單晶爐及其熱場裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種單晶爐及其熱場裝置，該熱場裝置包括：加熱器；石墨電極，加熱器與石墨電極連接；石墨墊片，石墨墊片安裝在加熱器和石墨電極之間。本實用新型在加熱器與石墨電極之間安裝上石墨墊片，這樣，當加熱器停止工作時，石墨墊片將會代替加熱器承受驟冷驟熱，即裂紋將會出現(xiàn)在石墨墊片上，從而有效地防止了加熱器產(chǎn)生裂紋以致?lián)p壞。
【專利說明】單晶爐及其熱場裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及硅料加工領(lǐng)域，更具體地，涉及一種單晶爐及其熱場裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，熱場裝置中的加熱器與石墨電極連接，石墨電極又與銅電極連接，且銅電極的內(nèi)部設(shè)置有循環(huán)冷卻水。當加熱器停止工作后，由于整個熱場內(nèi)部的溫度較高，而加熱器的加熱部的與石墨電極連接的部分由于受到銅電極內(nèi)部循環(huán)冷卻水的作用溫度較低，于是，該部分將會在驟冷驟熱的作用下產(chǎn)生裂紋，嚴重時裂紋會延伸到加熱部的上表面，最后導致加熱器無法使用。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型旨在提供一種單晶爐及其加熱裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)的熱場裝置中的加熱器容易在驟冷驟熱的作用下發(fā)生損壞的問題。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，根據(jù)本實用新型的一個方面，提供了一種熱場裝置，，包括:加熱器；石墨電極，加熱器與石墨電極連接；石墨塾片，石墨塾片安裝在加熱器和石墨電極之間。
[0005]進一步地，熱場裝置還包括支腳部，支腳部的一端與加熱器相連，支腳部的另一端可拆卸地安裝在石墨電極上。
[0006]進一步地，支腳部為L形。
[0007]進一步地，加熱器與支腳部為一體結(jié)構(gòu)，且石墨墊片安裝在支腳部和石墨電極之間。
[0008]進一步地，加熱器與支腳部為分體結(jié)構(gòu)，且石墨墊片安裝在支腳部和加熱器之間。
[0009]進一步地，支腳部通過螺栓固定在石墨電極上。
[0010]進一步地，熱場裝置還包括:石墨碳紙，石墨碳紙安裝在石墨墊片和加熱器之間。
[0011]進一步地，石墨墊片和石墨電極之間也安裝有石墨碳紙。
[0012]進一步地，熱場裝置包括多個石墨墊片。
[0013]本實用新型的另一個方面，提供了一種單晶爐，包括:上述的熱場裝置。
[0014]本實用新型在加熱器與石墨電極之間安裝上石墨墊片，這樣，當加熱器停止工作時，石墨墊片將會代替加熱器承受驟冷驟熱，即裂紋將會出現(xiàn)在石墨墊片上，從而有效地防止了加熱器產(chǎn)生裂紋以致?lián)p壞。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]構(gòu)成本申請的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構(gòu)成對本實用新型的不當限定。在附圖中:
[0016]圖1示意性示出了本實用新型中的熱場裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；以及[0017]圖2示意性示出了圖1中的A部放大圖。
[0018]圖中附圖標記:10、加熱器；12、支腳部；20、石墨電極；30、石墨墊片；40、石墨碳紙；50、螺栓。
【具體實施方式】
[0019]以下結(jié)合附圖對本實用新型的實施例進行詳細說明，但是本實用新型可以由權(quán)利要求限定和覆蓋的多種不同方式實施。
[0020]本實用新型的提供了一種熱場裝置，請參照圖1和圖2，該熱場裝置包括:加熱器10 ;石墨電極20,加熱器10與石墨電極20連接；石墨塾片30,石墨塾片30安裝在加熱器10和石墨電極20之間。
[0021]結(jié)合圖1和圖2，本實用新型在加熱器10與石墨電極20之間安裝上石墨墊片30，這樣，當加熱器10停止工作時，石墨墊片30將會代替加熱器10承受驟冷驟熱，即裂紋將會出現(xiàn)在石墨墊片30上，從而有效地防止了加熱器10產(chǎn)生裂紋以致?lián)p壞。
[0022]優(yōu)選地，熱場裝置還包括支腳部12，支腳部12的一端與加熱器10相連，支腳部12的另一端可拆卸地安裝在石墨電極20上。在加熱器10設(shè)置上支腳部12，有利于加熱器10與石墨電極20的連接。優(yōu)選地，支腳部12為L形。
[0023]優(yōu)選地，加熱器10與支腳部12為一體結(jié)構(gòu)，且石墨墊片30安裝在支腳部12和石墨電極20之間。當加熱器10與支腳部12為一體結(jié)構(gòu)時，驟冷驟熱主要發(fā)生在支腳部12上，即支腳部12上容易產(chǎn)生裂紋，故此時將石墨墊片30安裝在支腳部12與石墨電極之間。
[0024]優(yōu)選地，加熱器10與支腳部12為分體結(jié)構(gòu)，且石墨墊片30安裝在支腳部12和加熱器10之間。當加熱器10與支腳部12為分體結(jié)構(gòu)時，驟冷驟熱主要發(fā)生在加熱器10的與支腳部12的連接處，即加熱器10的與支腳部12的連接處容易產(chǎn)生裂紋，故此時將石墨墊片30安裝在加熱器10與支腳部12的連接處。
[0025]優(yōu)選地，支腳部12通過螺栓50固定在石墨電極20上。
[0026]優(yōu)選地，熱場裝置還包括:石墨碳紙40，石墨碳紙40安裝在石墨墊片30和加熱器10之間。這樣，可以避免石墨墊片30與加熱器10粘連在一起。
[0027]優(yōu)選地，石墨墊片30和石墨電極20之間也安裝有石墨碳紙40。這樣，同樣可以避免石墨墊片30與加熱器10粘連在一起。
[0028]優(yōu)選地，熱場裝置包括多個石墨墊片30。優(yōu)選地，熱場裝置包括兩個石墨墊片。這樣，可以加強對加熱器10的保護效果。
[0029]本實用新型的另一個方面，提供了一種單晶爐，包括:上述的熱場裝置。
[0030]以上所述僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本實用新型，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本實用新型可以有各種更改和變化。凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種熱場裝置，其特征在于，包括: 加熱器(10)； 石墨電極(20)，所述加熱器(10)與所述石墨電極(20)連接； 石墨墊片(30)，所述石墨墊片(30)安裝在所述加熱器(10)和所述石墨電極(20)之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱場裝置，其特征在于，所述熱場裝置還包括支腳部(12)，所述支腳部(12)的一端與所述加熱器(10)相連，所述支腳部(12)的另一端可拆卸地安裝在所述石墨電極(20)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的熱場裝置，其特征在于，所述支腳部(12)為L形。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的熱場裝置，其特征在于，所述加熱器(10)與所述支腳部(12)為一體結(jié)構(gòu)，且所述石墨墊片(30 )安裝在所述支腳部(12)和所述石墨電極(20 )之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的熱場裝置，其特征在于，所述加熱器(10)與所述支腳部(12)為分體結(jié)構(gòu)，且所述石墨墊片(30 )安裝在所述支腳部(12)和所述加熱器(10 )之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的熱場裝置，其特征在于，所述支腳部(12)通過螺栓(50)固定在所述石墨電極(20)上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱場裝置，其特征在于，所述熱場裝置還包括: 石墨碳紙(40 )，所述石墨碳紙(40 )安裝在所述石墨墊片(30 )和所述加熱器(10 )之間。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的熱場裝置，其特征在于，所述石墨墊片(30)和所述石墨電極(20)之間也安裝有所述石墨碳紙(40)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱場裝置，其特征在于，所述熱場裝置包括多個所述石墨墊片(30)。
10.一種單晶爐，其特征在于，包括:權(quán)利要求1至9中的任一項所述的熱場裝置。
【文檔編號】F27B17/00GK203530509SQ201320665150
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年10月25日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月25日
【發(fā)明者】王保強, 楊樂, 賈瓊 申請人:英利能源（中國）有限公司