一種吹風(fēng)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于硅片加工裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種吹風(fēng)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]硅棒在經(jīng)過拉晶處理后，需要將硅棒粘棒膠固定粘附在樹脂板上沿豎直方向切割成硅片后進(jìn)行噴淋處理，以除去硅棒切割縫間的雜質(zhì)，然后通過機械臂吊起送入酸槽利用乳酸進(jìn)行酸洗。但是現(xiàn)有的噴淋處理后由于硅棒上部切割縫的水分之間的表面張力而形成一層水膜，這將延緩酸槽中的乳酸進(jìn)入切割縫的速度，降低乳酸與粘棒膠中固化劑的軟化速度，從而延緩了硅棒的脫膠速度。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的在于提供一種吹風(fēng)裝置，解決了現(xiàn)有技術(shù)中噴淋后硅棒切割縫間由于存在水膜使得硅棒脫膠時間較長的缺點。
[0004]本實用新型所采用的技術(shù)方案是:一種吹風(fēng)裝置，包括進(jìn)氣管，進(jìn)氣管與硅棒切割縫所在平面相互垂直，進(jìn)氣管上設(shè)置有出氣組件，出氣組件的任一位置出氣量大小一致并且共同形成一道線性氣簾正對硅棒切割縫。
[0005]本實用新型的特點還在于，
[0006]進(jìn)氣管為圓柱形、長方體或錐形，其一端為進(jìn)氣管口，出氣組件為沿進(jìn)氣管的軸向正對硅棒切割縫開設(shè)的一條出氣管縫，出氣管縫的寬度從進(jìn)氣管口端到末端線性加寬以保證任一出氣管縫位置出氣量大小一致。
[0007]進(jìn)氣管為圓柱形、長方形或錐形，進(jìn)氣管管體上等距離設(shè)置有多個進(jìn)氣管口，出氣組件為進(jìn)氣管管體正對硅棒切割縫的軸向上開設(shè)的一條出氣管縫，所述出氣管縫任一位置的寬度相同。
[0008]進(jìn)氣管為圓柱形、長方體或錐形，其一端為進(jìn)氣管口，出氣組件為沿進(jìn)氣管的軸向正對硅棒切割縫等距離設(shè)置的多個出氣孔，出氣孔的孔徑從進(jìn)氣管口端到末端線性增大以保證任一出氣管縫位置出氣量大小一致。
[0009]進(jìn)氣管為圓柱形、長方形或錐形，進(jìn)氣管管體上等距離設(shè)置有多個進(jìn)氣管口，出氣組件為進(jìn)氣管管體正對硅棒切割縫的軸向上設(shè)置的多個出氣孔，所述出氣孔的孔徑相同。
[0010]出氣孔的孔徑為0.3mm-0.5mm。
[0011]出氣孔的開口角度為60° -70°。
[0012]本實用新型的有益效果是:本實用新型的一種吹風(fēng)裝置解決了現(xiàn)有技術(shù)中噴淋后硅棒切割縫間由于存在水膜使得硅棒脫膠時間較長的缺點。本實用新型的一種吹風(fēng)裝置結(jié)構(gòu)簡單，在硅棒經(jīng)過噴淋后利用出氣組件形成正對硅棒切割縫并且出氣量一致的氣流，從而將硅棒切割縫間的水分吹干，去除硅棒切割縫間的水膜，以便在后續(xù)的酸化處理中加快乳酸進(jìn)入切割縫的速度，從而達(dá)到增加乳酸與粘棒膠中固化劑的反應(yīng)接觸時間，最終達(dá)到縮短硅棒脫膠時間、提高生產(chǎn)效率的目的。
【附圖說明】
[0013]圖1是本實用新型的一種吹風(fēng)裝置的第一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2是本實用新型的一種吹風(fēng)裝置的第二種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖3是本實用新型的一種吹風(fēng)裝置的第三種結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖中，1.進(jìn)氣管，2.出氣組件，3.進(jìn)氣管口。
【具體實施方式】
[0017]下面結(jié)合【具體實施方式】對本實用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0018]本實用新型提供的一種吹風(fēng)裝置的結(jié)構(gòu)如圖1-圖3所示，包括進(jìn)氣管1，進(jìn)氣管I與硅棒切割縫所在平面相互垂直，事例性的，進(jìn)氣管I的形狀可以為圓柱形、長方體或錐形。進(jìn)氣管I上設(shè)置有出氣組件2，如果出氣組件2不同位置的出氣量不同，則會造成部分硅棒切割縫粘連無法去除之間形成的水膜，因此必須保證正對硅棒切割縫的出氣組件2的任一位置出氣量大小一致并且共同形成一道線性氣簾。
[0019]事例性的，進(jìn)氣管I的形狀可以為圓柱形、長方體或錐形，其一端為進(jìn)氣管口 3，出氣組件2為沿進(jìn)氣管I的軸向正對硅棒切割縫開設(shè)的一條出氣管縫，由于靠近進(jìn)氣管口位置的風(fēng)速快，因此將出氣管縫的寬度從進(jìn)氣管口 3端到進(jìn)氣管I的末端線性加寬，以保證任一出氣管縫位置出氣量大小一致。
[0020]進(jìn)一步的，當(dāng)進(jìn)氣管I為圓柱形、長方形或錐形時，進(jìn)氣管I管體上可以等距離地設(shè)置有多個進(jìn)氣管口 3，出氣組件2仍然為進(jìn)氣管I管體正對硅棒切割縫的軸向上開設(shè)的一條出氣管縫，由于多個進(jìn)氣管口 3等距離設(shè)置，使得任一位置的風(fēng)速相同，因此出氣管縫任一位置的寬度相同即可保證該位置出氣管縫的出氣量大小一致。
[0021]事例性的，進(jìn)氣管I可以為圓柱形、長方體或錐形，其一端為進(jìn)氣管口 3，出氣組件2為沿進(jìn)氣管I的軸向正對硅棒切割縫等距離設(shè)置的多個出氣孔，由于靠近進(jìn)氣管口 3位置的風(fēng)速快，導(dǎo)致靠近進(jìn)氣管口 3的出氣孔出氣量大于遠(yuǎn)離進(jìn)氣管口的出氣孔的出氣量，因此出氣孔的孔徑從進(jìn)氣管口端到末端線性增大以保證任一出氣管縫位置出氣量大小一致。
[0022]進(jìn)一步的，進(jìn)氣管I為圓柱形、長方形或錐形時，進(jìn)氣管I管體上等距離設(shè)置有多個進(jìn)氣管口 3，出氣組件2為進(jìn)氣管I管體正對硅棒切割縫的軸向上設(shè)置的多個出氣孔，由于多個進(jìn)氣管口等距離設(shè)置，任一位置的風(fēng)速相同，因此每個孔徑相同的出氣孔出氣量保持一致。
[0023]出氣孔的孔徑為0.3mm-0.5mm。
[0024]出氣孔的開口角度為60° -70°。
[0025]綜上所述可以看出，本實用新型的一種吹風(fēng)裝置的進(jìn)氣管I形狀可以為圓柱形、長方形或錐形等任意形狀，其上所設(shè)置的進(jìn)氣管口 3可以在進(jìn)氣管I的一端設(shè)置、也可在進(jìn)氣管I上等距離設(shè)置，同時進(jìn)氣組件2可以是寬度相同或線性加寬的出氣管縫、也可以是多個孔徑相同或線性增大的出氣孔，只要保證出氣管I上的任一位置的出氣量大小一致即可。
[0026]使用時，本實用新型的一種吹風(fēng)裝置可以雙排堆成設(shè)置于噴淋槽兩端的噴管上或直接設(shè)置于機械臂的兩端，在結(jié)束噴淋后對硅棒切割縫進(jìn)行吹干操作；也可以單排設(shè)置于上述位置，在出氣量一致的基礎(chǔ)上，并且由于單排設(shè)置的吹風(fēng)裝置氣流方向單一，因此其吹干的效果反而優(yōu)于雙排設(shè)置的吹風(fēng)裝置。由于本實用新型的一種吹風(fēng)裝置將噴淋后樹脂板上硅棒切割縫之間的水封吹干，使切割縫形成空穴，當(dāng)硅棒進(jìn)入酸槽后，加快了乳酸進(jìn)入切割縫的速度，從而增加了乳酸與粘棒膠中固化劑的軟化時間，最終達(dá)到縮短脫膠時間、提高生產(chǎn)效率的目的，經(jīng)過實驗驗證，經(jīng)過本實用新型的一種吹風(fēng)裝置處理過硅棒切割縫間的水分后，硅棒的脫膠時間從原來的1600s縮短至900s，使得脫膠產(chǎn)能提升了 14.29%。
【主權(quán)項】
1.一種吹風(fēng)裝置，其特征在于，包括進(jìn)氣管(I)，所述進(jìn)氣管(I)與硅棒切割縫所在平面相互垂直，所述進(jìn)氣管(I)上設(shè)置有出氣組件(2)，所述出氣組件(2)的任一位置出氣量大小一致并且共同形成一道線性氣簾正對硅棒切割縫。2.如權(quán)利要求1所述的一種吹風(fēng)裝置，其特征在于，所述進(jìn)氣管(I)為圓柱形、長方體或錐形，其一端為進(jìn)氣管口(3)，出氣組件(2)為沿進(jìn)氣管(I)的軸向正對硅棒切割縫開設(shè)的一條出氣管縫，出氣管縫的寬度從進(jìn)氣管口端到末端線性加寬以保證任一出氣管縫位置出氣量大小一致。3.如權(quán)利要求1所述的一種吹風(fēng)裝置，其特征在于，所述進(jìn)氣管(I)為圓柱形、長方形或錐形，所述進(jìn)氣管(I)的管體上等距離設(shè)置有多個進(jìn)氣管口(3)，出氣組件(2)為進(jìn)氣管(I)管體正對硅棒切割縫的軸向上開設(shè)的一條出氣管縫，所述出氣管縫任一位置的寬度相同。4.如權(quán)利要求1所述的一種吹風(fēng)裝置，其特征在于，所述進(jìn)氣管(I)為圓柱形、長方體或錐形，其一端為進(jìn)氣管口(3)，出氣組件(2)為沿進(jìn)氣管(I)的軸向正對硅棒切割縫等距離設(shè)置的多個出氣孔，出氣孔的孔徑從進(jìn)氣管口端到末端線性增大以保證任一出氣管縫位置出氣量大小一致。5.如權(quán)利要求1所述的一種吹風(fēng)裝置，其特征在于，所述進(jìn)氣管(I)為圓柱形、長方形或錐形，所述進(jìn)氣管(I)的管體上等距離設(shè)置有多個進(jìn)氣管口(3)，出氣組件(2)為進(jìn)氣管(I)管體正對硅棒切割縫的軸向上設(shè)置的多個出氣孔，所述出氣孔的孔徑相同。6.如權(quán)利要求4或5所述的一種吹風(fēng)裝置，其特征在于，所述出氣孔的孔徑為0.3mm-0.5mm07.如權(quán)利要求6所述的一種吹風(fēng)裝置，其特征在于，所述出氣孔的開口角度為60。-70。。
【專利摘要】本實用新型公開的一種吹風(fēng)裝置，包括進(jìn)氣管，進(jìn)氣管與硅棒切割縫所在平面相互垂直，進(jìn)氣管上設(shè)置有出氣組件，出氣組件的任一位置出氣量大小一致并且共同形成一道線性氣簾正對硅棒切割縫。本實用新型的一種吹風(fēng)裝置解決了現(xiàn)有技術(shù)中噴淋后硅棒切割縫間由于存在水膜使得硅棒脫膠時間較長的缺點。本實用新型的一種吹風(fēng)裝置結(jié)構(gòu)簡單，在硅棒經(jīng)過噴淋后利用出氣組件形成正對硅棒切割縫并且出氣量一致的氣流，從而將硅棒切割縫間的水分吹干，去除硅棒切割縫間的水膜，以便在后續(xù)的酸化處理中加快乳酸進(jìn)入切割縫的速度，從而達(dá)到增加乳酸與粘棒膠中固化劑的反應(yīng)接觸時間，最終達(dá)到縮短硅棒脫膠時間、提高生產(chǎn)效率的目的。
【IPC分類】F26B21/00
【公開號】CN204648888
【申請?zhí)枴緾N201520133195
【發(fā)明人】張濤, 趙晨光, 田濤
【申請人】西安隆基硅材料股份有限公司
【公開日】2015年9月16日
【申請日】2015年3月9日