技術(shù)編號：11911582
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種用于半導(dǎo)體制造車間火災(zāi)煙塵擴(kuò)散抑制的氣流系統(tǒng)。背景技術(shù)在各種災(zāi)害中，火災(zāi)是最經(jīng)常、最普遍地威脅公眾安全和社會發(fā)展的主要災(zāi)害之一。在FAB(半導(dǎo)體制造車間)中，火災(zāi)是位于工廠災(zāi)難列表的頂部，即便及時(shí)控制和撲滅火災(zāi)，煙塵顆粒也會嚴(yán)重?fù)p害工廠的設(shè)備，造成“煙損”，從“煙損”中恢復(fù)設(shè)備或工具的成本非常高。目前，半導(dǎo)體制造車間被劃分為多個(gè)區(qū)域，且通過設(shè)置防火門將火災(zāi)區(qū)域與其他安全區(qū)域隔離，但是火災(zāi)中產(chǎn)生的煙塵顆粒會污染其它區(qū)域的機(jī)臺，即使明火被撲滅后，火災(zāi)區(qū)...
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