技術編號：4640546
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型提供了一種單晶爐及其熱場裝置，該熱場裝置包括加熱器；石墨電極，加熱器與石墨電極連接；石墨墊片，石墨墊片安裝在加熱器和石墨電極之間。本實用新型在加熱器與石墨電極之間安裝上石墨墊片，這樣，當加熱器停止工作時，石墨墊片將會代替加熱器承受驟冷驟熱，即裂紋將會出現(xiàn)在石墨墊片上，從而有效地防止了加熱器產(chǎn)生裂紋以致?lián)p壞。專利說明單晶爐及其熱場裝置[0001]本實用新型涉及硅料加工領域，更具體地，涉及一種單晶爐及其熱場裝置。背景技術[0002]目前，熱場裝置中的...
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