技術(shù)編號(hào)：11683735
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于氣體生產(chǎn)領(lǐng)域，涉及一種純化回收氣體的裝置，尤其涉及一種單塔低溫精餾回收氬氣的裝置。背景技術(shù)氬氣是一種無色無臭的惰性氣體，其分子式為Ar，分子量為39.95，蒸汽壓為202.64kPa(-179℃)，熔點(diǎn)-189.2℃，沸點(diǎn)-185.7℃。在工業(yè)生產(chǎn)中，氬氣通常被用作一種高效的保護(hù)氣體，使用十分廣泛；例如，氬氣也普遍被用于單晶硅的生產(chǎn)工藝中。直拉法(Czochralskimethod)是生產(chǎn)單晶硅的主要方法，全球70％～80％的單晶硅通過直拉法生產(chǎn)。最常用的直拉法生產(chǎn)單晶硅工藝是采用...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。