氣反應(yīng)生成水，并釋放出熱量，氧氣被除去，輸出220～240℃的高溫粗氬氣；所述高溫粗氬氣經(jīng)冷卻器7冷卻至40℃，再通過(guò)粗氬氣預(yù)冷機(jī)8進(jìn)一步冷卻至7～8℃；然后通過(guò)純化器9脫除水和二氧化碳并輸出干燥粗氬氣，所述干燥粗氬氣的露點(diǎn)≤-72℃且其中含有的二氧化碳≤0.9ppm；所述干燥粗氬氣進(jìn)入精餾冷箱10內(nèi)的換熱器11，降溫至-161℃，然后進(jìn)入設(shè)置在精餾塔14底部的再沸器12；在該再沸器12中，84％的氣體被液化，從而得到流出的氣液混合流體，流經(jīng)粗液氬節(jié)流閥13節(jié)流降壓至0.38MPa后，進(jìn)入精餾塔14的塔體中上部進(jìn)行低溫精餾。
由于存在壓力差，該再沸器12的冷凝側(cè)為0.672MPa，-168.1℃；其蒸發(fā)側(cè)為0.38MPa，-171.1℃，沸點(diǎn)溫度會(huì)根據(jù)壓力改變，從而使再沸器內(nèi)外側(cè)形成溫差3℃，保證了該再沸器12的正常運(yùn)行。
所述精餾塔14塔底的純液氬流經(jīng)純液氬節(jié)流閥15節(jié)流降壓至0.12MPa后，進(jìn)入冷凝蒸發(fā)器16的蒸發(fā)側(cè)；以260kg/h的流量輸入的系統(tǒng)外液Ar E3也進(jìn)入所述凝蒸發(fā)器16的蒸發(fā)側(cè)，用于補(bǔ)充冷量損失；
隨著精餾的進(jìn)行，純氬氣在所述精餾塔14塔頂不斷富集，直至純度達(dá)到99.9997～99.9999％后，從塔頂抽出，并分為兩股：第一股純氬氣首先進(jìn)入換熱器11復(fù)熱至-15℃，回收冷量，然后通過(guò)純氬氣輸出管線從精餾冷箱10向外輸出純氬氣產(chǎn)品；第二股純氬氣進(jìn)入冷凝蒸發(fā)器16的冷凝側(cè)，生成冷凝氬液，回流至所述精餾塔14內(nèi)，成為塔內(nèi)的下降液體；所述冷凝蒸發(fā)器16的頂部輸出氫氮混合氣，所述氫氮混合氣進(jìn)入換熱器11復(fù)熱至-11℃，回收冷量，然后與輸入的系統(tǒng)外補(bǔ)充氮?dú)釫2一起作為再生氣進(jìn)入純化器9；
H2含量為40％的回收氫氣從所述冷凝蒸發(fā)器16的不凝氣吹掃口抽出，進(jìn)入換熱器11復(fù)熱至-11℃，回收冷量，再進(jìn)入氫氣回收膜壓機(jī)18加壓，再進(jìn)入系統(tǒng)外氫氣輸入管線，與以70Nm3/h的流量輸入的系統(tǒng)外氫氣混合，用于在除氧器6中參與反應(yīng)。
以上對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)描述，但其只作為范例，本實(shí)用新型并不限制于以上描述的具體實(shí)施例。對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，任何對(duì)該實(shí)用進(jìn)行的等同修改和替代也都在本實(shí)用新型的范疇之中。因此，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍下所作的均等變換和修改，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的范圍內(nèi)。