技術(shù)特征：

1.一種以氮?dú)鉄岜镁s生產(chǎn)超高純一氧化碳的裝置，包括原料氣儲(chǔ)罐(7)、熱泵(9)、廢氣爐(6)和產(chǎn)品罐(15)，其特征在于：原料氣儲(chǔ)罐(7)通過第二調(diào)節(jié)閥(49)與第二換熱器(8)的原料氣進(jìn)口(18)相連，第二換熱器(8)的原料氣出口(19)通過第二節(jié)流閥(2)與第一精餾塔(10)的原料氣進(jìn)口(20)相連，第一精餾塔(10)頂部的氣相出口(21)通過第一換熱器(12)的第一原料氣進(jìn)口(22)、第一換熱器(12)的第一原料氣出口(23)與第一氣液分離器(11)的原料氣進(jìn)口(24)相連，第一氣液分離器(11)底部的液相出口(38)分別與第一精餾塔(10)的原料液進(jìn)口(25)和第二精餾塔(14)的第一原料液進(jìn)口(26)相連，第二精餾塔(14)的底部液相出口(33)通過第四調(diào)節(jié)閥(5)與產(chǎn)品罐(15)的液相進(jìn)口(34)相連；

第一精餾塔(10)底部液相出口(32)通過第二換熱器(8)的第一尾氣進(jìn)口(42)和第二換熱器(8)的第一尾氣出口(43)與第一調(diào)節(jié)閥(1)相連，第一調(diào)節(jié)閥(1)與廢氣爐(6)相連；

第一氣液分離器(11)頂部的氣相出口(35)通過第二換熱器(8)的第二尾氣進(jìn)口(36)和第二換熱器(8)的第二尾氣出口(37)與第一調(diào)節(jié)閥(1)相連；

第二精餾塔(14)頂部氣相出口(27)通過第一換熱器(12)的第二原料氣進(jìn)口(28)和第一換熱器(12)的第二原料氣出口(29)與第二氣液分離器(13)的原料氣進(jìn)口(30)相連，第二氣液分離器(13)頂部氣相出口(39)通過第二換熱器(8)的第三尾氣進(jìn)口(40)和第二換熱器(8)第三尾氣出口(41)與第一調(diào)節(jié)閥(1)相連；第二氣液分離器(13)底部液相出口(48)通過管道與第二精餾塔(14)的第二原料液進(jìn)口(31)相連；

熱泵(9)循環(huán)氣出口(45)依次通過第二換熱器(8)的第一循環(huán)氣進(jìn)口(46)、第二換熱器(8)的第一循環(huán)氣出口(47)、設(shè)在第一精餾塔(10)底部的第一再沸器(16)、設(shè)在第二精餾塔(14)底部的第二再沸器(17)、第一節(jié)流閥(3)、第一換熱器(12)的第一循環(huán)氣進(jìn)口(52)、第一換熱器(12)的第一循環(huán)氣出口(53)、第二換熱器(8)第二循環(huán)氣進(jìn)口(51)和第二換熱器(8)的第二循環(huán)氣出口(50)，所述的第二換熱器(8)的第二循環(huán)氣出口(50)通過管道與熱泵(9)循環(huán)氣進(jìn)口(44)相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的以氮?dú)鉄岜镁s生產(chǎn)超高純一氧化碳的裝置，其特征在于：所述第一氣液分離器(11)底部的液相出口與第二精餾塔(14)的第一原料液進(jìn)口(26)之間設(shè)有第三調(diào)節(jié)閥(4)。

3.一種如權(quán)利要求1所述的以氮?dú)鉄岜镁s生產(chǎn)超高純一氧化碳的裝置的生產(chǎn)方法，其特征在于：包括如下步驟：

步驟一：原料氣儲(chǔ)罐(7)中的原料氣依次通過第二調(diào)節(jié)閥(49)、第二換熱器(8)的原料氣進(jìn)口(18)、第二換熱器(8)的原料氣出口(19)、第二節(jié)流閥(2)和第一精餾塔(10)的原料氣進(jìn)口(20)進(jìn)入第一精餾塔(10)內(nèi)；所述的原料氣組成成份為：氮?dú)狻錃?、氧氣、甲烷、一氧化碳；原料氣的溫?5℃、壓力4Mpa、流量：500Nm³/h、氣相分率為1、一氧化碳摩爾分?jǐn)?shù)：62％；第二換熱器(8)的原料氣出口(19)溫度為：-154～-157℃，氣相分率為0.07。

步驟二：使步驟一中進(jìn)入第一精餾塔(10)內(nèi)原料氣進(jìn)行一次精餾提純，一次精餾提純后的氣相通過第一精餾塔(10)頂部的氣相出口(21)、第一換熱器(12)的第一原料氣進(jìn)口(22)和第一換熱器(12)的第一原料氣出口(23)進(jìn)入第一氣液分離器(11)內(nèi)進(jìn)行氣液分離，氣液分離后的液相通過第一氣液分離器(11)底部的液相出口(38)分別進(jìn)入第一精餾塔(10)和第二精餾塔(14)內(nèi)；所述第一精餾塔(10)的頂部氣相出口(21)的氣相溫度為：-175～-177℃，CO摩爾分?jǐn)?shù)：66.7％；第一氣液分離器(11)的液相出口進(jìn)入第一精餾塔(10)內(nèi)的液相溫度為：-179～-180℃，流量為：530Nm³/h；第一氣液分離器(11)的液相出口(38)進(jìn)入第二精餾塔(14)內(nèi)的液相流量：376.8Nm³/h，氣相分率：0；

步驟三：使步驟二中進(jìn)入第二精餾塔(14)內(nèi)液相進(jìn)行二次精餾提純，二次精餾提純后的液相產(chǎn)品通過第二精餾塔(14)的底部液相出口(33)和第四調(diào)節(jié)閥(5)進(jìn)入產(chǎn)品罐(15)內(nèi)；所述第二精餾塔(14)的底部液相出口的液相產(chǎn)品溫度為：-177～-178℃、流量：216.8Nm³/h、純度不低于99.999％；

步驟四：步驟二中所述的一次精餾提純后的廢液依次通過第一精餾塔(10)底部液相出口(32)、第二換熱器(8)的第一尾氣進(jìn)口(42)、第二換熱器(8)的第一尾氣出口(43)和第一調(diào)節(jié)閥(1)進(jìn)入廢氣爐(6)內(nèi)；所述第一精餾塔(10)的底部液相出口的廢液溫度為：-164℃～-166℃，所述廢氣爐(6)內(nèi)的尾氣溫度為：33～37℃；

步驟五：步驟二中所述的通過第一氣液分離器(11)內(nèi)進(jìn)行氣液分離后的氣相依次通過第一氣液分離器(11)頂部的氣相出口(35)、第二換熱器(8)的第二尾氣進(jìn)口(36)、第二換熱器(8)的第二尾氣出口(37)和第一調(diào)節(jié)閥(1)進(jìn)入廢氣爐(6)內(nèi)；

步驟六：步驟三中所述的通過第二精餾塔(14)進(jìn)行二次精餾提純后的氣相依次通過第二精餾塔(14)頂部氣相出口(27)、第一換熱器(12)的第二原料氣進(jìn)口(28)、第一換熱器(12)的第二原料氣出口(29)進(jìn)入第二氣液分離器(13)內(nèi)；進(jìn)入第二氣液分離器(13)內(nèi)進(jìn)行氣液分離，氣液分離后的氣相依次通過第二氣液分離器(13)頂部氣相出口(39)、第二換熱器(8)的第三尾氣進(jìn)口(40)、第二換熱器(8)第三尾氣出口(41)和第一調(diào)節(jié)閥(1)進(jìn)入廢氣爐(6)內(nèi)；氣液分離后的液相通過第二氣液分離器(13)底部液相出口(48)和第二精餾塔(14)的第二原料液進(jìn)口(31)進(jìn)入到第二精餾塔(14)內(nèi)；所述第二精餾塔(14)的頂部氣相出口(27)的氣相溫度為：-179～-180℃，CO摩爾分?jǐn)?shù)：32.9％；通過第二精餾塔(14)的第二原料液進(jìn)口(31)的液相流量為：840Nm³/h，氣相分率：0；進(jìn)入第二氣液分離器(13)的氣相溫度為：-180.5℃；第二換熱器(8)的第三尾氣出口(41)氣相溫度為：33～37℃；

步驟七：熱泵(9)內(nèi)的循環(huán)氣依次通過第二換熱器(8)的第一循環(huán)氣進(jìn)口(46)、第二換熱器(8)的第一循環(huán)氣出口(47)、設(shè)在第一精餾塔(10)底部的第一再沸器(16)、設(shè)在第二精餾塔(14)底部的第二再沸器(17)和第一節(jié)流閥(3)進(jìn)入第一換熱器(12)的第一循環(huán)液進(jìn)口(52)內(nèi)；所述循環(huán)氣的組分：氮?dú)?、氫氣、氬氣，氮?dú)饽柗謹(jǐn)?shù)：99％；第二換熱器(8)的第一循環(huán)氣出口(47)的循環(huán)氣溫度為：-154～-157℃，氣相分率：1；第一再沸器(16)出口的循環(huán)液溫度為：-158～-162℃氣相分率：0.36；第二再沸器(17)出口的循環(huán)液溫度為：-173～-177℃，氣相分率：0；第一節(jié)流閥(3)出口的循環(huán)液溫度為：-179～-182℃；

步驟八：使上述步驟五中通過第一節(jié)流閥(3)進(jìn)入第一換熱器(12)的第一循環(huán)液進(jìn)口(52)內(nèi)的循環(huán)液進(jìn)行換熱，換熱后的循環(huán)氣依次通過第一換熱器(12)的第一循環(huán)氣出口(53)、第二換熱器(8)第二循環(huán)氣進(jìn)口(51)和第二換熱器(8)的第二循環(huán)氣出口(50)進(jìn)入熱泵(9)內(nèi)，完成氮?dú)庋h(huán)；所述第一換熱器(12)的第一循環(huán)氣出口(53)的循環(huán)氣溫度為：-181～-182℃、氣相分率：0.98，第二換熱器(8)的第二循環(huán)氣出口(50)的循環(huán)氣溫度為：33～37℃，氣相分率：1。