本發(fā)明屬于一種均溫板結(jié)構(gòu)及其制造方法，尤其涉及一種可大幅降低制造成本的均溫板結(jié)構(gòu)及其制造方法。

背景技術(shù)：

隨現(xiàn)行電子設(shè)備逐漸以輕薄作為標(biāo)榜的宣傳，所以各項元件皆須隨的縮小尺寸，但電子設(shè)備的尺寸縮小伴隨而來產(chǎn)生的熱，變成電子設(shè)備與系統(tǒng)改善性能的主要障礙。無論形成電子元件的半導(dǎo)體尺寸不斷地縮小，仍持續(xù)地要求增加性能。當(dāng)半導(dǎo)體尺寸縮小，結(jié)果熱通量增加，熱通量增加所造成將產(chǎn)品冷卻的挑戰(zhàn)超過僅僅是全部熱的增加，因為熱通量的增加造成在不同時間和不同長度尺寸會過熱，可能導(dǎo)致電子故障或損毀。所以本領(lǐng)域技術(shù)人員為解決上述現(xiàn)有技術(shù)因散熱空間狹小的問題，以一種vc(vaporchamber)heatsink置于chip上方作為散熱器使用，為了增加毛細(xì)極限，利用銅柱coating燒結(jié)、燒結(jié)柱、發(fā)泡柱等毛細(xì)結(jié)構(gòu)用來支撐作為回流道，但由于微均溫板上下壁厚較薄(1.5mm以下應(yīng)用)，利用上述此毛細(xì)結(jié)構(gòu)作為支撐的習(xí)知結(jié)構(gòu)于應(yīng)用在微均溫板上，會造成該微均溫板在有銅柱、燒結(jié)柱或發(fā)泡柱的地方才有支撐，而其余未設(shè)有的處即形成塌限或凹陷，造成該微均溫板結(jié)構(gòu)的整體平面度與強(qiáng)度無法維持，因此無法實現(xiàn)薄型化。上述均溫板中的工作流體當(dāng)由蒸發(fā)區(qū)域受熱域產(chǎn)生蒸發(fā)，工作流體由液態(tài)轉(zhuǎn)換為汽態(tài)，汽態(tài)的工作流體至均溫板的冷凝區(qū)域后由汽態(tài)冷凝轉(zhuǎn)化成為液態(tài)，再回流到蒸發(fā)區(qū)域繼續(xù)循環(huán)，均溫板的冷凝區(qū)域通常為光滑面，又或者為具有燒結(jié)的毛細(xì)結(jié)構(gòu)態(tài)樣，汽態(tài)的工作流體在該冷凝區(qū)域冷凝成液態(tài)小水珠狀后，因重力或毛細(xì)結(jié)構(gòu)的關(guān)系使得可回流至蒸發(fā)區(qū)域，但前述習(xí)知冷凝區(qū)域的結(jié)構(gòu)由于系呈光滑面，致使冷凝后的液態(tài)水珠需儲至一定容積方才依重力垂滴，造成其回流效率實顯不足，且因液態(tài)工作流體回流速率過慢，使得蒸發(fā)區(qū)域中無工作流體而產(chǎn)生干燒的狀態(tài)，令熱傳導(dǎo)效率大幅降低；若為加強(qiáng)工作流體的回流效率則增設(shè)毛細(xì)結(jié)構(gòu)則為習(xí)知不可或缺的結(jié)構(gòu)，但此一毛細(xì)結(jié)構(gòu)(如燒結(jié)體或網(wǎng)格)的設(shè)置則令均溫板無法實現(xiàn)薄型化的功效。

薄型化熱板主要是通過蝕刻的方式于該板體開設(shè)溝槽做毛細(xì)結(jié)構(gòu)或于板體上形成支撐結(jié)構(gòu)，但由于蝕刻的缺點為精度不佳，以及加工時耗費時間，令薄型化熱板或均溫板制造成本無法降低。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明為解決上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，提供一種可降低制造成本的均溫板結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明的另一目地是提供一種可大幅降低均溫板制造成本的均溫板制造方法。

為達(dá)上述目的本發(fā)明提供一種均溫板結(jié)構(gòu)，包括：一本體，具有一冷凝區(qū)及一蒸發(fā)區(qū)及一腔室，所述冷凝區(qū)及該蒸發(fā)區(qū)分設(shè)于該腔室的兩側(cè)；一凸部，系選擇由該蒸發(fā)區(qū)或冷凝區(qū)其中任一凸起所構(gòu)形；一毛細(xì)結(jié)構(gòu)，設(shè)于前述腔室表面；一工作流體，填充于前述腔室內(nèi)。

所述凸部具有多個凸體，所述凸體由該蒸發(fā)區(qū)向相反該蒸發(fā)區(qū)的方向延伸所構(gòu)成，該本體相鄰所述凸體的周邊處對應(yīng)呈凹狀。

所述凸部具有多個凸體，所述凸體是由該冷凝區(qū)向相反該冷凝區(qū)的方向延伸所構(gòu)成，該本體相鄰所述凸體的周邊處對應(yīng)呈凹狀。

所述本體具有一第一板體及一第二板體所述第一、二板體對應(yīng)蓋合并共同界定前述腔室，所述冷凝區(qū)設(shè)于該第一板體一側(cè)，該蒸發(fā)區(qū)設(shè)于該第二板體一側(cè)。

所述本體為一扁狀管體。

所述凸體具有一自由端，該自由端與該冷凝區(qū)相連接，即所述凸體與該冷凝區(qū)間具有前述毛細(xì)結(jié)構(gòu)。

所述凸部具有多個凸體，所述凸體是由該蒸發(fā)區(qū)向相反該蒸發(fā)區(qū)的方向延伸所構(gòu)成，該本體相反所述凸體的另一側(cè)處對應(yīng)呈凹狀。

所述凸部具有多個凸體，所述凸體是由該冷凝區(qū)向相反該冷凝區(qū)的方向延伸所構(gòu)成，該本體相反所述凸體的另一側(cè)處對應(yīng)呈凹狀。

為達(dá)上述目的本發(fā)明提供一種均溫板結(jié)構(gòu)制造方法，系包含下列步驟：提供一第一板體及一第二板體；通過機(jī)械加工的方式選擇于前述第一、二板體其中任一成型至少一凸體；將第一、二板體對應(yīng)蓋合，將其四周圍封閉并進(jìn)行抽真空與填入工作流體的作業(yè)。

一種均溫板結(jié)構(gòu)制造方法，包含下列步驟：提供一第一板體及一第二板體；通過機(jī)械加工的方式選擇于前述第一、二板體其中任一成型至少一凸體；將第一、二板體對應(yīng)蓋合，將其四周圍封閉并進(jìn)行抽真空與填入工作流體的作業(yè)。

所述機(jī)械加工選擇為沖壓加工或壓花加工或鍛造加工或滾輾加工或刻印加工或鑄造加工其中任一。

所述通過機(jī)械加工的方式選擇于前述第一、二板體其中任一成型至少一凸體此一步驟后更具有一步驟，于該第一、二板體相對應(yīng)的一側(cè)成型毛細(xì)結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明提供一種均溫板結(jié)構(gòu)制造方法，包含下列步驟：提供一扁平管體；通過機(jī)械加工的方式于前述管體內(nèi)部一側(cè)成型至少一凸體；將該管體兩端封閉并進(jìn)行抽真空與填入工作流體的作業(yè)。

所述通過機(jī)械加工的方式于前述管體內(nèi)部一側(cè)成型至少一凸體此一步驟后更具有一步驟于該管體內(nèi)部成型一毛細(xì)結(jié)構(gòu)。

所述機(jī)械加工是選擇為沖壓加工或壓花加工或鍛造加工或滾輾加工或刻印加工或鑄造加工其中任一。

通過本發(fā)明可大幅降低均溫板的制造成本，并進(jìn)一步可提升制造精度者。

附圖說明

圖1為本發(fā)明均溫板結(jié)構(gòu)第一實施例的立體分解圖；

圖2為本發(fā)明均溫板結(jié)構(gòu)第一實施例的立體組合圖；

圖3為本發(fā)明均溫板結(jié)構(gòu)第一實施例的剖視圖；

圖4為本發(fā)明均溫板結(jié)構(gòu)第二實施例的剖視圖；

圖5為本發(fā)明均溫板結(jié)構(gòu)第三實施例的剖視圖；

圖6為本發(fā)明均溫板結(jié)構(gòu)第四實施例的剖視圖；

圖7為本發(fā)明均溫板結(jié)構(gòu)制造方法第一實施例的步驟流程圖；

圖8為本發(fā)明均溫板結(jié)構(gòu)制造方法第二實施例的步驟流程圖；

圖9為本發(fā)明均溫板結(jié)構(gòu)制造方法第三實施例的步驟流程圖；

圖10為本發(fā)明均溫板結(jié)構(gòu)制造方法第四實施例的步驟流程圖。

主要符號說明：

本體11

第一板體11a

第二板體11b

凸部111

凸體1111

自由端1111a

毛細(xì)結(jié)構(gòu)2

工作流體3

冷凝區(qū)112

蒸發(fā)區(qū)113

腔室114。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述：

本發(fā)明的上述目的及其結(jié)構(gòu)與功能上的特性，將依據(jù)所附圖式的較佳實施例予以說明。

請參閱圖1、2、3，為本發(fā)明均溫板結(jié)構(gòu)第一實施例的立體分解及組合與剖視圖，如圖所示，所述均溫板結(jié)構(gòu)，系包含：一本體11、一凸部111、一毛細(xì)結(jié)構(gòu)2、一工作流體3；

所述本體11具有一冷凝區(qū)112及一蒸發(fā)區(qū)113及一腔室114，并所述本體11更具有一第一板體11a及一第二板體11b所述第一、二板體11a、11b對應(yīng)蓋合并共同界定前述腔室114，所述冷凝區(qū)112設(shè)于該第一板體11a一側(cè)，該蒸發(fā)區(qū)113設(shè)于該第二板體11b一側(cè)，即所述冷凝區(qū)112及該蒸發(fā)區(qū)113分設(shè)于該腔室114的兩側(cè)并相互對應(yīng)。

所述凸部111系選擇由該蒸發(fā)區(qū)113或冷凝區(qū)112其中任一或二者(蒸發(fā)區(qū)113、冷凝區(qū)112)都凸起所構(gòu)形，本實施例的所述凸部111具有多個凸體1111，所述凸體1111系由該蒸發(fā)區(qū)113向相反該蒸發(fā)區(qū)113的方向延伸所構(gòu)成，并該凸體1111具有一自由端1111a，該自由端1111a與前述冷凝區(qū)112連接，該本體11相鄰所述凸體1111的周邊處系對應(yīng)呈凹狀，本實施例的所述凸體1111系通過壓浮花法所成型，故所述凸體1111的另一側(cè)系呈平坦?fàn)睢?/p>

所述毛細(xì)結(jié)構(gòu)2設(shè)于前述腔室114表面，即所述凸體1111與該冷凝區(qū)112間具有前述毛細(xì)結(jié)構(gòu)2，該工作流體3填充于前述腔室114內(nèi)。

請參閱圖4，系為本發(fā)明均溫板結(jié)構(gòu)第二實施例的剖視圖，如圖所示，本實施例與前述第一實施例部分結(jié)構(gòu)技術(shù)特征相同，故在此將不再贅述，惟本實例與前述第一實施例的不同處系為所述蒸發(fā)區(qū)113的多個凸體1111相對的另一側(cè)是呈凹狀。

請參閱圖5，為本發(fā)明均溫板結(jié)構(gòu)第三實施例的剖視圖，如圖所示，本實施例系與前述第一實施例部分結(jié)構(gòu)技術(shù)特征相同，故在此將不再贅述，惟本實例與前述第一實施例的不同處是為所述凸部111具有多個凸體1111，所述凸體1111是由該冷凝區(qū)112向相反該冷凝區(qū)112的方向延伸所構(gòu)成，該本體11相鄰所述凸體1111的周邊處對應(yīng)呈凹狀。

請參閱圖6，為本發(fā)明均溫板結(jié)構(gòu)第四實施例的剖視圖，如圖所示，本實施例是與前述第一、二、三實施例部分結(jié)構(gòu)技術(shù)特征相同，故在此將不再贅述，惟本實例與前述第一、二、三實施例的不同處為所述本體11系為一扁狀管體。

請參閱圖7，為本發(fā)明均溫板結(jié)構(gòu)制造方法第一實施例的步驟流程圖，并一并參閱前述圖1～6，如圖所示，所述均溫板結(jié)構(gòu)制造方法，包含下列步驟：

s1：提供一第一板體及一第二板體；

提供一第一板體11a及一第二板體11b，所述第一、二板體11a、11b是為導(dǎo)熱性質(zhì)較佳的材料，如銅或鋁材質(zhì)。

s2：通過機(jī)械加工的方式選擇于前述第一、二板體其中任一成型至少一凸體；

通過以機(jī)械加工的方式選擇于前述第一、二板體11a、11b其中任一上成型至少一凸體1111，所述機(jī)械加工可選擇為沖壓加工或壓花加工或鍛造加工其中任一，所述沖壓加工亦可選擇以壓浮花法或壓模法或打凸法其中任一方式形成該凸體。

s3：將第一、二板體對應(yīng)蓋合，將其四周圍封閉并進(jìn)行抽真空與填入工作流體的作業(yè)。

將通過機(jī)械加工成型凸體1111后將第一、二板體11a、11b對應(yīng)蓋合，并將該第一、二板體11a、11b以焊接或擴(kuò)散接合的方式進(jìn)行封閉，并進(jìn)行抽真空以及填入工作流體3等作業(yè)。請參閱圖8，為本發(fā)明均溫板結(jié)構(gòu)制造方法第二實施例的步驟流程圖，并一并參閱圖1～6，如圖所示，所述均溫板結(jié)構(gòu)制造方法，包含下列步驟：

s1：提供一第一板體及一第二板體；

s2：通過機(jī)械加工的方式選擇于前述第一、二板體其中任一成型至少一凸體；

s3：將第一、二板體對應(yīng)蓋合，將其四周圍封閉并進(jìn)行抽真空與填入工作流體的作業(yè)。

本實施例部分步驟與前述第一實施例相同，故在此將不再贅述，惟本實施例與前述第一實施例的不同處系為所述步驟s2：通過機(jī)械加工的方式選擇于前述第一、二板體其中任一成型至少一凸體此一步驟后更具有一步驟s4：。

所述毛細(xì)結(jié)構(gòu)2可選用燒結(jié)粉末結(jié)構(gòu)或置入網(wǎng)格體或開設(shè)溝槽的方式于該第一、二板體11a、11b另外設(shè)置毛細(xì)結(jié)構(gòu)2。

請參閱圖9，為本發(fā)明均溫板結(jié)構(gòu)制造方法第三實施例的步驟流程圖，并一并參閱圖1～6，如圖所示，所述均溫板結(jié)構(gòu)制造方法，包含下列步驟：

a1：提供一扁平管體；

提供至少一端為開放狀的扁平狀管體。

a2：通過機(jī)械加工的方式于前述管體內(nèi)部一側(cè)成型至少一凸體；

通過以機(jī)械加工的方式選擇于前述管體內(nèi)部一側(cè)成型至少一凸體1111，所述機(jī)械加工是可選擇為沖壓加工或壓花加工或鍛造加工其中任一，所述沖壓加工也可選擇以壓浮花法或壓模法或打凸法其中任一方式形成該凸體1111。

a3：將該管體兩端封閉并進(jìn)行抽真空與填入工作流體的作業(yè)。

將通過機(jī)械加工成型凸體后該扁平管體呈開放狀的一端以焊接或擴(kuò)散接合的方式進(jìn)行封閉，并進(jìn)行抽真空以及填入工作流體等作業(yè)。

請參閱圖10，為本發(fā)明均溫板結(jié)構(gòu)制造方法第四實施例的步驟流程圖，并一并參閱圖1～6，如圖所示，所述均溫板結(jié)構(gòu)制造方法，包含下列步驟：

a1：提供一扁平管體；

a2：通過機(jī)械加工的方式于前述管體內(nèi)部一側(cè)成型至少一凸體；

a3：將該管體兩端封閉并進(jìn)行抽真空與填入工作流體的作業(yè)。

本實施例部分步驟系與前述第三實施例相同，故在此將不再贅述，惟本實施例與前述第一實施例的不同處系為步驟a2：通過機(jī)械加工的方式于前述管體內(nèi)部一側(cè)成型至少一凸體此一步驟后更具有一步驟a4：于該管體內(nèi)部成型一毛細(xì)結(jié)構(gòu)2，所述毛細(xì)結(jié)構(gòu)2可選用燒結(jié)粉末結(jié)構(gòu)或置入網(wǎng)格體或開設(shè)溝槽的方式于該管體內(nèi)部另外設(shè)置毛細(xì)結(jié)構(gòu)2。

以上實施例中所述的機(jī)械加工均可選擇為沖壓加工或壓花加工或鍛造加工或滾輾加工或刻印加工或鑄造加工其中任一。

通過本發(fā)明的均溫板結(jié)構(gòu)及其制造方法可進(jìn)一步提供一種可節(jié)省制造工時以及提升制造精度的均溫板結(jié)構(gòu)以及制造方法。