本實用新型涉及半導體制造技術領域，特別是涉及一種用于半導體制造車間火災煙塵擴散抑制的氣流系統(tǒng)。

背景技術：

在各種災害中，火災是最經常、最普遍地威脅公眾安全和社會發(fā)展的主要災害之一。在FAB(半導體制造車間)中，火災是位于工廠災難列表的頂部，即便及時控制和撲滅火災，煙塵顆粒也會嚴重損害工廠的設備，造成“煙損”，從“煙損”中恢復設備或工具的成本非常高。

目前，半導體制造車間被劃分為多個區(qū)域，且通過設置防火門將火災區(qū)域與其他安全區(qū)域隔離，但是火災中產生的煙塵顆粒會污染其它區(qū)域的機臺，即使明火被撲滅后，火災區(qū)域仍然或有很濃的煙霧和污染顆粒籠罩于設備周圍，嚴重影響設備的正常運行。現有技術中，半導體制造車間的頂部有設置用于除去污染氣體和塵埃的通風管，但是該通風管只能提供輕微的風力，不能控制通風管工作的數量和風力的大小，不能針對火災煙霧的監(jiān)測和去除。

如果將FAB(半導體制造車間)劃分更多更細的空間，可以減少受火災影響的面積，但是，這樣做在實際中很難實現，增加多個防火門會額外增加成本，且會給設備和工具的設置(包括安裝、拆卸和移動等)以及工人的操作帶來很多麻煩。

技術實現要素：

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種用于半導體制造車間火災煙塵擴散抑制的氣流系統(tǒng)，用于解決現有技術中FAB火災濃煙難以及時去除而嚴重影響設備的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供一種用于半導體制造車間火災煙塵擴散抑制的氣流系統(tǒng)，包括：通風管組，包括若干陣列排布的通風管，所述通風管安裝于所述半導體制造車間的天花板處；通風管組控制器，與所述通風管組連接，適于控制所述通風管組中通風管工作的數量、分組及風力。

于本實用新型的一實施方式中，所述半導體制造車間包括：主車間，包括若干虛擬空間，所述虛擬空間的大小依據所述通風管組控制器控制的通風管工作狀態(tài)和非工作狀態(tài)的數量劃分；輔道生產間，位于所述主車間正下方，可以耐受污染氣體及污染顆粒；底板，位于所述主車間和所述輔道生產間之間，適于隔離所述主車間和所述輔道生產間，所述底板上設有若干孔洞。

于本實用新型的一實施方式中，所述虛擬空間包括高壓虛擬空間和低壓虛擬空間，所述低壓虛擬空間對應于所述半導體制造車間的起火區(qū)域，所述高壓虛擬空間對應于所述半導體制造車間的非起火區(qū)域。

于本實用新型的一實施方式中，所述高壓虛擬空間的大小對應于工作狀態(tài)中所述通風管的數量，所述低壓虛擬空間的大小對應于非工作狀態(tài)中所述通風管的數量。

于本實用新型的一實施方式中，所述通風管組控制器控制所述通風管工作時的風力大于所述通風管非工作時的風力。

于本實用新型的一實施方式中，所述通風管組控制器還包括溫度傳感器、煙霧傳感器和火焰?zhèn)鞲衅鳌?/p>

于本實用新型的一實施方式中，所述通風管與所述天花板之間的夾角為90°。

如上所述，本實用新型的用于半導體制造車間火災煙塵擴散抑制的氣流系統(tǒng)，具有以下有益效果：

1、本實用新型的氣流系統(tǒng)通過高壓氣流和低壓氣流的作用來隔離火災區(qū)域和安全區(qū)域，不設置任何物理的障礙物在車間內，節(jié)約空間，部署容易，操作方便，省去安裝防火門和移動車間設備的麻煩；

2、本實用新型的氣流系統(tǒng)是將原有的通風管道進行改造，節(jié)約成本，且不影響正常(非火災)狀態(tài)下通風管道原有的功能；

3、本實用新型的氣流系統(tǒng)可用于控制污染氣體的擴散、懸浮顆?；驌]發(fā)性有機化合物的泄漏等情況。

附圖說明

圖1為本實用新型用于半導體制造車間火災煙塵擴散抑制的氣流系統(tǒng)在正常狀態(tài)下的結構示意圖。

圖2為本實用新型用于半導體制造車間火災煙塵擴散抑制的氣流系統(tǒng)在火災狀態(tài)下的結構示意圖。

元件標號說明

1 通風管組

11 通風管

2 通風管組控制器

3 半導體制造車間

31 主車間

311 虛擬空間

3111 高壓虛擬空間

3112 低壓虛擬空間

32 輔道生產間

33 底板

331 孔洞

4 設備

具體實施方式

以下由特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式，熟悉此技術的人士可由本說明書所揭露的內容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點及功效。

請參閱圖1至圖2。須知，本說明書所附圖式所繪示的結構、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內容，以供熟悉此技術的人士了解與閱讀，并非用以限定本實用新型可實施的限定條件，故不具技術上的實質意義，任何結構的修飾、比例關系的改變或大小的調整，在不影響本實用新型所能產生的功效及所能達成的目的下，均應仍落在本實用新型所揭示的技術內容得能涵蓋的范圍內。同時，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實用新型可實施的范圍，其相對關系的改變或調整，在無實質變更技術內容下，當亦視為本實用新型可實施的范疇。

請參閱圖1，為本實用新型用于半導體制造車間火災煙塵擴散抑制的氣流系統(tǒng)在正常狀態(tài)下的結構示意圖，所述氣流系統(tǒng)包括：通風管組1，包括若干陣列排布的通風管11，所述通風管11安裝于所述半導體制造車間3的天花板(未示出)處；通風管組控制器2，與所述通風管組1連接，適于控制所述通風管組1中通風管11工作的數量、分組及風力。

所述通風管11是半導體制造車間3中原有的通風管，原通風管雖然能提供輕微的風力用于吹落車間的污染氣體和塵埃，但是不能針對火災引起的濃煙霧的監(jiān)測和去除。

通過設計所述通風管組控制器2用于控制所述通風管組1中通風管11工作的數量及風力。工作的所述通風管11數量越大，也即煙霧受風吹的面積也越大，所述通風管11的風力越強，則煙霧的流動速度越快。

作為示例，所述半導體制造車間3包括：主車間31，包括若干虛擬空間311，所述虛擬空間311的大小依據所述通風管組控制器2控制的通風管11工作狀態(tài)和非工作狀態(tài)的數量劃分；輔道生產間32，位于所述主車間31正下方，適于容忍污染氣體及污染顆粒；底板33，位于所述主車間31和所述輔道生產間32之間，適于隔離所述主車間31和所述輔道生產間32，所述底板33上設有若干孔洞331。

所述主車間31為主要的操作空間，潔凈度要求很高，主車間31內安裝有多臺用于半導體制造的設備4，由于底板33位于所述主車間31和所述輔道生產間32之間，用于隔離所述主車間31和所述輔道生產間32，且所述底板33上設有若干孔洞331，則所述主車間31和所述輔道生產間32是連通的，所述主車間31的濃煙和污染顆?？赏ㄟ^通風管11的氣流吹進所述輔道生產間32內，保證了所述主車間31內環(huán)境的潔凈度，使得所述半導體制造車間3中的設備4能夠正常運行。

請參閱圖2，為本實用新型用于半導體制造車間火災煙塵擴散抑制的氣流系統(tǒng)在火災狀態(tài)下的結構示意圖。作為示例，所述虛擬空間311包括高壓虛擬空間3111和低壓虛擬空間3112，所述低壓虛擬空間3112對應于所述半導體制造車間3的起火區(qū)域，所述高壓虛擬空間3111對應于所述半導體制造車間3的非起火區(qū)域。作為示例，所述高壓虛擬空間3111的大小對應于工作狀態(tài)中所述通風管11的數量，所述低壓虛擬空間3112的大小對應于非工作狀態(tài)中所述通風管11的數量。

火災為從火災報警器報警開始，至火災終止后，QE(質量工程師)檢測現場，認為空氣中的顆粒物含量已經達到某個可容忍的標準為止。由于煙塵顆粒是從火災發(fā)生的一刻起，就不停地產生并擴撒，污染其它區(qū)域的機臺，即使明火已滅，剩下的濃煙也會籠罩在所述主車間31而污染機臺。

我們將火災濃煙區(qū)定義為所述低壓虛擬空間3111，將安全區(qū)域定義為所述高壓虛擬空間3112，這里的所述高壓虛擬空間3111和所述低壓虛擬空間3112并非通過物理的隔離，而是通過工作的所述通風管11和非工作的所述通風管11來劃分的，工作的所述通風管11排出高壓氣流，非工作的所述通風管11排出低壓氣流。

火災區(qū)域的濃煙和污染顆粒會隨著高壓氣流到低壓氣流的路線流動，這樣就不會流到其它安全區(qū)域了，而是通過氣流運輸到了所述輔道生產間32，且污染顆粒物也將通過所述底板33的孔洞331落入所述輔道生產間32內。

作為示例，所述通風管組控制器2控制所述通風管11工作時的風力大于所述通風管11非工作時的風力。也即保證工作的所述通風管11排出高壓氣流，非工作的所述通風管11排出低壓氣流，當然，根據所述通風管組控制器2的設置，所述通風管11非工作時也可以不排出氣流。

根據火災區(qū)面積的大小，所述通風管組控制器2控制所述通風管11工作的數量和非工作的數量，也即劃分所述高壓虛擬空間3111和所述低壓虛擬空間3112的大小。

作為示例，所述通風管組控制器2還包括溫度傳感器、煙霧傳感器和火焰?zhèn)鞲衅?。所述溫度傳感器、所述煙霧傳感器和所述火焰?zhèn)鞲衅鬟m于檢測火災的發(fā)生，以便啟動所述通風管組控制器2來控制通風管11的開啟。

作為示例，所述通風管11與所述天花板之間的夾角為90°。所述通風管11與所述天花板之間的安裝夾角優(yōu)選設為90°，是為了保證所述通風管11垂直向下吹風，提高排除濃煙的效率。

綜上所述，本實用新型的氣流系統(tǒng)通過高壓氣流和低壓氣流的作用來隔離火災區(qū)域和安全區(qū)域，抑制煙塵的擴散；不設置任何物理的障礙物在車間內，節(jié)約空間，部署容易，操作方便，省去安裝防火門和移動車間設備的麻煩；該氣流系統(tǒng)是將原有的通風管道進行改造，節(jié)約成本，且不影響正常(非火災)狀態(tài)下通風管道原有的功能；該氣流系統(tǒng)還可用于控制污染氣體、懸浮顆?；驌]發(fā)性有機化合物的泄漏等情況。

上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用于限制本實用新型。任何熟悉此技術的人士皆可在不違背本實用新型的精神及范疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術領域中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應由本實用新型的權利要求所涵蓋。