真空干燥腔室排氣系統(tǒng)及方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種真空干燥腔室排氣系統(tǒng)及方法，其中，真空干燥腔室排氣系統(tǒng)包括：多個排氣口，設(shè)置在真空干燥腔室外；排氣泵，通過排氣管連接該多個排氣口。本發(fā)明真空干燥腔室排氣的方法包括：在將待干燥基板放入該真空干燥腔室時，通過該排氣泵進行排氣；在真空干燥腔室關(guān)閉后，停止通過該排氣泵進行排氣；在將干燥后的基板自該真空干燥腔室取出時，通過該排氣泵進行排氣。綜上所述，本發(fā)明是通過在真空干燥腔室的外部設(shè)置多個排氣口，使得在腔室取放基板的過程中，能夠通過真空干燥腔室的外部的多個排氣口將腔室內(nèi)高濃度的溶解物的揮發(fā)氣體排出，減少了在此過程中可能產(chǎn)生的環(huán)境危害。
【專利說明】真空干燥腔室排氣系統(tǒng)及方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示器制造【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種真空干燥腔室的排氣系統(tǒng)及方法。

【背景技術(shù)】
[0002]圖1所示為一種現(xiàn)有的真空干燥腔室的示意圖，參考圖1，腔室12由上腔體13以及下腔體14組成。一般現(xiàn)有的真空干燥腔室內(nèi)部設(shè)置有排氣口，可以將腔室內(nèi)高濃度的溶解物的揮發(fā)氣體排出。但是，在腔室12取放基板9的過程中，依然會有部分高濃度的溶解物的揮發(fā)氣體溢出到真空腔室12的空氣中。如此，就會對腔室周圍的環(huán)境產(chǎn)生危害。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，用以解決現(xiàn)有的真空干燥腔室在腔室取放基板的過程中，部分高濃度的溶解物的揮發(fā)氣體溢出到真空腔室外的空氣中，進而會對腔室周圍的環(huán)境產(chǎn)生危害的問題。
[0004]本發(fā)明一種真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，其中，包括:多個排氣口，設(shè)置在真空干燥腔室外；排氣泵，通過排氣管連接該多個排氣口。
[0005]根據(jù)本發(fā)明一實施例的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，其中，真空干燥腔室排氣系統(tǒng)還包括:PLC，用于控制該排氣泵開關(guān)。
[0006]根據(jù)本發(fā)明一實施例的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，其中，該多個排氣口環(huán)繞該真空干燥腔室的外側(cè)設(shè)置。
[0007]根據(jù)本發(fā)明一實施例的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，其中，該多個該排氣口設(shè)置在排氣腔上，該排氣腔環(huán)繞該下腔體的外側(cè)設(shè)置，排氣腔連接該排氣管，該排氣管連接該排氣栗。
[0008]根據(jù)本發(fā)明一實施例的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，其中，該排氣管與該排氣泵之間設(shè)置有閥門。
[0009]根據(jù)本發(fā)明一實施例的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，其中，該閥門為電控閥門；一PLC，用于控制該電控閥門的開關(guān)。
[0010]本發(fā)明還提供了一種真空干燥腔室排氣的方法，其中，本方法通過上述的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)實現(xiàn)，該方法包括:在將待干燥基板放入該真空干燥腔室時，通過該排氣泵進行排氣。
[0011]本發(fā)明還提供了一種真空干燥腔室排氣的方法，其中，在真空干燥腔室關(guān)閉后，停止通過該排氣泵進行排氣；在將干燥后的基板自該真空干燥腔室取出時，通過該排氣泵進行排氣。
[0012]根據(jù)本發(fā)明一實施例的真空干燥腔室排氣的方法，其中，通過PLC控制該排氣泵開關(guān)，以控制該排氣泵開始或停止排氣。
[0013]根據(jù)本發(fā)明一實施例的真空干燥腔室排氣的方法，其中，將該多個排氣口環(huán)繞該真空干燥腔室的下腔體外側(cè)設(shè)置。
[0014]根據(jù)本發(fā)明一實施例的真空干燥腔室排氣的方法，其中，，將該多個該排氣口設(shè)置在該排氣腔上，將該排氣腔環(huán)繞該下腔體的外側(cè)設(shè)置，排氣腔連接該排氣管，該排氣管連接該排氣泵。
[0015]根據(jù)本發(fā)明一實施例的真空干燥腔室排氣的方法，其中，將閥門設(shè)置在該排氣管與該排氣泵之間，開啟該閥門，則開始通過該排氣泵進行排氣；關(guān)閉該閥門，則停止通過該排氣泵進行排氣。
[0016]根據(jù)本發(fā)明一實施例的真空干燥腔室排氣的方法，其中，該閥門選擇為電控閥門，并通過PLC控制該電控閥門的開關(guān)。
[0017]綜上所述，本發(fā)明是通過在真空干燥腔室的外部設(shè)置多個排氣口，使得在腔室取放基板的過程中，能夠通過真空干燥腔室的外部的多個排氣口將腔室內(nèi)高濃度的溶解物的揮發(fā)氣體排出，減少了在此過程中可能產(chǎn)生的環(huán)境危害。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]圖1所示為一種現(xiàn)有的真空干燥腔室的示意圖；
[0019]圖2所示為本發(fā)明真空干燥腔室排氣系統(tǒng)的示意圖；
[0020]圖3為基板放入真空腔室時的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)狀態(tài)圖；
[0021]圖4為真空干燥腔室關(guān)閉后的狀態(tài)圖；
[0022]圖5為基板自真空腔室取出后的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)狀態(tài)圖。

【具體實施方式】
[0023]圖2所示為本發(fā)明真空干燥腔室排氣系統(tǒng)的示意圖，如圖2所示，本發(fā)明真空干燥腔室排氣系統(tǒng)包括:多個排氣口 5，排氣泵1，排氣泵閥門8，真空腔室2，排氣腔6以及排氣管7。真空腔室2包括上腔部3以及下腔部4。
[0024]參考圖2，本實施例的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)的連接結(jié)構(gòu)為，排氣腔6圍繞真空腔室2的下腔部3的外側(cè)設(shè)置。排氣腔6上設(shè)置有多個排氣口 5。排氣腔6連接排氣管7，排氣管7與排氣泵I連接。排氣管7上可以設(shè)置閥門8以控制排氣管7的通斷。
[0025]對于一種較佳的實施方式，可以通過一 PLC (未圖示)連接排氣泵I以控制排氣泵I的開關(guān)。另外，在設(shè)置閥門8的情況下，可以將閥門8設(shè)置為電動閥門，并將PLC與電動閥門8連接，如此，亦可通過PLC來控制電動閥門8的開關(guān)。
[0026]由于現(xiàn)有的真空腔室2 —般自身配備有PLC，故上述的PLC可以采用真空腔室2自身的PLC編程后對排氣泵I和/或電動閥門進行控制。
[0027]本發(fā)明還提供了一種真空干燥腔室排氣的方法，本實施例的方法采用上述實施例的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)。
[0028]圖3為基板放入真空腔室時的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)狀態(tài)圖；圖4為真空干燥腔室關(guān)閉后的狀態(tài)圖；圖5為基板自真空腔室取出后的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)狀態(tài)圖。
[0029]真空干燥腔室排氣的方法包括:
[0030]參考圖3，在將待干燥基板9放入真空干燥腔室2時，開始通過排氣泵I進行排氣；
[0031]如排氣管上設(shè)置有閥門8，則同時控制打開閥門8開始排氣。
[0032]參考圖4，控制真空干燥腔室2的上腔部3閉合，在真空干燥工藝開始后，關(guān)閉排氣泵I以節(jié)省電能；
[0033]同時，如閥門8為電動閥門，可同時關(guān)閉閥門8。
[0034]參考圖5，再干燥工藝完成后，將干燥后的基板9自真空干燥腔室2取出時，開始通過排氣泵I進行排氣；
[0035]如排氣管上設(shè)置有閥門8，則同時控制打開閥門8開始排氣。
[0036]在基板8取出后，等待真空干燥腔室2排氣完成后，關(guān)閉排氣泵I。
[0037]其中，均可以通過對PLC編程后，對上述的電動閥門8以及排氣泵I進行控制。
[0038]綜上所述，本發(fā)明是通過在真空干燥腔室的外部設(shè)置多個排氣口，使得在腔室取放基板的過程中，能夠通過真空干燥腔室的外部的多個排氣口將腔室內(nèi)高濃度的溶解物的揮發(fā)氣體排出，減少了在此過程中可能產(chǎn)生的環(huán)境危害。
[0039]雖然已參照幾個典型實施例描述了本發(fā)明，但應(yīng)當理解，所用的術(shù)語是說明和示例性、而非限制性的術(shù)語。由于本發(fā)明能夠以多種形式具體實施而不脫離本發(fā)明的精神或?qū)嵸|(zhì)，所以應(yīng)當理解，上述實施例不限于任何前述的細節(jié)，而應(yīng)在所附權(quán)利要求所限定的精神和范圍內(nèi)廣泛地解釋，因此落入權(quán)利要求或其等效范圍內(nèi)的全部變化和改型都應(yīng)為所附權(quán)利要求所涵蓋。
【權(quán)利要求】
1.一種真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，其特征在于，包括: 多個排氣口，設(shè)置在真空干燥腔室外； 排氣泵，通過排氣管連接該多個排氣口。
2.如權(quán)利要求1所述的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，其中，真空干燥腔室排氣系統(tǒng)還包括:PLC,用于控制該排氣泵的開啟和關(guān)閉。
3.如權(quán)利要求1所述的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，其中，該多個排氣口環(huán)繞該真空干燥腔室的外側(cè)設(shè)置。
4.如權(quán)利要求3所述的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，其中，該多個該排氣口設(shè)置在排氣腔上，該排氣腔環(huán)繞該下腔體的外側(cè)設(shè)置，排氣腔連接該排氣管，該排氣管連接該排氣泵。
5.如權(quán)利要求1所述的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，其中，該排氣管與該排氣泵之間設(shè)置有閥門。
6.如權(quán)利要求5所述的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，其中，該閥門為電控閥門；還包括:一PLC，用于控制該電控閥門的開關(guān)。
7.一種真空干燥腔室排氣的方法，其特征在于，真空干燥腔室排氣系統(tǒng)包括，多個排氣口，設(shè)置在真空干燥腔室外，排氣泵通過排氣管連接該多個排氣口 ；真空干燥腔室排氣的方法包括: 在將待干燥基板放入該真空干燥腔室時，通過該排氣泵進行排氣。
8.如權(quán)利要求7所述的真空干燥腔室排氣的方法，其中， 在真空干燥腔室關(guān)閉后，停止通過該排氣泵進行排氣； 在將干燥后的基板自該真空干燥腔室取出時，通過該排氣泵進行排氣。
9.如權(quán)利要求7所述的真空干燥腔室排氣的方法，其中，通過PLC控制該排氣泵的開啟和關(guān)閉。
10.如權(quán)利要求7所述的真空干燥腔室排氣的方法，其中，將該多個排氣口環(huán)繞該真空干燥腔室的下腔體外側(cè)設(shè)置。
11.如權(quán)利要求10所述的真空干燥腔室排氣的方法，其中，將該多個該排氣口設(shè)置在該排氣腔上，將該排氣腔環(huán)繞該下腔體的外側(cè)設(shè)置，排氣腔連接該排氣管，該排氣管連接該排氣泵。
12.如權(quán)利要求7所述的真空干燥腔室排氣的方法，其中，將閥門設(shè)置在該排氣管與該排氣泵之間，開啟該閥門，則開始通過該排氣泵進行排氣；關(guān)閉該閥門，則停止通過該排氣泵進行排氣。
13.如權(quán)利要求12所述的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，其中，該閥門選擇為電控閥門，并通過PLC控制該電控閥門的開關(guān)。
【文檔編號】F26B25/00GK104296520SQ201310300807
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2013年7月17日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月17日
【發(fā)明者】黃昱嘉, 楊靖哲, 黃正義 申請人:上海和輝光電有限公司