專利名稱：一種改進型擴散設(shè)備的石英爐門的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種改進型擴散設(shè)備的石英爐門技術(shù)領(lǐng)域[0001 ] 本實用新型涉及一種檢驗臺，尤其是涉及一種改進型擴散設(shè)備的石英爐門。
背景技術(shù)：
[0002]擴散設(shè)備用的石英爐門是一種圓蓋形的石英制品，其熔點:1740°C，莫氏硬度:7，堆密度:2.2g/cm3石英爐門的特性為:1.耐高溫2.耐腐蝕3.熱穩(wěn)定性好4.透光性能好5.電絕緣性能好。在正常工藝時，石英爐門與石英爐管緊密貼合，使石英爐管保持在一定的管壓下正常工作，也保證了有毒氣體不會泄露。[0003]在平時日常保養(yǎng)中發(fā)現(xiàn)部分機臺的爐門出現(xiàn)小幅松動現(xiàn)象(但不會掉落)，這主要是由于固定爐門的U型固定支架上的高溫編織繩與石英爐門的固定把手的外橫截面接觸，再有機臺運作時，爐門時常做開啟、關(guān)閉動作，受力的作用致使高溫編織繩斷裂，造成石英爐門有小幅松動現(xiàn)象。這樣會對機臺爐管的密封性產(chǎn)生影響，也直接造成硅片的方阻值異堂巾O發(fā)明內(nèi)容[0004]本實用新型的目的就是為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷而提供一種密封性好、損耗低的改進型擴散設(shè)備的石英爐門。[0005]本實用新型的目的可以通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn):一種改進型擴散設(shè)備的石英爐門，包括爐門，U型固定支架，高溫編織繩，其特征在于，還包括隔熱墊圈，該隔熱墊圈設(shè)置在爐門上，爐門上設(shè)有固定把手，所述的U型固定支架與爐門把手貼合，所述的高溫編織繩設(shè)置在U型固定支架與爐門的固定把手之間。[0006]所述的爐門為密封石英門。[0007]所述的隔熱墊圈上設(shè)有凹槽，作為U型固定支架的固定部件。[0008]所述的U型固定支架為鋼質(zhì)材料，U型固定支架嵌入隔熱墊圈的凹槽內(nèi)。[0009]所述的高溫編織繩為石英棉材料。[0010]所述的固定把手的尺寸為202 土 1mm。本實用新型的改進是將石英爐門固定把手的長度尺寸從原有的182土 Imm放大至202土 1mm，使U型固定支架上安裝的高溫編織繩與石英爐門固定把手的光滑面接觸，可改善現(xiàn)有技術(shù)缺陷。[0011]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下優(yōu)點:[0012]一、密封性能好:把石英爐門的固定把手的長度尺寸從原有的182±lmm放大至202±lmm，使U型固定支架、高溫編織繩與石英爐門固定把手的光滑面接觸，更好地起到固定作用，確保爐管的密封性。[0013]二、降低石英爐門及石英爐管損耗的機率:本技術(shù)改善能消除爐門的小幅松動，保證爐門在做開啟、關(guān)閉動作時受力均勻，從而降低損耗機率。[0014]三、減少不良片:爐門的密封性得到了保證，也降低方阻異常片的出現(xiàn)。
圖1為本實用新型石英爐門的裝配側(cè)視圖；圖2為本實用新型石英爐門的裝配俯視圖；圖3為本實用新型石英爐門的裝配正視圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型進行詳細說明。實施例1如圖1-3所述，一種改進型擴散設(shè)備的石英爐門，包括爐門，U型固定支架2，高溫編織繩，還包括隔熱墊圈3，該隔熱墊圈設(shè)置在爐門上，爐門上設(shè)有固定把手1，所述的U型固定支架與爐門把手貼合，所述的高溫編織繩設(shè)置在U型固定支架與爐門的固定把手之間。本實用新型的改進是將石英爐門固定把手I的長度尺寸從原有的182 ± Imm放大至202±lmm，使U型固定支架上安裝的高溫編織繩與石英爐門固定把手的光滑面接觸，可改善現(xiàn)有技術(shù)缺陷。所述的爐門為密封石英門，通過爐門的關(guān)閉可達到密封爐體的作用。爐門的固定把手I為石英爐門的固定部件。所述的隔熱墊圈3上設(shè)有凹槽，作為U型固定支架2的固定部件，對石英爐門也有保溫的作用。所述的U型固定支架2為鋼質(zhì)材料，與石英爐門的固定把手貼合，起到固定作用，U型固定支架2嵌入隔熱墊圈3的凹槽內(nèi)，通過隔熱墊圈3固定。所述的高溫編織繩為石英棉材料，此材料能耐高溫，安裝時置于U型固定支架與石英爐門的固定把手中間，高溫編織繩位置4如圖3所示，起到保護與固定石英爐門的固定把手的作用。
權(quán)利要求1.一種改進型擴散設(shè)備的石英爐門，包括爐門，U型固定支架，高溫編織繩，其特征在于，還包括隔熱墊圈，該隔熱墊圈設(shè)置在爐門上，爐門上設(shè)有固定把手，所述的U型固定支架與爐門把手貼合，所述的高溫編織繩設(shè)置在U型固定支架與爐門的固定把手之間； 所述的固定把手的長度尺寸為202±lmm。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改進型擴散設(shè)備的石英爐門，其特征在于，所述的爐門為密封石英門。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改進型擴散設(shè)備的石英爐門，其特征在于，所述的隔熱墊圈上設(shè)有凹槽，作為U型固定支架的固定部件。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種改進型擴散設(shè)備的石英爐門，其特征在于，所述的U型固定支架為鋼質(zhì)材料，U型固定支架嵌入隔熱墊圈的凹槽內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改進型擴散設(shè)備的石英爐門，其特征在于，所述的高溫編織繩為石英棉材料。
專利摘要本實用新型涉及一種改進型擴散設(shè)備的石英爐門，包括爐門，U型固定支架，高溫編織繩，還包括隔熱墊圈，該隔熱墊圈設(shè)置在爐門上，爐門上設(shè)有固定把手，所述的U型固定支架與爐門把手貼合，所述的高溫編織繩設(shè)置在U型固定支架與爐門的固定把手之間。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有密封性好、損耗低等優(yōu)點。
文檔編號F27D1/18GK203068971SQ20122058779
公開日2013年7月17日 申請日期2012年11月8日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月8日
發(fā)明者張永林, 還武兵 申請人:上海神舟新能源發(fā)展有限公司